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开放互通式多媒体教学环境的智慧干预——以西北工业大学为例 被引量:7
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作者 初建杰 王聪 《现代教育技术》 CSSCI 2016年第9期66-72,共7页
面对在现代化教学环境建设方面已有一定积累的高校,以智慧化教育理念引导校园信息化建设,是优化多媒体教学的全新方式。文章采用智慧干预的方法,通过多媒体教学环境智慧化的必要性分析,明确了多媒体教学环境在教学交互过程、学习行为方... 面对在现代化教学环境建设方面已有一定积累的高校,以智慧化教育理念引导校园信息化建设,是优化多媒体教学的全新方式。文章采用智慧干预的方法,通过多媒体教学环境智慧化的必要性分析,明确了多媒体教学环境在教学交互过程、学习行为方式、运行管理效果等方面的需求。此外,文章还以西北工业大学为例,研究了开放互通式多媒体教学环境的智慧干预方法和实施策略,构建了"3点5维7S"智慧干预模型,试图为教学智慧管理体系从应用转向服务提供可持续、可评价、可决策的思路。 展开更多
关键词 智慧干预 多媒体教学环境 服务管理 教育技术应用
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VR技术应用于工程实训课程探究——以西北工业大学的“VR虚拟装配综合实训课程”为例 被引量:8
2
作者 王灵利 齐乐华 +2 位作者 罗俊 吕冰 蒋建军 《现代教育技术》 CSSCI 2022年第7期85-92,共8页
在“新工科”背景下,国防特色工程教育对高校在校学生的工程实训教学提出了更高要求。基于此,文章围绕VR技术的三大特性,提出了VR技术应用于工程实训课程的建设思路。随后,文章以西北工业大学“VR虚拟装配综合实训课程”为例进行教学设... 在“新工科”背景下,国防特色工程教育对高校在校学生的工程实训教学提出了更高要求。基于此,文章围绕VR技术的三大特性,提出了VR技术应用于工程实训课程的建设思路。随后,文章以西北工业大学“VR虚拟装配综合实训课程”为例进行教学设计,设计了实训课程的教学流程,并通过问卷调查进行了教学效果分析,发现VR技术能够规避教学风险、提升教学质量,在现有工程实训课程中具有较高的推广价值。最后,文章提出VR技术应用于工程实践教学的建议。在实训课程中灵活运用VR技术,可提升学生参与实训的兴趣、提高教学效果和质量,减少实训误操作危险,并可为工程实训教学方法的改进和创新人才的培养提供参考。 展开更多
关键词 VR技术 工程教育 实训课程 教学改革
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直驱型机电作动器建模与动态特性分析
3
作者 万琦 马尚君 +1 位作者 佟瑞庭 刘更 《动力学与控制学报》 2024年第6期80-87,共8页
机电作动器作为飞行控制系统的关键执行机构,其性能对系统输出动态响应具有重要影响.根据直驱型机电作动器的结构组成,建立包含永磁同步电机控制和行星滚柱丝杠非线性因素的系统仿真模型.研究了“i_(d)=0”电流矢量控制下的系统阶跃响应... 机电作动器作为飞行控制系统的关键执行机构,其性能对系统输出动态响应具有重要影响.根据直驱型机电作动器的结构组成,建立包含永磁同步电机控制和行星滚柱丝杠非线性因素的系统仿真模型.研究了“i_(d)=0”电流矢量控制下的系统阶跃响应,结果表明:基于永磁同步电机三闭环伺服控制策略的系统在不同位置阶跃信号指令下均具有良好的动态性能.通过与文献的对比,表明该控制策略下的机电作动器仿真模型有效. 展开更多
关键词 机电作动器 动态特性 电流矢量控制 永磁同步电机 行星滚柱丝杠
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面向局部点云信息缺失的模型重构方法
4
作者 常正平 袁国帅 +2 位作者 李玖桦 赵阳 王仲奇 《工程科学与技术》 北大核心 2025年第2期54-63,共10页
面向新一代航空航天型号高性能制造需求,基于实测数据的性能预测方法愈来愈得到广泛应用。然而,受限于零件尺寸大、结构遮挡多和设备性能不足等问题,该方法难以获得零件完整的实测数据,影响了产品性能预测精度。为此,提出面向局部点云... 面向新一代航空航天型号高性能制造需求,基于实测数据的性能预测方法愈来愈得到广泛应用。然而,受限于零件尺寸大、结构遮挡多和设备性能不足等问题,该方法难以获得零件完整的实测数据,影响了产品性能预测精度。为此,提出面向局部点云缺失的模型重构方法,构建扫描区域与点云缺失区域的拓扑关系,求得缺失区域的表面点集。首先,提取理论3维模型表面几何信息,并将其转换至拉普拉斯坐标系;其次,将扫描点云数据进行划分,结合粗配准与迭代最近点(ICP)精配准算法进行区域匹配,得到理论模型上与扫描点云对应的区域;然后,采用拉普拉斯网格变换使匹配区域驱动理论三角网格发生形变,并用扫描点云替换对应区域,得到零件完整点云。最后,以飞机起落架外筒为例,采用传统方法与本文方法进行对比,发现当扫描点云覆盖达到一定范围时,所提方法的最大偏差为0.145 mm,显著低于传统方法的0.717 mm,验证了该方法在重构模型精度上的提升。 展开更多
关键词 局部点云 信息缺失 模型重构 拉普拉斯网格变换
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采用离散余弦变换的复合材料构件制造偏差建模方法
5
作者 常正平 李学文 +3 位作者 严康赫 李晓锋 罗群 王仲奇 《西安交通大学学报》 北大核心 2025年第3期201-209,共9页
为能够更精确、高效地表达碳纤维增强复合材料构件制造偏差,提出了一种基于离散余弦变换的制造偏差建模方法。首先,对构件理论表面进行离散化得到网格模型,计算网格模型节点与对应区域实测点云数据的法向距离以表征制造偏差,进而得到复... 为能够更精确、高效地表达碳纤维增强复合材料构件制造偏差,提出了一种基于离散余弦变换的制造偏差建模方法。首先,对构件理论表面进行离散化得到网格模型,计算网格模型节点与对应区域实测点云数据的法向距离以表征制造偏差,进而得到复合材料构件制造偏差场,实现了理论模型与实测数据的融合。其次,采用二维离散余弦正变换,将制造偏差场分解为一系列偏差模态的线性组合,并结合离散余弦变换的能量集中特性与核函数的正交性,对复合材料构件制造偏差场组成模态进行识别与筛选,确定了构成制造偏差场的关键模态。然后,对确定的制造偏差场关键模态进行离散余弦逆变换,并重构制造偏差场,实现了构件制造偏差场的数据精简,该方法在保证重构模型精度的同时减少了计算复杂度与数据存储量。最后,通过复合材料蒙皮构件开展实例验证。结果表明:点云数据网格尺寸与重构精度、偏差模态总数成反比,当数据删减率为60.54%时,其相对重构误差为7.62%。研究结果证明了基于离散余弦变换的偏差建模方法可精确、高效地表征复合材料构件的制造偏差特征。 展开更多
关键词 离散余弦变换 复合材料构件 制造偏差 模态识别
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基于非同步测量的高分辨率声源定位
6
作者 韦娟 冯鹏 宁方立 《通信学报》 北大核心 2025年第2期123-135,共13页
针对非同步测量声源定位方法在低信噪比条件下存在主瓣较宽、易受旁瓣干扰等问题,提出一种子空间逼近算法与截断函数波束成形联合的非同步测量声源定位算法。该算法首先对缺省互谱矩阵进行奇异值分解,通过截断阈值保留主要奇异向量构建... 针对非同步测量声源定位方法在低信噪比条件下存在主瓣较宽、易受旁瓣干扰等问题,提出一种子空间逼近算法与截断函数波束成形联合的非同步测量声源定位算法。该算法首先对缺省互谱矩阵进行奇异值分解,通过截断阈值保留主要奇异向量构建低维子空间,继而将缺省互谱矩阵投影到子空间,寻找最优解来补全矩阵。补全后的互谱矩阵通过截断函数波束成形算法实现声源定位。仿真和实验结果表明,与基于核范数最小化及其衍生模型的算法相比,所提算法在低信噪比条件下能够有效减小主瓣宽度、抑制旁瓣数量,矩阵补全误差平均降低了17.6%、声源重构误差平均降低了27%,证明该算法具有良好的鲁棒性和抗噪性。 展开更多
关键词 非同步测量 声源定位 矩阵补全 子空间逼近
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工业机器人绝对定位误差的建模与补偿 被引量:17
7
作者 齐俊德 张定华 +1 位作者 李山 陈冰 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期113-118,共6页
为了提高机器人的绝对定位精度,建立了机器人绝对定位误差模型并进行了补偿方法研究.将定位误差分为几何参数误差与柔度误差,分别建立相应的误差模型.几何参数误差研究以MD-H(修正型D-H)运动模型为基础,对柔度误差的影响进行了解耦,并... 为了提高机器人的绝对定位精度,建立了机器人绝对定位误差模型并进行了补偿方法研究.将定位误差分为几何参数误差与柔度误差,分别建立相应的误差模型.几何参数误差研究以MD-H(修正型D-H)运动模型为基础,对柔度误差的影响进行了解耦,并考虑了机器人基坐标系与测量坐标系的转换误差,提出了基于相对位置的几何参数误差模型.柔度误差研究针对机器人的构造特点,建立了针对关节2和3的误差模型,简化了计算模型.最后基于所建立的两种误差模型,提出了误差补偿方法,并采用该方法对机器人进行了实际补偿实验.结果表明,平均绝对定位精度由补偿前的1.173 mm降至补偿后的0.158 mm,说明文中方法可有效提高机器人的绝对定位精度,扩展机器人的应用范围. 展开更多
关键词 工业机器人 绝对定位精度 几何参数误差 柔度误差 误差补偿
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航空航天制造领域工业机器人发展趋势 被引量:29
8
作者 冯华山 秦现生 王润孝 《航空制造技术》 北大核心 2013年第19期32-37,共6页
工业机器人必须从结构、驱动上加强设计优化,降低功耗、提高负载/自重比;关节必须模块化集成,充分考虑碰撞力检测和主动柔顺控制。为此,新型机器人结构设计、轻量模块化结构设计、包含弹性环节的柔性关节设计和控制、新型碰撞检测... 工业机器人必须从结构、驱动上加强设计优化,降低功耗、提高负载/自重比;关节必须模块化集成,充分考虑碰撞力检测和主动柔顺控制。为此,新型机器人结构设计、轻量模块化结构设计、包含弹性环节的柔性关节设计和控制、新型碰撞检测传感器设计与配置、智能避碰实时检测与快速响应等成为面向航空航天制造工业机器人的关键技术。 展开更多
关键词 航空航天制造 工业机器人 发展趋势 制造领域 模块化结构设计 主动柔顺控制 设计优化 柔性关节
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基于多种群遗传算法的舰艇生活舱室布局优化设计方法研究
9
作者 马林 陈登凯 +1 位作者 施红旗 廖纹熠 《西北工业大学学报》 北大核心 2025年第1期189-199,共11页
舰艇舱室布局优化需要考虑舱室之间的相互位置、通行关系、舒适性、便捷性等方面。以潜艇生活舱段为例,根据潜艇舱室布局特点,引入模糊评价方法综合分析舱室相对位置关系,结合应急逃生需求建立舱室布局优化模型。对多种群遗传算法的遗... 舰艇舱室布局优化需要考虑舱室之间的相互位置、通行关系、舒适性、便捷性等方面。以潜艇生活舱段为例,根据潜艇舱室布局特点,引入模糊评价方法综合分析舱室相对位置关系,结合应急逃生需求建立舱室布局优化模型。对多种群遗传算法的遗传操作进行适应性改进,使其更好地应用于舰艇多层舱室布局优化设计。仿真设计分析表明,文中提出的布局优化设计方法可以在较短时间内向设计人员提供多种可参考的布局优化方案,并且改进的多种群遗传算法可以较大程度避免提早收敛陷入局部最优的情况,能够较好地解决舰艇舱室布局优化问题,提高舱室布局优化设计效率。 展开更多
关键词 舱室布局 多种群遗传算法 布局优化 舰艇
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基于相似实例重用的铣削类零件数控工艺决策方法
10
作者 徐昌鸿 张树生 +2 位作者 梁嘉宸 黄瑞 卞荣 《工程科学与技术》 北大核心 2025年第1期330-338,共9页
为了充分重用已有数控工艺设计成果,克服现有工艺优化方法柔性差、效率低、人工依赖性强的不足,提出一种基于相似实例重用的铣削类零件数控工艺决策方法。首先,建立以生产耗费最低为优化目标的数学模型,包括机床、刀具、装夹等因素,给... 为了充分重用已有数控工艺设计成果,克服现有工艺优化方法柔性差、效率低、人工依赖性强的不足,提出一种基于相似实例重用的铣削类零件数控工艺决策方法。首先,建立以生产耗费最低为优化目标的数学模型,包括机床、刀具、装夹等因素,给出生产耗费的计算公式;其次,综合考虑生产车间资源的动态变化,通过重用已有相似实例的加工操作自适应获得新局部结构的多份备选数控工艺;然后,依据各备选数控工艺的相似度,采用轮盘赌算法进行选择,映射为工艺方案有向图的顶点;随后,分析加工操作顺序约束规则,确定各顶点之间有向边的方向,构建完整的工艺方案有向图作为零件数控工艺方案的有效表征;最后,提出一种混合蚁群模拟退火算法,采用蚁群算法结合图论理论对工艺方案有向图进行自动优化搜索,获得若干较优路径后输入模拟退火算法进行全局搜索获得最优解。以某典型零件MBD模型为例,基于CATIA平台对本文所提方法进行加工仿真验证。实验结果表明,相比于现有基于CAPP软件的工艺设计方法,本文方法决策结果能够满足实际数控加工要求,人工交互次数及时间减少84.6%,生产耗费降低16.6%。因此,本文方法能够合理且自动生成零件整体最优数控工艺方案,降低生产成本,缩短研制周期,提升企业数控工艺设计效率和智能化水平。 展开更多
关键词 数控工艺决策 重用 局部结构 工艺方案有向图
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基于圆柱内齿轮磨齿机磨削面齿轮方法及试验验证
11
作者 张聪聪 曹雪梅 +3 位作者 邓效忠 韩正阳 安小涛 许浩 《西北工业大学学报》 北大核心 2025年第1期181-188,共8页
提出在通用圆柱内齿轮磨齿机上磨削面齿轮的加工方法。根据机床结构,建立了碟形砂轮磨削加工面齿轮数学模型,推导了含机床参数误差的面齿轮齿面方程,分析了机床参数误差对齿面拓扑偏差的影响规律。在圆柱内齿轮磨齿机上完成了面齿轮磨... 提出在通用圆柱内齿轮磨齿机上磨削面齿轮的加工方法。根据机床结构,建立了碟形砂轮磨削加工面齿轮数学模型,推导了含机床参数误差的面齿轮齿面方程,分析了机床参数误差对齿面拓扑偏差的影响规律。在圆柱内齿轮磨齿机上完成了面齿轮磨削试验,并在Gleason齿轮检测中心检测,齿面偏差最大值为-24.6μm,验证了所提出加工方法的可行性和调整机床参数方法的正确性。采用通用圆柱内齿轮磨齿机磨削面齿轮无需专用的面齿轮加工机床,对于面齿轮的推广及降低制造成本都具有重要意义。 展开更多
关键词 面齿轮 圆柱内齿轮磨齿机 磨削加工 碟形砂轮 误差分析
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基于AHP-灰色聚类的飞机客舱内环境工业设计评价 被引量:9
12
作者 李转 苟秉宸 +1 位作者 杨延璞 吴姗 《航空计算技术》 2013年第5期52-55,60,共5页
飞机客舱内环境工业设计评价指标的因素较多,且存在不确定性和相对性,仅采用一种评价方法较难达到直观量化的要求。结合AHP(层次分析法)和灰色聚类方法,通过对飞机客舱内环境工业设计因素进行分析,建立层次化评价指标体系,量化出各层指... 飞机客舱内环境工业设计评价指标的因素较多,且存在不确定性和相对性,仅采用一种评价方法较难达到直观量化的要求。结合AHP(层次分析法)和灰色聚类方法,通过对飞机客舱内环境工业设计因素进行分析,建立层次化评价指标体系,量化出各层指标的权重,采用灰色聚类方法进行聚类,得出优劣值,从而分析设计方案的优劣情况。结果表明,方法在飞机客舱工业设计方案评价中具有适用性。 展开更多
关键词 飞机客舱 工业设计 层次分析法(AHP) 灰色聚类 内环境 评价
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基于Elman神经网络的飞机电源系统欠压故障诊断研究 被引量:4
13
作者 程建兴 史仪凯 《电光与控制》 北大核心 2009年第8期90-92,96,共4页
分析了飞机电源系统欠压故障的发生原因和判别,尝试了一种基于改进E lm an神经网络的飞机电源欠压故障仿真方法,在阐述E lm an网络理论的基础上,将改进E lm an网络应用于飞机电源欠压故障的诊断,分析了网络结构、学习算法、特征提取和... 分析了飞机电源系统欠压故障的发生原因和判别,尝试了一种基于改进E lm an神经网络的飞机电源欠压故障仿真方法,在阐述E lm an网络理论的基础上,将改进E lm an网络应用于飞机电源欠压故障的诊断,分析了网络结构、学习算法、特征提取和故障判别方法;网络模型应用了故障样本及专家经验知识,并通过学习使模型不断完善。通过实验数据验证,该网络模型和故障诊断方法是可行和有效的。 展开更多
关键词 飞机电源系统 欠压保护 ELMAN神经网络 故障诊断
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线性摩擦焊机电液伺服施力系统动态特性 被引量:4
14
作者 杜随更 银东东 余少军 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期35-37,41,共4页
为分析线性摩擦焊机电液伺服施力系统对焊接过程关键参数压力和速度的动态响应特性,判断系统的控制品质,对滑台压力进行了闭环控制下的时域阶跃响应实验,得到了时域响应曲线.对滑台速度和压力分别进行了开环和闭环控制下的频域特性实验... 为分析线性摩擦焊机电液伺服施力系统对焊接过程关键参数压力和速度的动态响应特性,判断系统的控制品质,对滑台压力进行了闭环控制下的时域阶跃响应实验,得到了时域响应曲线.对滑台速度和压力分别进行了开环和闭环控制下的频域特性实验,借助Matlab平台绘制出速度和压力的响应Bode图,通过逼近的方法得到系统对于开环速度和闭环压力信号的传递函数.实验结果表明,系统压力闭环时域响应平均纯滞后时间为2.6 ms,平均延迟时间为17.4 ms,平均稳态误差0.61%,平均超调量1.83%,系统响应速度快,超调量小,稳态控制精度高;速度开环工作频宽为9 Hz,压力闭环工作频宽为22 Hz,系统稳定性较高. 展开更多
关键词 线性摩擦焊 电液伺服系统 时域特性 频域特性
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工业机器人工作空间约束下激光雷达站位规划 被引量:5
15
作者 高晓兵 张正成 万能 《西安工业大学学报》 CAS 2019年第3期282-288,共7页
为了解决规划的激光雷达站位满足机器人的可达性问题,文中提出了融合工业机器人工作空间和激光雷达测量特性的站位规划约束模型。借助DenavitHartenberg(DH)方法建立六自由度工业机器人各关节坐标系,采用包络法计算出腕关节的工作空间... 为了解决规划的激光雷达站位满足机器人的可达性问题,文中提出了融合工业机器人工作空间和激光雷达测量特性的站位规划约束模型。借助DenavitHartenberg(DH)方法建立六自由度工业机器人各关节坐标系,采用包络法计算出腕关节的工作空间。依据规划的激光雷达姿态和雷达尺寸计算出激光雷达的可达范围。建立激光雷达站位坐标满足工业机器人可达性约束。结果表明:文中约束方法实现了雷达站位自动规划,验证了所提约束模型的有效性,为大跨度空间下机器人与测量设备结合应用提供了可行途径。 展开更多
关键词 激光雷达 站位规划 工业机器人 腕关节
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基于深度学习弹性超材料带隙逆向设计研究
16
作者 岳朋 张建刚 +1 位作者 邱克鹏 骆越 《力学学报》 北大核心 2025年第1期103-115,共13页
弹性超材料是一种具有超常力学和声学性能的人工微结构,具备独特的带隙特性,通过对其带隙的动态调控设计,可以满足航空航天领域中重大装备对减振降噪性能的特定需求.文章基于深度学习开展弹性超材料带隙的逆向设计技术研究.首先,利用深... 弹性超材料是一种具有超常力学和声学性能的人工微结构,具备独特的带隙特性,通过对其带隙的动态调控设计,可以满足航空航天领域中重大装备对减振降噪性能的特定需求.文章基于深度学习开展弹性超材料带隙的逆向设计技术研究.首先,利用深度学习模型在图像处理方面的优势,以像素图像的形式表示单胞结构并将其转换为像素数据,基于参数化曲线描述和膨胀函数运算生成样本构型,并结合两种方法的优缺点,快速生成大量具备带隙特征、多样性好的样本数据;其次,采用条件生成对抗网络进行弹性超材料结构逆向设计,将色散曲线作为样本条件,并利用PatchGAN判别器关注图像区域的误差细节,提升网络对图像细节的处理能力,同时引入新的误差评估标准,提高误差评估的精确度;最后,开展弹性超材料带隙的逆向设计,包括带隙的拓宽、生成和扩增等,通过数值计算得到逆向生成结构的频率响应曲线,结果显示逆向设计弹性超材料弹性波衰减范围与给定带隙区域吻合,验证了逆向设计技术的可靠性,为弹性超材料主动带隙调控提供了一种有效的设计方法. 展开更多
关键词 弹性超材料 带隙分析 深度学习 逆向设计 误差评估
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工业CT射束硬化校正方法研究 被引量:1
17
作者 张丰收 崔凤奎 +1 位作者 李春梅 张定华 《煤矿机械》 北大核心 2005年第4期38-39,共2页
针对工业CT使用的X射线为一种多能谱射线 ,分析了这种X射线对物体进行断层扫描时发生硬化的机理及其对重建结果的影响 ,推导出了用于校正的数学模型。利用仿真的手段对该数学模型进行了验证。仿真结果表明该数学模型对射束硬化可起到较... 针对工业CT使用的X射线为一种多能谱射线 ,分析了这种X射线对物体进行断层扫描时发生硬化的机理及其对重建结果的影响 ,推导出了用于校正的数学模型。利用仿真的手段对该数学模型进行了验证。仿真结果表明该数学模型对射束硬化可起到较好的校正作用 。 展开更多
关键词 工业CT 仿真结果 校正方法 验证 数学模型 高精度 设计 能谱 推导 物体
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技术美与工业设计 被引量:5
18
作者 张阿维 陆长德 《西北纺织工学院学报》 2000年第4期376-381,共6页
从工业设计的角度出发 ,阐述了技术美的产生和发展、概念和本质、以及在产品造型设计中的特点和应用 .
关键词 技术美学 工业设计 产生 概念 产品设计 应用
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现代产品设计新法——工业设计 被引量:1
19
作者 张阿维 陆长德 《西北纺织工学院学报》 2000年第3期259-262,共4页
以提高产品的竞争力为出发点 ,阐述了现代产品设计的新方法 - -工业设计的概念、作用、范围、内容和应用中应注意的问题 .
关键词 现代产品设计 工业设计 内容 范围 设计美学
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MEMS扫描镜机电特性测量系统的设计
20
作者 刘耀波 苑伟政 +1 位作者 乔大勇 燕斌 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期28-34,共7页
本文在微机电(MEMS)技术上设计并加工出了一种新型基于SOI工艺的谐振式微扫描镜,设计了MEMS扫描镜机电特性测量系统,对MEMS扫描镜的工作原理、机电特性、系统测量方法、系统方案实现和系统精度评定等方面进行了研究。首先,介绍了MEMS扫... 本文在微机电(MEMS)技术上设计并加工出了一种新型基于SOI工艺的谐振式微扫描镜,设计了MEMS扫描镜机电特性测量系统,对MEMS扫描镜的工作原理、机电特性、系统测量方法、系统方案实现和系统精度评定等方面进行了研究。首先,介绍了MEMS扫描镜的工作原理,对其结构设计及机电特性进行了研究。其次,研究了MEMS扫描镜的频率、幅值测量方法,根据其测量原理制定了系统测量方案,并对系统的硬件电路及软件程序进行了设计。最后,为验证测量系统的精度及其可靠性,采用激光多普勒(LDV)及激光三角法分别对MEMS扫描镜的幅值、频率进行对比测试。实验结果表明:该测量系统与两种测试方法的测量结果基本一致,基本满足MEMS扫描镜的机电特性测量稳定可靠、精度高、实时性强等要求。本文的研究,对MEMS扫描镜的闭环控制驱动及在微型光谱仪中的应用具有很大的参考价值。 展开更多
关键词 微机电 扫描镜 机电特性 测量系统
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