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微量气体定量分析的新方法:光腔衰荡光谱
被引量：
12
1
作者
阎文斌
《低温与特气》
CAS
2007年第1期35-38,共4页
包括半导体制造业在内的许多工业应用要求高纯度气体具有最少的杂质。微量水分的分析特别富有挑战性。光腔衰荡光谱法不但可以快速、准确地分析包括水分在内的微量杂质,而且不需要标准样气。对光腔衰荡光谱法作了简要介绍。
关键词
光腔衰荡光谱
微量气体分析
微量水分分析
绝对测量法
在线阅读
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职称材料
题名
微量气体定量分析的新方法:光腔衰荡光谱
被引量：
12
1
作者
阎文斌
机构
虎威光学仪器公司
出处
《低温与特气》
CAS
2007年第1期35-38,共4页
文摘
包括半导体制造业在内的许多工业应用要求高纯度气体具有最少的杂质。微量水分的分析特别富有挑战性。光腔衰荡光谱法不但可以快速、准确地分析包括水分在内的微量杂质,而且不需要标准样气。对光腔衰荡光谱法作了简要介绍。
关键词
光腔衰荡光谱
微量气体分析
微量水分分析
绝对测量法
Keywords
cavity ring-down spectroscopy
trace gas analysis
trace moisture analysis
calibration free
分类号
O659 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微量气体定量分析的新方法:光腔衰荡光谱
阎文斌
《低温与特气》
CAS
2007
12
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