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常压双频驱动Ar/CCl_4等离子体射流制备碳薄膜的研究
被引量：
1
1
作者
张亚东
袁强华
+2 位作者
殷桂琴
王勇
李洋
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期89-96,共8页
在大气压下双频Ar/CCl_4等离子体射流的驱动下,固定低频功率,通过改变射频功率在硅基底上制备了非晶态碳薄膜,并且通过程序进行相应的数值模拟计算。结果给出了不同功率下电子与离子的密度、温度、电场、电势、角度分布等参数对碳材料...
在大气压下双频Ar/CCl_4等离子体射流的驱动下,固定低频功率,通过改变射频功率在硅基底上制备了非晶态碳薄膜,并且通过程序进行相应的数值模拟计算。结果给出了不同功率下电子与离子的密度、温度、电场、电势、角度分布等参数对碳材料样品形貌的影响;样品变化趋势的预测及其原因的分析,以及与实验结果的对比。结果表明,对于双频大气压等离子体,射频可以独立控制等离子体的能量和反应强度,可以相对地控制产物。这为制备薄膜材料的形貌提供重要的实验基础。
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关键词
大气压低温等离子体
双频
碳材料
模拟
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职称材料
题名
常压双频驱动Ar/CCl_4等离子体射流制备碳薄膜的研究
被引量：
1
1
作者
张亚东
袁强华
殷桂琴
王勇
李洋
机构
西北师范大学物理与电子工程学院原子与分子物理与功能材料重点实验室
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期89-96,共8页
基金
国家自然科学基金(11665021)
文摘
在大气压下双频Ar/CCl_4等离子体射流的驱动下,固定低频功率,通过改变射频功率在硅基底上制备了非晶态碳薄膜,并且通过程序进行相应的数值模拟计算。结果给出了不同功率下电子与离子的密度、温度、电场、电势、角度分布等参数对碳材料样品形貌的影响;样品变化趋势的预测及其原因的分析,以及与实验结果的对比。结果表明,对于双频大气压等离子体,射频可以独立控制等离子体的能量和反应强度,可以相对地控制产物。这为制备薄膜材料的形貌提供重要的实验基础。
关键词
大气压低温等离子体
双频
碳材料
模拟
Keywords
Atmospheric pressure low temperature plasma jet
Dual-frequency
Carbon materials
Simulation
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
常压双频驱动Ar/CCl_4等离子体射流制备碳薄膜的研究
张亚东
袁强华
殷桂琴
王勇
李洋
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2019
1
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