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气相沉积制备硬质薄膜技术与应用述评被引量：13: 1; 作者马胜利徐可为介万奇《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期438-443,共6页; 本文对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评 ,重点强调了等离子体辅助化学气相沉积 (PCVD)的优势。; 关键词制备气相沉积技术硬质薄膜 PCVD 等离子体辅助化学气相沉积; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	气相沉积制备硬质薄膜技术与应用述评	马胜利徐可为介万奇	《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2002	13	在线阅读下载PDF 职称材料

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