微机电系统光学组件的系统级建模 被引量：3

1

作者 李晓莹 李慧敏 +2 位作者 常洪龙 何洋 焦文龙 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1069-1075,共7页

为提高微机电系统(MEMS)中光学系统整体仿真的准确性和效率,解决光学组件系统级建模存在的问题,提出了一种光学组件系统级建模方法,该方法可同时支持与MEMS系统级机械组件和电路组件共同仿真。首先,介绍了多端口组件网络方法、高斯光束... 为提高微机电系统(MEMS)中光学系统整体仿真的准确性和效率,解决光学组件系统级建模存在的问题,提出了一种光学组件系统级建模方法,该方法可同时支持与MEMS系统级机械组件和电路组件共同仿真。首先,介绍了多端口组件网络方法、高斯光束特点和空间坐标系变换理论。接着,以微平面镜为例,介绍了光学组件系统级建模方法的流程。最后,采用Verilog-A硬件描述语言建立了包含多个典型光学组件的系统级光学库。使用该库的光学组件在MEMS集成设计工具MEMS Garden中搭建微扫描系统进行了仿真与测试。与商业软件CoventorWare的分析结果相比,提出的建模方法解决了扫描盲区问题,且非差分电压分析的误差小于3%。结果显示,本文提出的建模方法精确有效,对MEMS的系统级设计有参考价值。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS) 光学组件 建模 Verilog-A硬件描述语言

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微流控的系统级设计 被引量：1

2

作者 苑伟政 焦文龙 常洪龙 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3141-3151,共11页

微流控设计技术对于提高微流控设计效率,降低研发成本具有重要意义。微流控设计技术中的系统级建模与仿真是实现微流控快速设计、优化、验证的重要方法。本文首先对微流控设计的原理和方法做了简要介绍。在此基础之上,重点论述了微流控... 微流控设计技术对于提高微流控设计效率,降低研发成本具有重要意义。微流控设计技术中的系统级建模与仿真是实现微流控快速设计、优化、验证的重要方法。本文首先对微流控设计的原理和方法做了简要介绍。在此基础之上,重点论述了微流控系统级设计中的两种主要方法——节点分析法和等效电路法,对两种方法的建模与仿真理论进行了分析,并总结了两种方法近十年来在国内外的研究发展概况和最新进展。最后,分析总结了这两种方法的优缺点,并对微流控系统级设计技术进行了总结与展望,指出微流控系统级建模与仿真技术在解决大规模、复杂性、多功能微流控系统的设计方面有巨大的优势。 展开更多

关键词 微流控技术 系统级设计 建模 仿真

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基于近似模型的y轴微机械陀螺系统级优化

3

作者 吕湘连 何洋 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期329-332,共4页

提出一种基于近似模型的MEMS系统级优化方法,给出具体实现流程,并结合一个y轴微机械陀螺进行优化。该方法解决了如何得到近似优化目标函数表达式的关键问题。所得的y轴微机械陀螺优化参数,使得陀螺驱动模态谐振频率fx和检测模态谐振频... 提出一种基于近似模型的MEMS系统级优化方法,给出具体实现流程,并结合一个y轴微机械陀螺进行优化。该方法解决了如何得到近似优化目标函数表达式的关键问题。所得的y轴微机械陀螺优化参数,使得陀螺驱动模态谐振频率fx和检测模态谐振频率fz分别为3 074 Hz和2 998 Hz,两者之间相差7 6 Hz,较好的实现了模态匹配,且都在3 000 Hz的设计要求附近,约束条件也得到了满足。该优化方法为在MEMS设计中快速获得系统级优化方案提供较好参考。 展开更多

关键词 MEMS 系统级 近似模型 优化 微机械陀螺

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压阻式微型压力传感器敏感结构设计 被引量：11

4

作者 易选强 苑伟政 +2 位作者 马炳和 陈爽 邓进军 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期782-786,共5页

在设计某一压阻式压力传感器特定敏感结构的过程中,对出现的技术难题进行了研究。文中的第2部分设计了弹性膜片的典型结构;第3部分设计了压敏电阻的尺寸以及阻值;第4部分使用ANSYS软件分析了弹性膜片在不同压力作用下的应力、应变分布,... 在设计某一压阻式压力传感器特定敏感结构的过程中,对出现的技术难题进行了研究。文中的第2部分设计了弹性膜片的典型结构;第3部分设计了压敏电阻的尺寸以及阻值;第4部分使用ANSYS软件分析了弹性膜片在不同压力作用下的应力、应变分布,确定了压敏电阻在弹性膜片上的最佳分布位置。分析结果表明:压敏电阻距离弹性膜片边缘越近,灵敏度越高。同时计算了不同外界压力载荷和不同位置条件下压敏电阻的电压输出变化情况,提取了敏感膜片的固有频率和响应时间。文中响应时间曲线表明:所设计的微型压阻式压力传感器响应速度快,稳定时间仅为1.0×10^(-5)s。 展开更多

关键词 传感器 微机电系统 微型压阻式压力传感器 膜片

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MEMS微型热敏传感器的隔热结构及其性能分析 被引量：10

5

作者 马炳和 周保清 +1 位作者 邓进军 苑伟政 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期933-937,共5页

MEMS微型热敏传感器在流动测量领域有重要应用,而隔热结构对传感器性能有着决定性影响。综合六种常见的隔热结构,借助有限元计算研究对比了硅基底上不同隔热层材料、硅基底上有无隔热空腔结构、全聚合物柔性基底、全硅基底等对传感器灵... MEMS微型热敏传感器在流动测量领域有重要应用,而隔热结构对传感器性能有着决定性影响。综合六种常见的隔热结构,借助有限元计算研究对比了硅基底上不同隔热层材料、硅基底上有无隔热空腔结构、全聚合物柔性基底、全硅基底等对传感器灵敏度、热响应速度的影响情况,结合对热敏传感机理的分析进行了影响原因及其规律探讨。该研究可为微型热敏传感器的隔热结构设计及其性能优化提供参考依据。 展开更多

关键词 热敏传感器 MEMS 隔热结构 灵敏度 响应速度

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全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化 被引量：10

6

作者 马炳和 赵建国 +1 位作者 邓进军 苑伟政 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1971-1977,共7页

为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从... 为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从边界层底部实现非破坏性的动态流场参数测量。设计了器件阵列结构,研发了基于溅射成型与退火热处理的微加工工艺。结合工艺与测试实验,系统地分析了氩气压强、衬底温度、溅射功率、退火温度等工艺参数对电阻温度系数的影响规律。为了获得更高的器件灵敏度,通过优化工艺参数提高了柔性热膜微传感器的电阻温度系数,使其达到了4.64×10-3/℃,并且保持了好的线性度。 展开更多

关键词 镍 柔性热膜传感器阵列 电阻温度系数 微加工

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静电激励硅微机械谐振压力传感器设计 被引量：11

7

作者 任森 苑伟政 +1 位作者 邓进军 孙小东 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第1期64-67,71,共5页

设计了一种静电激励／电容检测的硅微机械谐振压力传感器，采用改进的侧向动平衡双端固支音叉谐振器，利用基于绝缘体上硅的加工工艺制作。为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化，在谐振器固定端设计了全新的桁架结构。针对... 设计了一种静电激励／电容检测的硅微机械谐振压力传感器，采用改进的侧向动平衡双端固支音叉谐振器，利用基于绝缘体上硅的加工工艺制作。为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化，在谐振器固定端设计了全新的桁架结构。针对传感器检测信号微弱和同频干扰严重的特点，在芯体和接口电路设计中采取添加屏蔽电极、降低交流驱动电压幅值、差动电容检测和高频载波调制解调方案等多项措施。同时基于该接口电路设计了开环测试系统，并在常压封装条件下对传感器进行了初步性能测试。实验结果表明：其基础谐振频率为33．886kHz，振动品质因数为1222；测量范围为表压0-280kPa，非线性为0．018％FS，迟滞为0．176％FS，重复性为0．213％FS；在--20-60℃的温度范围内，谐振器的平均温度漂移为-0．037％／℃。 展开更多

关键词 谐振 压力传感器 静电激励 电容检测 绝缘体上硅

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基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作 被引量：5

8

作者 马志波 姜澄宇 +1 位作者 任森 苑伟政 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期180-183,共4页

采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅... 采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。 展开更多

关键词 谐振式压力传感器 三层薄膜保护工艺 敏感膜片 MEMS SOI

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梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响 被引量：3

9

作者 乔大勇 杨璇 +3 位作者 夏长锋 曾琪 潘春晖 练彬 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期172-177,共6页

为增大静电驱动二维微扫描镜的机械转角,基于非线性动力学理论研究了不同梳齿结构对其振幅的影响,理论上得到发散型梳齿分布相较于平行型梳齿分布具有更大的机械转角。此外,采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺设计并制作了这两种结构的微扫描... 为增大静电驱动二维微扫描镜的机械转角,基于非线性动力学理论研究了不同梳齿结构对其振幅的影响,理论上得到发散型梳齿分布相较于平行型梳齿分布具有更大的机械转角。此外,采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺设计并制作了这两种结构的微扫描镜,并对其相关特性进行了测试。测试结果表明:在相同的驱动电压下,发散型结构始终都比平行型结构具有更大的机械转角,与仿真结果基本一致;当加载驱动电压为42 V的方波信号时,发散型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角可以达到12.3°、13.49°,而平行型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角则为10.25°、11.68°。 展开更多

关键词 扫描镜 非线性动力学 梳齿分布 大转角

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一种改进的振动式微机械陀螺驱动电路 被引量：3

10

作者 蒋庆华 苑伟政 +1 位作者 常洪龙 崔金强 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期536-538,共3页

采用闭环控制电路使振动式微机械陀螺驱动模态保持谐振是提高其灵敏度和稳定性的最为直接、有效的方法。基于锁相控制环路是目前振动式陀螺驱动广泛采用的控制方法之一。对包括陀螺在内的锁相环各个环节进行了建模。对各部分模型线性化... 采用闭环控制电路使振动式微机械陀螺驱动模态保持谐振是提高其灵敏度和稳定性的最为直接、有效的方法。基于锁相控制环路是目前振动式陀螺驱动广泛采用的控制方法之一。对包括陀螺在内的锁相环各个环节进行了建模。对各部分模型线性化处理后,推导了微机械陀螺锁相环控制电路的系统传递函数。传递函数的分析表明该系统是一个有差系统,即压控振荡器发生频率和陀螺谐振频率总是存在一定的频差。文中引入了校正环节来消除稳态误差。采用音叉电容式微机械陀螺进行了实验,转台实验显示刻度因子有所提高,表明该控制方案能够有效的提高陀螺的灵敏度及其稳定性。 展开更多

关键词 微机械陀螺 控制电路 锁相环

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MEMS器件与电路共同仿真原型系统 被引量：2

11

作者 苑伟政 牛昊彬 +1 位作者 常洪龙 马炳和 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2206-2211,共6页

为了预测MEMS器件与电路组成的完整MEMS系统的行为,建立了一个支持MEMS器件与电路共同仿真的原型系统。首先,根据MEMS系统级仿真与模拟电路仿真的共同特性,提出了MEMS器件与电路共同仿真的原理和方法,并依托国产电路仿真平台Zeni VLG建... 为了预测MEMS器件与电路组成的完整MEMS系统的行为,建立了一个支持MEMS器件与电路共同仿真的原型系统。首先,根据MEMS系统级仿真与模拟电路仿真的共同特性,提出了MEMS器件与电路共同仿真的原理和方法,并依托国产电路仿真平台Zeni VLG建立了共同仿真原型系统的框架结构;然后,分别根据修正节点分析方法和模拟电路行为级建模方法开发了该共同仿真原型系统所必需的两个参数化模型库。通过一个跷跷板式微加速度计分别与其开环电路和闭环带载波电路的共同仿真对原型系统和模型库进行了测试,与国外商业软件Saber对比,开环仿真结果相对误差为2.1%,表明提出的原型系统能够有效进行MEMS器件与电路共同仿真,并且具有较高的精度。 展开更多

关键词 微机电系统 接口电路 共同仿真 加速度计

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基于Agent的微型工厂加工过程仿真研究 被引量：2

12

作者 王宇波 苑伟政 +1 位作者 赵洪策 姜澄宇 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期218-223,共6页

文章开展了针对以准分子激光直写刻蚀加工方法为主要加工手段,以微集成机构(Integrated Mechanism,IM)为产品对象的桌面式微型工厂(Micro-factory)加工过程仿真的研究,得出基于Agent的方法对微型工厂中的激光加工过程进行仿真是较为有... 文章开展了针对以准分子激光直写刻蚀加工方法为主要加工手段,以微集成机构(Integrated Mechanism,IM)为产品对象的桌面式微型工厂(Micro-factory)加工过程仿真的研究,得出基于Agent的方法对微型工厂中的激光加工过程进行仿真是较为有效方法的结论,指出基于Agent加工过程的仿真模型包括建立设备模型、产品模型和工艺模型等几个方面,并讨论了采用Agent方法进行加工过程仿真的分析和实现方法。 展开更多

关键词 微机械 微型工厂 加工过程仿真 智能体

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一个单芯片硅微惯性测量组合 被引量：1

13

作者 常洪龙 蒋庆华 +3 位作者 崔金强 李芊 苑伟政 杨芳 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2245-2247,2251,共4页

论文基于普通的体硅工艺设计实现了一个单片集成式硅微惯性测量组合.通过对敏感表头的结构优化设计达到异构图形长和宽的较高一致度,从而有效降低刻蚀延迟效应(RIELag)对大面积结构深刻蚀造成的影响.所加工的样片在不到1cm2的硅片面积... 论文基于普通的体硅工艺设计实现了一个单片集成式硅微惯性测量组合.通过对敏感表头的结构优化设计达到异构图形长和宽的较高一致度,从而有效降低刻蚀延迟效应(RIELag)对大面积结构深刻蚀造成的影响.所加工的样片在不到1cm2的硅片面积上同时包含了三个不同轴向的硅微加速度计和三个不同轴向的硅微陀螺,可对载体在笛卡尔坐标系内六个自由度上的运动分量进行测量.针对这六个片上惯性元器件,分别设计了相应的接口电路并进行了测试.测试表明其中的陀螺可达到1deg/s左右的精度,加速度计有33mV/gn的标度因子.论文研究表明这种单片集成式硅微惯性测量组合的实现方法工艺简单,可有效降低惯性测量组合的体积,同时具有进一步提高精度的潜力. 展开更多

关键词 硅微惯性测量组合 单片集成 体硅工艺 硅微陀螺 硅微加速度计

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图型化蛋白质的微接触压印技术研究 被引量：1

14

作者 叶芳 苑伟政 谢丽 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期347-350,共4页

化学微结构表面近年来在细胞生物学领域取得了日益广泛的应用,在固体表面图型化生物分子不仅可以控制细胞的黏附和生长,而且能够调节细胞功能。文章采用光刻技术制备印章母版,通过在印章母版上浇注聚二甲基硅氧烷(PDMS)获得软印章,在玻... 化学微结构表面近年来在细胞生物学领域取得了日益广泛的应用,在固体表面图型化生物分子不仅可以控制细胞的黏附和生长,而且能够调节细胞功能。文章采用光刻技术制备印章母版,通过在印章母版上浇注聚二甲基硅氧烷(PDMS)获得软印章,在玻片上制备蛋白质微图型,并分别对经过氧等离子体处理和没有经过氧等离子体处理的PDMS印章其蛋白质压印效果进行了比较。结果表明,经过氧等离子体处理后的PDMS印章在其它参数保持不变的情况下能够明显提高蛋白质图型质量。 展开更多

关键词 微接触压印 蛋白质 氧等离子体处理 聚二甲基硅氧烷

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芯片毛细管电泳的系统级建模与仿真技术研究 被引量：1

15

作者 叶芳 苑伟政 李红卫 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期183-187,共5页

芯片毛细管电泳分离是微流控芯片系统中的重要组成部分,其电泳分离效率直接影响着芯片的整体功能。本文运用多端口组件模型技术建立了逶迤型芯片毛细管电泳分离的参数化行为模型及系统级模型。模型仿真结果与有限元仿真软件的仿真结果... 芯片毛细管电泳分离是微流控芯片系统中的重要组成部分,其电泳分离效率直接影响着芯片的整体功能。本文运用多端口组件模型技术建立了逶迤型芯片毛细管电泳分离的参数化行为模型及系统级模型。模型仿真结果与有限元仿真软件的仿真结果相比较,仿真速度提高了100多倍,而相对误差小于3.8%,表明论文所建立的芯片毛细管电泳分离行为模型,能够在不降低系统仿真精度的同时更加快速高效地对系统性能做出评价。 展开更多

关键词 微流控芯片 芯片毛细管电泳 系统级模型 多端口组件模型

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SiO_2牺牲层刻蚀实验的研究与分析 被引量：1

16

作者 梁庆 苑伟政 +1 位作者 虞益挺 乔大勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第3期372-375,共4页

氢氟酸(HF)刻蚀SiO2牺牲层受多种因素影响,其中刻蚀液的温度、组分、浓度、被刻蚀结构的形式及结构内部的残余应力等是最主要的。样品设计了多种测试结构,深入研究这些因素对刻蚀速率及结果的影响,并进行了详细的讨论与分析。通过实验... 氢氟酸(HF)刻蚀SiO2牺牲层受多种因素影响,其中刻蚀液的温度、组分、浓度、被刻蚀结构的形式及结构内部的残余应力等是最主要的。样品设计了多种测试结构,深入研究这些因素对刻蚀速率及结果的影响,并进行了详细的讨论与分析。通过实验可观察到刻蚀过程中的反应限制阶段与扩散限制阶段,说明经长时间的刻蚀,HF的扩散效应将成为影响刻蚀速率的主导因素。对于实验过程中观察到的"凸"状的刻蚀前端和"晕纹"现象,分析认为结构中的应力梯度及材料间不同的亲水性质是产生这些现象的主要原因。 展开更多

关键词 微机电系统 牺牲层 刻蚀速率

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一种高幅值稳定性的微机械陀螺闭环驱动电路

17

作者 李晓莹 南素娟 +2 位作者 常洪龙 袁广民 白滨 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1458-1461,共4页

优化设计了一种闭环自激驱动电路,有效提高了微机械陀螺的驱动闭环控制精度。根据自激振荡振幅稳定性理论,对相角和增益解耦的闭环驱动系统幅值控制环路进行了分析,计算得到系统环路增益,推导出系统幅值达到最佳状态的环路参数,优化后... 优化设计了一种闭环自激驱动电路,有效提高了微机械陀螺的驱动闭环控制精度。根据自激振荡振幅稳定性理论,对相角和增益解耦的闭环驱动系统幅值控制环路进行了分析,计算得到系统环路增益,推导出系统幅值达到最佳状态的环路参数,优化后陀螺的驱动力仅受控于一个可调变量。实验结果显示,改进后的自激振荡波形的均方差为0.0033V,频率均方差为0.793Hz,输出的幅值和频率的稳定性都得到了较大改善。对幅值控制环路的改进简化了电路调试,有效提高了陀螺系统的测量精度。 展开更多

关键词 微机械陀螺 闭环驱动 自激振荡 稳幅

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仿跳虫表皮柔性微结构阵列复型转移制备

18

作者 张坤 许晓慧 +4 位作者 李昕然 郭泽琦 吕湘连 何洋 苑伟政 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2022年第23期72-80,共9页

跳虫表皮独特的疏水耐压凹角微结构,为开展飞机表面防/除冰研究提供了新的思路。以跳虫表皮为仿生对象,制备了柔性疏水微结构。提出了“复型转移”的制备方法,针对复型和转移过程中出现的结构变形、结构破裂问题,分别通过“软刀硬模”... 跳虫表皮独特的疏水耐压凹角微结构,为开展飞机表面防/除冰研究提供了新的思路。以跳虫表皮为仿生对象,制备了柔性疏水微结构。提出了“复型转移”的制备方法,针对复型和转移过程中出现的结构变形、结构破裂问题,分别通过“软刀硬模”和“界面黏附控制”工艺进行改进。基于“软硬结合”的思想采取“软刀硬模”的刮平方式以避免残余聚二甲基硅氧烷(PDMS)层导致的结构变形,以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜替代PDMS转移层并进行表面改性,以避免结构层和转移层同质材料之间产生过度黏附。PET薄膜经氧等离子体改性处理,表面接触角由70°减小为15°;表面轮廓算术平均偏差Ra由112.15 nm增加到199.74 nm,提升了78.1%;氧/碳(O/C)含量比由0.35增加到0.45。微结构表面接触角为125.2°,弹跳行为中液滴回缩明显。“复型转移”的方法成功实现了柔性微结构的制备,“软刀硬模”的方式明显减小了微结构变形,结构成功复型且变形得到有效控制。PET薄膜在表面改性后表面活性增加,结构成功转移且破裂减少。经测试,制备的仿跳虫柔性微结构具有良好的疏水性能。 展开更多

关键词 跳虫 仿生 柔性微结构 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET) 黏附控制

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基于多频扫描的硅微谐振压力传感器测试方法

19

作者 程波 苑伟政 +1 位作者 任森 王飞 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第10期17-19,共3页

为了对硅微谐振压力传感器进行快速、高精度的开环特性测试,提出了一种基于多频扫描的频率特性测试方法。通过数字电路将多个不同频率的扫频信号叠加作为驱动信号,以实现在整个测试频带范围内高效且高精度的频率特性测试。搭建了以现场... 为了对硅微谐振压力传感器进行快速、高精度的开环特性测试,提出了一种基于多频扫描的频率特性测试方法。通过数字电路将多个不同频率的扫频信号叠加作为驱动信号,以实现在整个测试频带范围内高效且高精度的频率特性测试。搭建了以现场可编程门阵列(FPGA)为核心的多频扫描测试系统,采用4个正弦扫频信号叠加进行测试,结果表明:多频扫描测试与稳态扫描测试精度基本一致,但测试效率提高了4倍。多频扫描测试方法在保证测试精度的前提下,显著提高了测试效率,能够更好地满足高Q值传感器及其在批量生产过程中的测试需求。 展开更多

关键词 多频扫描 硅微谐振压力传感器 频率特性

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MEMS扫描镜光学性能的圆片级自动检测系统设计

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作者 乔大勇 王利湘 +1 位作者 夏长锋 苏小操 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第9期78-81,共4页

为快速准确地检测出一张硅片上数百个MEMS扫描镜的良品与次品,设计了一种自动测量系统。选用高精度二维位置敏感探测器(PSD)设备,设计其后置硬件电路并编写数据采集的程序。结合经典三角法测量角度的原理搭建自动检测系统,在室温和正常... 为快速准确地检测出一张硅片上数百个MEMS扫描镜的良品与次品,设计了一种自动测量系统。选用高精度二维位置敏感探测器(PSD)设备,设计其后置硬件电路并编写数据采集的程序。结合经典三角法测量角度的原理搭建自动检测系统,在室温和正常光照条件下,完成了MEMS扫描镜光学性能圆片级自动检测的实验。结果表明:该系统能够快速准确地同时对扫描镜的两个轴进行检测并给出结果。 展开更多

关键词 MEMS扫描镜 自动检测 三角法 位置敏感探测器

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