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ITO陶瓷靶材溅射过程中结瘤行为研究
被引量:
2
1
作者
罗文
孙本双
+3 位作者
刘书含
陈杰
孟将
李树荣
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2021年第2期87-92,共6页
ITO陶瓷靶材的结瘤行为严重影响靶材的应用及其溅射薄膜性能,对结瘤的形成机理进行深入研究具有重要意义。针对不同参数设置的ITO靶材进行磁控溅射,利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及X射线光电子能谱仪(XPS)等技术分析靶...
ITO陶瓷靶材的结瘤行为严重影响靶材的应用及其溅射薄膜性能,对结瘤的形成机理进行深入研究具有重要意义。针对不同参数设置的ITO靶材进行磁控溅射,利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及X射线光电子能谱仪(XPS)等技术分析靶材在溅射过程中的结瘤行为。结果表明:随着溅射时间的延长,刻蚀环深度增加,靶材表面开始出现结瘤并向刻蚀环蔓延,结瘤的出现使刻蚀环边缘溅射速率降低。结瘤主要由缺O富Sn的非化学计量比ITO组成,是靶材被溅射原子在低溅射速率处反向沉积形成。由于Sn原子在不同区域的溅射差异以及靶面被溅射的O原子易形成O离子,从而使结瘤组分偏离化学计量比。In_(2)O_(3)/Sn(Sn固溶于In_(2)O_(3))晶内的富Sn析出相粒子是溅射早期结瘤形成的主要原因,导电性及导热性极差的结瘤在溅射过程中易积聚电荷并诱发弧光放电,使其在热应力作用下破裂,散落的颗粒会成为新结瘤的诱发点,导致结瘤覆盖率迅速增大。
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关键词
ITO靶材
磁控溅射
结瘤
微观组织
结瘤机制
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职称材料
氧化铟和氧化锡混合粉体喷雾造粒工艺研究
2
作者
罗文
郝振华
+3 位作者
李树荣
孟将
陈杰
刘洋
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2022年第2期98-104,共7页
氧化铟锡(ITO)原料粉作为影响靶材制备的关键性因素,对所制备出的靶材质量有着重要影响,为了改善纳米氧化铟锡混合粉体的压制性能,提高ITO原料粉的质量,将纳米氧化铟和氧化锡混合粉体与分散剂和黏结剂混合之后球磨,再采用压力喷雾造粒...
氧化铟锡(ITO)原料粉作为影响靶材制备的关键性因素,对所制备出的靶材质量有着重要影响,为了改善纳米氧化铟锡混合粉体的压制性能,提高ITO原料粉的质量,将纳米氧化铟和氧化锡混合粉体与分散剂和黏结剂混合之后球磨,再采用压力喷雾造粒技术制备近球形氧化铟锡造粒粉。分别研究浆料黏度、黏结剂含量、浆料固含量和进风温度对造粒氧化铟锡粉体微观表面形貌、松装密度、振实密度以及粒度分布的影响。结果表明:当黏结剂聚乙烯醇(PVA)质量分数为1%,氧化铟锡浆料固含量为50%,以及压力喷雾造粒机进风温度为200℃时,可以得到性能良好的氧化铟锡造粒粉。采用喷雾造粒工艺可以有效提高纳米氧化铟锡混合粉体的松装密度和振实密度,改善其压制性能,有利后续烧结获得高密度的ITO靶材。
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关键词
氧化铟
氧化锡
喷雾造粒
ITO靶材
黏结剂质量分数
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职称材料
ZnO压敏电阻银浆拉力性能研究
被引量:
2
3
作者
熊德竹
董宁利
+3 位作者
张晓烨
刘芳
刘玲
胡楠
《世界有色金属》
2017年第17期260-261,共2页
ZnO压敏电阻器对所用银浆附着力要求较高,本文主要研究了ZnO压敏电阻器用银浆的下墨量、玻璃粉、印刷性能、烧结性能、断面等方面对银浆拉力性能的影响。银浆本身印刷性能优良,烧结后银膜致密对拉力有明显的提高。银层断面致密性对拉力...
ZnO压敏电阻器对所用银浆附着力要求较高,本文主要研究了ZnO压敏电阻器用银浆的下墨量、玻璃粉、印刷性能、烧结性能、断面等方面对银浆拉力性能的影响。银浆本身印刷性能优良,烧结后银膜致密对拉力有明显的提高。银层断面致密性对拉力影响较小。
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关键词
ZNO压敏电阻
银浆
拉力
玻璃粉
烧结性能
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职称材料
热压氧化铌靶材内部孔洞的形成及研究
被引量:
2
4
作者
谭鑫
扈百直
+3 位作者
征卫星
刘秉宁
马文卫
马宜良
《世界有色金属》
2017年第16期255-256,258,共3页
利用真空热压设备研究氧化铌靶材孔洞形成的原因,结果发现粉末性能、烧结温度和保温时间、烧结压力等对靶材成型中孔洞产生影响,粉末性能中松装密度的提高、在一定范围内提高烧结温度和保温时间、在一定范围内提高烧结压力,有利于靶坯成...
利用真空热压设备研究氧化铌靶材孔洞形成的原因,结果发现粉末性能、烧结温度和保温时间、烧结压力等对靶材成型中孔洞产生影响,粉末性能中松装密度的提高、在一定范围内提高烧结温度和保温时间、在一定范围内提高烧结压力,有利于靶坯成型,减少靶坯中孔洞数量。实验结果表明:粉末松装密度为1.15-1.35g/cm3、保温温度在1250-1350℃时,保温时间为8h、压力为11-13MPa之间、升温速率为3.5-5.5℃/min时,将会获得较好的成型靶坯,孔洞数量相对最少。
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关键词
热压烧结
氧化铌
孔洞
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职称材料
钼合金双层结构MoSi_(2)涂层的制备与组织性能
被引量:
2
5
作者
肖来荣
沈鸿泰
+4 位作者
张亚芳
杨庚轩
赵刚
周小军
蔡圳阳
《矿冶工程》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第5期132-136,共5页
采用料浆烧结法在TZM钼合金表面制备Mo层,再通过包埋渗法制得双层结构的MoSi_(2)厚涂层。利用内热法在大气环境下测试了钼合金Si⁃Mo涂层在1600℃下的高温抗氧化性能。结果表明,涂层由多孔MoSi_(2)外层和致密MoSi_(2)内层组成,Mo粉细化...
采用料浆烧结法在TZM钼合金表面制备Mo层,再通过包埋渗法制得双层结构的MoSi_(2)厚涂层。利用内热法在大气环境下测试了钼合金Si⁃Mo涂层在1600℃下的高温抗氧化性能。结果表明,涂层由多孔MoSi_(2)外层和致密MoSi_(2)内层组成,Mo粉细化对涂层组织致密化和高温抗氧化性能提升有益,平均粒度9.8μm和2.2μm的Mo粉制备的涂层在1600℃下的高温抗氧化寿命分别为5.1 h和14.8 h,高温氧化后涂层结构转变为SiO_(2)氧化层⁃多孔MoSi_(2)层⁃致密层⁃Mo_(5)Si_(3)层。随着氧化持续进行,SiO_(2)层和Mo_(5)Si_(3)层不断增厚,而MoSi_(2)层持续减薄并转化为Mo_(5)Si_(3),硅元素的持续贫化导致涂层最终失效。
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关键词
钼合金
钼粉
硅化物涂层
MoSi_(2)
高温氧化
料浆烧结法
包埋渗法
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职称材料
钠还原高比容钽粉湿法提纯过程中酸洗新工艺
被引量:
3
6
作者
李福成
《河南理工大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2022年第4期176-180,共5页
为了降低钽粉中各化学杂质含量,提高纯度和品质,以钠还原得到的金属钽粉(一次原生粒子)在湿法提纯处理时对不同酸洗工艺参数进行详细对比试验,根据设计的酸洗工艺路线,在不同酸液质量分数,不同酸洗时间和不同酸液配比条件下,研究同一比...
为了降低钽粉中各化学杂质含量,提高纯度和品质,以钠还原得到的金属钽粉(一次原生粒子)在湿法提纯处理时对不同酸洗工艺参数进行详细对比试验,根据设计的酸洗工艺路线,在不同酸液质量分数,不同酸洗时间和不同酸液配比条件下,研究同一比容钽粉(FTa-40K)对O、Fe、Ni等化学杂质的去除效果。结果表明:酸液质量分数Φ=10±0.1%的HNO_(3)、Φ=(1.5±0.1%)的HF,酸洗溶液体积比V(HNO_(3))∶V(HF)=10.8∶1,酸洗时间150±2 min为最佳化学酸洗工艺参数,可为高比容钽粉的研发生产提供理论参考。
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关键词
高比容钽粉
湿法提纯
酸洗工艺
杂质含量
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职称材料
ICP–AES法测定锑铍芯块中铅、铁、锰和镁
被引量:
1
7
作者
孙洪涛
杨娟
+1 位作者
王志萍
陈红
《化学分析计量》
CAS
2017年第3期76-79,共4页
建立电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP–AES)测定锑铍芯块中铅、铁、锰和镁杂质元素的方法。对溶液酸度的选择、光谱和基体干扰等进行了试验和讨论,在优化仪器工作参数的条件下,通过基体匹配,有效消除了基体干扰的影响。铅、铁、锰、...
建立电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP–AES)测定锑铍芯块中铅、铁、锰和镁杂质元素的方法。对溶液酸度的选择、光谱和基体干扰等进行了试验和讨论,在优化仪器工作参数的条件下,通过基体匹配,有效消除了基体干扰的影响。铅、铁、锰、镁的质量浓度在0.05~10.0μg/mL范围内与其光谱强度呈良好的线性关系,线性相关系数大于0.999。铅、铁、锰、镁的检出限在0.5~5.3μg/L之间,测定结果的相对标准偏差为0.9%~2.9%(n=7),加标回收率为92%~106%。电感耦合等离子体原子发射光谱法与原子吸收光谱法对照,测定结果相符合。该方法准确可靠,可用于锑铍芯块中铅、铁、锰和镁杂质元素的测定。
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关键词
电感耦合等离子体原子发射光谱法
锑铍芯块
铅
铁
锰
镁
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职称材料
题名
ITO陶瓷靶材溅射过程中结瘤行为研究
被引量:
2
1
作者
罗文
孙本双
刘书含
陈杰
孟将
李树荣
机构
西北稀有金属材料研究院稀有金属特种材料国家重点实验室
郑州大学河南省资源与
材料
工业技术
研究院
出处
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2021年第2期87-92,共6页
基金
国家自然科学基金项目(52004253)
宁夏自然科学基金资助项目(2020AAC03507)。
文摘
ITO陶瓷靶材的结瘤行为严重影响靶材的应用及其溅射薄膜性能,对结瘤的形成机理进行深入研究具有重要意义。针对不同参数设置的ITO靶材进行磁控溅射,利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及X射线光电子能谱仪(XPS)等技术分析靶材在溅射过程中的结瘤行为。结果表明:随着溅射时间的延长,刻蚀环深度增加,靶材表面开始出现结瘤并向刻蚀环蔓延,结瘤的出现使刻蚀环边缘溅射速率降低。结瘤主要由缺O富Sn的非化学计量比ITO组成,是靶材被溅射原子在低溅射速率处反向沉积形成。由于Sn原子在不同区域的溅射差异以及靶面被溅射的O原子易形成O离子,从而使结瘤组分偏离化学计量比。In_(2)O_(3)/Sn(Sn固溶于In_(2)O_(3))晶内的富Sn析出相粒子是溅射早期结瘤形成的主要原因,导电性及导热性极差的结瘤在溅射过程中易积聚电荷并诱发弧光放电,使其在热应力作用下破裂,散落的颗粒会成为新结瘤的诱发点,导致结瘤覆盖率迅速增大。
关键词
ITO靶材
磁控溅射
结瘤
微观组织
结瘤机制
Keywords
ITO target
magnetron sputtering
nodulation
microstructure
nodulation mechanism
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
氧化铟和氧化锡混合粉体喷雾造粒工艺研究
2
作者
罗文
郝振华
李树荣
孟将
陈杰
刘洋
机构
西北稀有金属材料研究院稀有金属特种材料国家重点实验室
郑州大学河南省资源与
材料
工业技术
研究院
郑州大学
材料
科学与工程学院
出处
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2022年第2期98-104,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(52004253)
宁夏自然科学基金资助项目(2020AAC03507)
郑州市协同创新重大专项(XKZDJC201903)。
文摘
氧化铟锡(ITO)原料粉作为影响靶材制备的关键性因素,对所制备出的靶材质量有着重要影响,为了改善纳米氧化铟锡混合粉体的压制性能,提高ITO原料粉的质量,将纳米氧化铟和氧化锡混合粉体与分散剂和黏结剂混合之后球磨,再采用压力喷雾造粒技术制备近球形氧化铟锡造粒粉。分别研究浆料黏度、黏结剂含量、浆料固含量和进风温度对造粒氧化铟锡粉体微观表面形貌、松装密度、振实密度以及粒度分布的影响。结果表明:当黏结剂聚乙烯醇(PVA)质量分数为1%,氧化铟锡浆料固含量为50%,以及压力喷雾造粒机进风温度为200℃时,可以得到性能良好的氧化铟锡造粒粉。采用喷雾造粒工艺可以有效提高纳米氧化铟锡混合粉体的松装密度和振实密度,改善其压制性能,有利后续烧结获得高密度的ITO靶材。
关键词
氧化铟
氧化锡
喷雾造粒
ITO靶材
黏结剂质量分数
Keywords
indium oxide
tin oxide
spray granulation
ITO target
binder mass fraction
分类号
TB332 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
ZnO压敏电阻银浆拉力性能研究
被引量:
2
3
作者
熊德竹
董宁利
张晓烨
刘芳
刘玲
胡楠
机构
西北稀有金属材料研究院稀有金属特种材料国家重点实验室
出处
《世界有色金属》
2017年第17期260-261,共2页
文摘
ZnO压敏电阻器对所用银浆附着力要求较高,本文主要研究了ZnO压敏电阻器用银浆的下墨量、玻璃粉、印刷性能、烧结性能、断面等方面对银浆拉力性能的影响。银浆本身印刷性能优良,烧结后银膜致密对拉力有明显的提高。银层断面致密性对拉力影响较小。
关键词
ZNO压敏电阻
银浆
拉力
玻璃粉
烧结性能
Keywords
ZnO based varistor
Silver Paste
Pulling Force
glass dust
sintering properties
分类号
TM54 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
热压氧化铌靶材内部孔洞的形成及研究
被引量:
2
4
作者
谭鑫
扈百直
征卫星
刘秉宁
马文卫
马宜良
机构
西北稀有金属材料研究院稀有金属特种材料国家重点实验室
出处
《世界有色金属》
2017年第16期255-256,258,共3页
文摘
利用真空热压设备研究氧化铌靶材孔洞形成的原因,结果发现粉末性能、烧结温度和保温时间、烧结压力等对靶材成型中孔洞产生影响,粉末性能中松装密度的提高、在一定范围内提高烧结温度和保温时间、在一定范围内提高烧结压力,有利于靶坯成型,减少靶坯中孔洞数量。实验结果表明:粉末松装密度为1.15-1.35g/cm3、保温温度在1250-1350℃时,保温时间为8h、压力为11-13MPa之间、升温速率为3.5-5.5℃/min时,将会获得较好的成型靶坯,孔洞数量相对最少。
关键词
热压烧结
氧化铌
孔洞
Keywords
hot pressing smtering
niobiunl oxide
hole
分类号
O643.3 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
钼合金双层结构MoSi_(2)涂层的制备与组织性能
被引量:
2
5
作者
肖来荣
沈鸿泰
张亚芳
杨庚轩
赵刚
周小军
蔡圳阳
机构
中南大学
材料
科学与工程学院
有色
金属
材料
科学与工程教育部
重点
实验室
西北稀有金属材料研究院稀有金属特种材料国家重点实验室
宁夏东方钽业股份有限公司
出处
《矿冶工程》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第5期132-136,共5页
基金
国家自然科学基金(51901252)
湖南省自然科学基金(2020JJ5713,2020JJ5737)
宁夏自然科学基金(2019AAC03284)。
文摘
采用料浆烧结法在TZM钼合金表面制备Mo层,再通过包埋渗法制得双层结构的MoSi_(2)厚涂层。利用内热法在大气环境下测试了钼合金Si⁃Mo涂层在1600℃下的高温抗氧化性能。结果表明,涂层由多孔MoSi_(2)外层和致密MoSi_(2)内层组成,Mo粉细化对涂层组织致密化和高温抗氧化性能提升有益,平均粒度9.8μm和2.2μm的Mo粉制备的涂层在1600℃下的高温抗氧化寿命分别为5.1 h和14.8 h,高温氧化后涂层结构转变为SiO_(2)氧化层⁃多孔MoSi_(2)层⁃致密层⁃Mo_(5)Si_(3)层。随着氧化持续进行,SiO_(2)层和Mo_(5)Si_(3)层不断增厚,而MoSi_(2)层持续减薄并转化为Mo_(5)Si_(3),硅元素的持续贫化导致涂层最终失效。
关键词
钼合金
钼粉
硅化物涂层
MoSi_(2)
高温氧化
料浆烧结法
包埋渗法
Keywords
molybdenum alloy
Mo powder
silicide coating
MoSi_(2)
high⁃temperature oxidation
slurry sintering method
pack cementation method
分类号
TG146 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
钠还原高比容钽粉湿法提纯过程中酸洗新工艺
被引量:
3
6
作者
李福成
机构
西北稀有金属材料研究院稀有金属特种材料国家重点实验室
国家
钽铌
特种
金属
材料
工程技术
研究
中心
中色(宁夏)东方集团有限公司宁夏东方钽业股份有限公司
出处
《河南理工大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2022年第4期176-180,共5页
基金
宁夏回族自治区自然科学基金项目(2019AAC03284)
国家863计划项目(2012BAE06B03)。
文摘
为了降低钽粉中各化学杂质含量,提高纯度和品质,以钠还原得到的金属钽粉(一次原生粒子)在湿法提纯处理时对不同酸洗工艺参数进行详细对比试验,根据设计的酸洗工艺路线,在不同酸液质量分数,不同酸洗时间和不同酸液配比条件下,研究同一比容钽粉(FTa-40K)对O、Fe、Ni等化学杂质的去除效果。结果表明:酸液质量分数Φ=10±0.1%的HNO_(3)、Φ=(1.5±0.1%)的HF,酸洗溶液体积比V(HNO_(3))∶V(HF)=10.8∶1,酸洗时间150±2 min为最佳化学酸洗工艺参数,可为高比容钽粉的研发生产提供理论参考。
关键词
高比容钽粉
湿法提纯
酸洗工艺
杂质含量
Keywords
high specific capacity tantalum powder
wet purification
pickling technology
impurty content
分类号
TF841.6 [冶金工程—有色金属冶金]
TF803.25 [冶金工程—有色金属冶金]
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职称材料
题名
ICP–AES法测定锑铍芯块中铅、铁、锰和镁
被引量:
1
7
作者
孙洪涛
杨娟
王志萍
陈红
机构
西北稀有金属材料研究院稀有金属特种材料国家重点实验室
出处
《化学分析计量》
CAS
2017年第3期76-79,共4页
文摘
建立电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP–AES)测定锑铍芯块中铅、铁、锰和镁杂质元素的方法。对溶液酸度的选择、光谱和基体干扰等进行了试验和讨论,在优化仪器工作参数的条件下,通过基体匹配,有效消除了基体干扰的影响。铅、铁、锰、镁的质量浓度在0.05~10.0μg/mL范围内与其光谱强度呈良好的线性关系,线性相关系数大于0.999。铅、铁、锰、镁的检出限在0.5~5.3μg/L之间,测定结果的相对标准偏差为0.9%~2.9%(n=7),加标回收率为92%~106%。电感耦合等离子体原子发射光谱法与原子吸收光谱法对照,测定结果相符合。该方法准确可靠,可用于锑铍芯块中铅、铁、锰和镁杂质元素的测定。
关键词
电感耦合等离子体原子发射光谱法
锑铍芯块
铅
铁
锰
镁
Keywords
ICP–AES
antimony–beryllium pellets
Pb
Fe
Mn
Mg
分类号
O657.3 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ITO陶瓷靶材溅射过程中结瘤行为研究
罗文
孙本双
刘书含
陈杰
孟将
李树荣
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2021
2
在线阅读
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职称材料
2
氧化铟和氧化锡混合粉体喷雾造粒工艺研究
罗文
郝振华
李树荣
孟将
陈杰
刘洋
《郑州大学学报(工学版)》
CAS
北大核心
2022
0
在线阅读
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职称材料
3
ZnO压敏电阻银浆拉力性能研究
熊德竹
董宁利
张晓烨
刘芳
刘玲
胡楠
《世界有色金属》
2017
2
在线阅读
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职称材料
4
热压氧化铌靶材内部孔洞的形成及研究
谭鑫
扈百直
征卫星
刘秉宁
马文卫
马宜良
《世界有色金属》
2017
2
在线阅读
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职称材料
5
钼合金双层结构MoSi_(2)涂层的制备与组织性能
肖来荣
沈鸿泰
张亚芳
杨庚轩
赵刚
周小军
蔡圳阳
《矿冶工程》
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
在线阅读
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职称材料
6
钠还原高比容钽粉湿法提纯过程中酸洗新工艺
李福成
《河南理工大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2022
3
在线阅读
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职称材料
7
ICP–AES法测定锑铍芯块中铅、铁、锰和镁
孙洪涛
杨娟
王志萍
陈红
《化学分析计量》
CAS
2017
1
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职称材料
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