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电液动力微泵微电极的不同制作工艺的比较(英文)
被引量：
5
1
作者
于翮
张强
+1 位作者
乔大勇
俞坚
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第7期1635-1639,共5页
基于MEMS加工技术的电液动力微泵在微流体冷却系统和解决高热流器件的冷却问题中占有重要地位。电液动力微泵的核心部分是通过MEMS加工工艺制作的由成对的发射极和集电极组成的微电极。在电极对间的强电场作用下,电介质流体中的离子、...
基于MEMS加工技术的电液动力微泵在微流体冷却系统和解决高热流器件的冷却问题中占有重要地位。电液动力微泵的核心部分是通过MEMS加工工艺制作的由成对的发射极和集电极组成的微电极。在电极对间的强电场作用下,电介质流体中的离子、极子以及微粒同电场相互作用来驱动流体流动。本文系统地讨论了微电极在设计和制作中需要关注的问题:电极材料的选择方针,多种形状的电极设计和两种电极加工工艺—电镀法和剥离法的对比。实验结果表明:贵金属有更好的抗电化腐蚀能力;同普通平行电极结构相比,带有尖锐结构的电极更能提高微泵的性能;相比电镀法,剥离法能更好地提高电极的制作质量。
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关键词
电液动力效应
微机电系统
微泵
微电极
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职称材料
基于电液动力效应的离子拖曳微泵(英文)
被引量：
1
2
作者
于翮
张强
+1 位作者
乔大勇
俞坚
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1338-1343,共6页
介绍了一种新型电子冷却系统—离子拖曳电液动力微泵,运用MEMS技术在硅片上加工了离子拖曳微泵并进行了测试,微泵由一组平面电极组成,电极的宽度为40μm,发射极和集电极之间的间距为50μm,共有90对电极对,每组电极对之间的距离为100μm...
介绍了一种新型电子冷却系统—离子拖曳电液动力微泵,运用MEMS技术在硅片上加工了离子拖曳微泵并进行了测试,微泵由一组平面电极组成,电极的宽度为40μm,发射极和集电极之间的间距为50μm,共有90对电极对,每组电极对之间的距离为100μm。微泵静压力实验以HFE7100和无水乙醇作工作流体,通过施加直流电压来驱动工作流体,当输入电压为200 V时,微泵可以得到250 Pa的静压力。实验结果表明:微泵的静压力与施加的输入电压成二次方关系,同微流道的高度成反比。实验发现工作介质的物性参数也是决定泵性能的一个重要因素,选择合适的流体可以提高整个微泵冷却系统的性能。研究还表明,微泵的性能与工作寿命和实验环境的洁净度以及工作流体提纯密切相关。
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关键词
电液动力效应
离子拖曳
微机电系统
微泵
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职称材料
面向三维实体建模的MEMS设计方法
被引量：
4
3
作者
滕云
苑伟政
常洪龙
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期350-353,共4页
根据"所见即所得"的设计理念,提出了一种面向三维实体建模的MEMS设计方法,实现了从三维实体到系统级模型或工艺版图的设计流程,使设计者可以首先直接建立器件的三维实体模型,在完成有限元分析后,可以通过组件映射和宏模型提...
根据"所见即所得"的设计理念,提出了一种面向三维实体建模的MEMS设计方法,实现了从三维实体到系统级模型或工艺版图的设计流程,使设计者可以首先直接建立器件的三维实体模型,在完成有限元分析后,可以通过组件映射和宏模型提取的方式获得系统级模型,再通过自动版图转换得到相应的工艺版图。此设计方法可以提高设计效率,并且保证了模型数据在各个设计层级之间传递时的一致性和精确性。
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关键词
MEMS
三维实体建模
设计方法
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职称材料
题名
电液动力微泵微电极的不同制作工艺的比较(英文)
被引量：
5
1
作者
于翮
张强
乔大勇
俞坚
机构
北京
工业
大学
传热强化与过程节能教育部重点
实验室
及传热与能源利用北京市重点
实验室
西北工业大学陕西省微纳米系统实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第7期1635-1639,共5页
基金
Supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant No.50676001)
文摘
基于MEMS加工技术的电液动力微泵在微流体冷却系统和解决高热流器件的冷却问题中占有重要地位。电液动力微泵的核心部分是通过MEMS加工工艺制作的由成对的发射极和集电极组成的微电极。在电极对间的强电场作用下,电介质流体中的离子、极子以及微粒同电场相互作用来驱动流体流动。本文系统地讨论了微电极在设计和制作中需要关注的问题:电极材料的选择方针,多种形状的电极设计和两种电极加工工艺—电镀法和剥离法的对比。实验结果表明:贵金属有更好的抗电化腐蚀能力;同普通平行电极结构相比,带有尖锐结构的电极更能提高微泵的性能;相比电镀法,剥离法能更好地提高电极的制作质量。
关键词
电液动力效应
微机电系统
微泵
微电极
Keywords
electrohydrodynamic （EHD）
MEMS
micropump
micro electrode
分类号
TH38 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
基于电液动力效应的离子拖曳微泵(英文)
被引量：
1
2
作者
于翮
张强
乔大勇
俞坚
机构
北京
工业
大学
传热强化与过程节能教育部重点
实验室
及传热与能源利用北京市重点
实验室
西北工业大学陕西省微纳米系统实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1338-1343,共6页
基金
Supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No .50676001)
文摘
介绍了一种新型电子冷却系统—离子拖曳电液动力微泵,运用MEMS技术在硅片上加工了离子拖曳微泵并进行了测试,微泵由一组平面电极组成,电极的宽度为40μm,发射极和集电极之间的间距为50μm,共有90对电极对,每组电极对之间的距离为100μm。微泵静压力实验以HFE7100和无水乙醇作工作流体,通过施加直流电压来驱动工作流体,当输入电压为200 V时,微泵可以得到250 Pa的静压力。实验结果表明:微泵的静压力与施加的输入电压成二次方关系,同微流道的高度成反比。实验发现工作介质的物性参数也是决定泵性能的一个重要因素,选择合适的流体可以提高整个微泵冷却系统的性能。研究还表明,微泵的性能与工作寿命和实验环境的洁净度以及工作流体提纯密切相关。
关键词
电液动力效应
离子拖曳
微机电系统
微泵
Keywords
electrohydrodynamic（ EHD）
ion-drag
MEMS
micropump
分类号
TH38 [机械工程—机械制造及自动化]
TK124 [动力工程及工程热物理—工程热物理]
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职称材料
题名
面向三维实体建模的MEMS设计方法
被引量：
4
3
作者
滕云
苑伟政
常洪龙
机构
西北工业大学
陕西省
微
纳米
系统
重点
实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期350-353,共4页
基金
国家高技术研究发展计划项目(2009AA04Z320)
文摘
根据"所见即所得"的设计理念,提出了一种面向三维实体建模的MEMS设计方法,实现了从三维实体到系统级模型或工艺版图的设计流程,使设计者可以首先直接建立器件的三维实体模型,在完成有限元分析后,可以通过组件映射和宏模型提取的方式获得系统级模型,再通过自动版图转换得到相应的工艺版图。此设计方法可以提高设计效率,并且保证了模型数据在各个设计层级之间传递时的一致性和精确性。
关键词
MEMS
三维实体建模
设计方法
Keywords
MEMS
3D solid modeling
design approach
分类号
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电液动力微泵微电极的不同制作工艺的比较(英文)
于翮
张强
乔大勇
俞坚
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于电液动力效应的离子拖曳微泵(英文)
于翮
张强
乔大勇
俞坚
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
面向三维实体建模的MEMS设计方法
滕云
苑伟政
常洪龙
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
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