期刊文献+
共找到38篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
磁悬浮转子微陀螺的设计技术 被引量:1
1
作者 张卫平 陈文元 +4 位作者 吴校生 赵小林 崔峰 黄晓刚 刘武 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第z1期1-5,共5页
磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应... 磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2 200μm、厚度25 μm,定子线圈线宽10μm、厚度5μm,悬浮励磁频率10 MHz、旋转励磁频率2 MHz的微陀螺,解决了三维非硅准LiGA技术加工微陀螺中的引线、绝缘、摩擦柱成型问题,并进行了相关的陀螺悬浮旋转试验,该陀螺在空气环境下能够以1000 r/min旋转,悬浮高度200μm,说明这种陀螺的原理和设计方法是可行的. 展开更多
关键词 磁悬浮转子微陀螺 MEMS 设计 准LiGA技术 试验
在线阅读 下载PDF
适于MEMS器件的低应力Ni-W纳米晶薄膜的制备 被引量:1
2
作者 汪红 丁桂甫 +3 位作者 赵小林 姚锦元 朱军 王志民 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期12-15,共4页
以高强度、高耐腐蚀性Ni-W合金为研究对象,探讨了柠檬酸胺-HEDP体系中,各种电沉积工艺参数以及热处理条件对Ni-W合金薄膜应力的影响规律及其在微喷嘴模具上的应用.研究结果表明,在优化的工艺条件下,可获得应力为230 MPa、硬度高达988 H... 以高强度、高耐腐蚀性Ni-W合金为研究对象,探讨了柠檬酸胺-HEDP体系中,各种电沉积工艺参数以及热处理条件对Ni-W合金薄膜应力的影响规律及其在微喷嘴模具上的应用.研究结果表明,在优化的工艺条件下,可获得应力为230 MPa、硬度高达988 HV、无裂纹的纳米晶Ni-W薄膜材料,为其在MEMS微器件、微模具制备上的应用提供了有效途径. 展开更多
关键词 内应力 Ni-W纳米晶 微机电系统 电沉积 热处理
在线阅读 下载PDF
微器件用Ni-W合金薄膜热稳定性的研究 被引量:4
3
作者 刘瑞 汪红 +3 位作者 姚锦元 李雪萍 丁桂甫 赵小林 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期220-223,226,共5页
研究了低应力柠檬酸胺-1-羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中电流密度、pH值、脉冲参数和热处理条件等对Ni-W合金薄膜硬度的影响。结果表明,电镀工艺条件对硬度提高有限,热处理对Ni-W合金薄膜的硬度有明显提高。同时研究对比了沉积态及550... 研究了低应力柠檬酸胺-1-羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中电流密度、pH值、脉冲参数和热处理条件等对Ni-W合金薄膜硬度的影响。结果表明,电镀工艺条件对硬度提高有限,热处理对Ni-W合金薄膜的硬度有明显提高。同时研究对比了沉积态及550℃热处理后Ni和Ni-W硬度、干摩擦条件下耐磨性以及微观结构的变化。实验发现:多晶的Ni薄膜经过热处理后,晶粒尺寸显著长大,硬度、耐磨性约下降2/3;而Ni-W合金薄膜经过热处理后,微观结构由非晶转变成纳米晶,薄膜仍保持良好的耐磨性,硬度提高了1倍。Ni-W合金薄膜优异的热稳定性,有望在特殊环境下取代Ni薄膜在MEMS器件上获得应用。 展开更多
关键词 NI-W合金 电沉积 热稳定性 薄膜结构 热处理
在线阅读 下载PDF
UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析 被引量:4
4
作者 毛胜平 汪红 +3 位作者 刘瑞 汤俊 李雪萍 丁桂甫 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期354-357,361,共5页
利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍... 利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍薄膜的力学性能。3种测试方法的结果呈现了一致的规律性变化——弹性模量显著降低,强度显著提高,表明UV-LIGA镍具有与块体镍显著不同的力学性能。通过X射线衍射分析(XRD),测量了该电流密度下试样的择优取向和晶粒尺寸,通过场发射扫描电镜(SEM)观察了试样的表面形貌和拉伸断口,并初步地分析了UV-LIGA镍力学性能的变化原因。该测试结果为微器件的仿真设计提供了重要的参考依据。 展开更多
关键词 MEMS UV—LIGA镍 电沉积 力学性能 单轴拉伸
在线阅读 下载PDF
电沉积纳米锌层的研究 被引量:3
5
作者 曹莹 沈天慧 +1 位作者 姚锦元 丁桂甫 《电化学》 CAS CSCD 2004年第1期107-111,共5页
 采用XRD研究和场发射电镜(FEG_TEM)电沉积锌镀层纳米改性,分别观察并分析纳米镀锌层的结晶形态及其晶粒尺寸,根据镀层极化曲线和中性盐雾试验测定,结果表明,纳米镀锌层的抗腐蚀性能优于其它镀层.
关键词 电沉积 纳米锌层 结晶形态 晶粒尺寸 抗腐蚀性能 家用轿车 表面装饰技术 镀锌钢板
在线阅读 下载PDF
液相法制备纳米粒子的粒径控制研究 被引量:5
6
作者 张效岩 王英 张亚非 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期2699-2703,共5页
液相法是目前制备纳米粒子的重要方法之一.本文简要地阐述了液相法制备纳米粒子时粒径控制的机理,并在液相法过程特征的基础上,重点分析了影响粒径分布和形状控制的几个最主要因素,详细解释了化学计量学方法在控制纳米粒子粒度及其分布... 液相法是目前制备纳米粒子的重要方法之一.本文简要地阐述了液相法制备纳米粒子时粒径控制的机理,并在液相法过程特征的基础上,重点分析了影响粒径分布和形状控制的几个最主要因素,详细解释了化学计量学方法在控制纳米粒子粒度及其分布方面的应用. 展开更多
关键词 纳米粒子 液相法 粒径控制 化学计量学
在线阅读 下载PDF
MEMS中Ni-W合金薄膜力学性能的研究 被引量:2
7
作者 刘瑞 汪红 +3 位作者 汤俊 毛胜平 陈辉 丁桂甫 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第8期46-48,共3页
研究了柠檬酸胺—1—羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中Ni-W的力学性能。通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试系统进行拉伸试验。结果表明:在Ni-W薄膜试样尺寸为5μm×50μm×100μm条... 研究了柠檬酸胺—1—羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中Ni-W的力学性能。通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试系统进行拉伸试验。结果表明:在Ni-W薄膜试样尺寸为5μm×50μm×100μm条件下,其杨氏模量约为100.4 GPa,抗拉强度为1.96 GPa,应变约为3.6%。 展开更多
关键词 微机电系统 Ni—W合金 电沉积 力学性能 拉伸试验
在线阅读 下载PDF
一种MEMS薄膜材料的力学性能测试方法 被引量:2
8
作者 李雪萍 丁桂甫 +2 位作者 安藤妙子 式田光宏 佐藤一雄 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第2期85-87,91,共4页
介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法。其特点是微小试件两端固定,且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量,提高对准精度。整个机构以微细加工方法制成,硅类试件以干法蚀刻成型,金属类试件以电镀方法成型... 介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法。其特点是微小试件两端固定,且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量,提高对准精度。整个机构以微细加工方法制成,硅类试件以干法蚀刻成型,金属类试件以电镀方法成型,其余加载机构以湿法刻蚀制成。试验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础。 展开更多
关键词 微机电系统 力学性能 薄膜 拉伸试验
在线阅读 下载PDF
旋涂法制备碳纳米管阴极及其场发射性能的测试 被引量:1
9
作者 钱开友 颜丙勇 +3 位作者 王芸 叶枝灿 徐东 蔡炳初 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期33-35,共3页
采用Y2O3和Ni作催化剂,在H2和He混合气体气氛下通过弧光放电法得到高纯度的单壁碳纳米管。在用热氧化提纯法对高纯度碳纳米管产物进行进一步提纯后,用这种碳纳米管粉末与酒精配制成悬浮液,通过旋涂、干燥、退火等工艺得到碳纳米管阴极... 采用Y2O3和Ni作催化剂,在H2和He混合气体气氛下通过弧光放电法得到高纯度的单壁碳纳米管。在用热氧化提纯法对高纯度碳纳米管产物进行进一步提纯后,用这种碳纳米管粉末与酒精配制成悬浮液,通过旋涂、干燥、退火等工艺得到碳纳米管阴极薄膜。I-V测试表明用该法得到的碳纳米管薄膜具有良好的电子场致发射性能。 展开更多
关键词 旋涂法 弧光放电法 碳纳米管 场发射
在线阅读 下载PDF
一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型
10
作者 李雪萍 丁桂甫 +2 位作者 安藤妙子 式田光宏 佐藤一雄 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1595-1598,共4页
坡莫合金(Ni80Fe20)薄膜是微机电系统常用的磁性材料之一.介绍了一种用于测试其机械性能的单轴拉伸试验模型.此模型的特点是微小试件两端固定、且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量、提高对准精度.整个机构以微细加工方法制... 坡莫合金(Ni80Fe20)薄膜是微机电系统常用的磁性材料之一.介绍了一种用于测试其机械性能的单轴拉伸试验模型.此模型的特点是微小试件两端固定、且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量、提高对准精度.整个机构以微细加工方法制成:坡莫合金拉伸试件以光刻和电镀技术成型,其余的加载机构以湿法蚀刻制成.实验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础. 展开更多
关键词 微机电系统 机械性能 坡莫合金 拉伸试验
在线阅读 下载PDF
NiTiPd形状记忆合金薄膜的相变和力学特性
11
作者 张丛春 杨春生 +2 位作者 丁桂甫 吴键生 钱士强 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2006年第3期319-320,324,共3页
利用磁控溅射法制备了NiTiPd形状记忆合金薄膜,并对晶化后的薄膜测量了其相变特性和力学性能。结果表明,薄膜在真空室中于750℃热处理1 h可获得较好的形状记忆效应,NiTiPd薄膜的相变温度比相应的NiTi薄膜的相变温度高,奥氏体相变温度As... 利用磁控溅射法制备了NiTiPd形状记忆合金薄膜,并对晶化后的薄膜测量了其相变特性和力学性能。结果表明,薄膜在真空室中于750℃热处理1 h可获得较好的形状记忆效应,NiTiPd薄膜的相变温度比相应的NiTi薄膜的相变温度高,奥氏体相变温度As高于100℃。在室温到150℃范围,随着温度升高,薄膜的断裂强度提高,但是残余应变变小。 展开更多
关键词 磁控溅射法 NiTiPd薄膜 相变 力学性能
在线阅读 下载PDF
铁硅铝/锰锌铁氧体复合软磁薄膜成型工艺及磁性能研究 被引量:2
12
作者 谢辅强 丁桂甫 +2 位作者 汪红 程萍 王艳 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期109-112,118,共5页
研究了基于高饱和磁感应强度的铁硅铝软磁材料的复合软磁材料薄膜的低温成型工艺和磁性能。绝缘包覆工艺上,使用高电阻率的锰锌铁氧体软磁粉末做绝缘剂。粘结工艺上,使用水玻璃做粘结剂,低温固化粘结。与传统工艺比,低温成型工艺与微加... 研究了基于高饱和磁感应强度的铁硅铝软磁材料的复合软磁材料薄膜的低温成型工艺和磁性能。绝缘包覆工艺上,使用高电阻率的锰锌铁氧体软磁粉末做绝缘剂。粘结工艺上,使用水玻璃做粘结剂,低温固化粘结。与传统工艺比,低温成型工艺与微加工工艺兼容。应用该工艺制作了软磁薄膜,采用超景深三维显微系统VHX-2000观测复合材料的微观结构;运用振动样品磁强计测试薄膜的静态磁性能参数;使用交流磁化率测量仪测试薄膜动态磁性能参数。针对软磁磁粉颗粒度、绝缘包覆、粘结成型等不同工艺因素,制作了薄膜样品,总结了不同工艺因素对薄膜综合磁性能的影响。 展开更多
关键词 复合软磁材料薄膜 综合磁性能 绝缘剂 粘结剂 低温成型
在线阅读 下载PDF
纳米压印过程中的聚合物流变机理 被引量:1
13
作者 刘瑞宏 李海华 王庆康 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期887-891,899,共6页
针对紫外纳米压印工艺,采用有限元软件对光刻胶的流变填充过程进行了模拟.根据紫外压印中光刻胶黏度系数小的特点,建立了基于黏性流体的模型,采用流固耦合的ALE(ArbitraryLagrange Euler)方法,系统分析了模板的周期性、占空比、深宽比... 针对紫外纳米压印工艺,采用有限元软件对光刻胶的流变填充过程进行了模拟.根据紫外压印中光刻胶黏度系数小的特点,建立了基于黏性流体的模型,采用流固耦合的ALE(ArbitraryLagrange Euler)方法,系统分析了模板的周期性、占空比、深宽比及非周期结构对光刻胶填充效果的影响.结果表明,相对于非周期模板,周期结构的模板所能引起的图形转移缺陷小;占空比及深宽比对小周期模板比大周期模板的影响大.进行了纳米压印实验,实验结果与仿真结果吻合,说明了仿真的可信,可以作为模板结构设计及表面处理工艺的依据. 展开更多
关键词 紫外纳米压印 有限元仿真 占空比 周期结构 任意的拉格朗日-欧拉
在线阅读 下载PDF
基于化学掺杂的碳纳米管二极管
14
作者 宋传娟 杨俊茹 +8 位作者 廖成浩 刘晓东 王英 贺蓉 董续盛 钟汉清 刘一剑 张丽英 陈长鑫 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期476-480,共5页
本文制备了一种基于局部化学掺杂的单壁碳纳米管(SWCNT) p-i-n结二极管。在此器件中,单根SWCNT沟道的两端分别被掺杂成p型和n型,沟道中段保留为本征状态,从而在SWCNT中形成具有较强内建电场的p-i-n结,表现出二极管特性。所制二极管器件... 本文制备了一种基于局部化学掺杂的单壁碳纳米管(SWCNT) p-i-n结二极管。在此器件中,单根SWCNT沟道的两端分别被掺杂成p型和n型,沟道中段保留为本征状态,从而在SWCNT中形成具有较强内建电场的p-i-n结,表现出二极管特性。所制二极管器件具有高的器件性能,其整流比可达10~3数量级、反向饱和电流仅为23 p A。此外,简要探讨了该结构二极管的工作原理。 展开更多
关键词 单壁碳纳米管 p-i-n结二极管 局部化学掺杂 整流特性
在线阅读 下载PDF
微型电磁式振动能量采集器的研究进展 被引量:32
15
作者 王佩红 戴旭涵 赵小林 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2007年第9期94-98,111,共6页
随着低功耗无线传感网络和微机电系统的迅速发展,供电问题正成为它们进入实用化、产业化的一大障碍。现有的一个解决方案是微型电磁式振动能量采集器。首先给出电磁式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设计原则,然后详细介绍目前国... 随着低功耗无线传感网络和微机电系统的迅速发展,供电问题正成为它们进入实用化、产业化的一大障碍。现有的一个解决方案是微型电磁式振动能量采集器。首先给出电磁式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设计原则,然后详细介绍目前国内外各研究小组研制的电磁式振动能量采集器的几何模型、结构参数、输出结果和技术特点,最后简单分析电磁式振动能量采集器面临的困难、挑战和发展趋势。 展开更多
关键词 微机电系统 振动能量采集器 电磁式
在线阅读 下载PDF
非接触压电马达驱动机理分析 被引量:8
16
作者 刘景全 杨斌 +2 位作者 周广华 蔡炳初 杨志刚 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2005年第5期562-565,共4页
主要研究行波型非接触压电马达的驱动机理,该文引入边界层概念,对振动体产生的边界层进行分析,探讨行波型超声波非接触驱动机理。给出在振子产生的边界层内超声波非接触驱动主要为声流驱动,而在边界层外是由壁面行波产生的斜向声辐射压... 主要研究行波型非接触压电马达的驱动机理,该文引入边界层概念,对振动体产生的边界层进行分析,探讨行波型超声波非接触驱动机理。给出在振子产生的边界层内超声波非接触驱动主要为声流驱动,而在边界层外是由壁面行波产生的斜向声辐射压力驱动。 展开更多
关键词 压电马达 非接触 驱动机理
在线阅读 下载PDF
基于微加速度传感器的无线鼠标的设计 被引量:12
17
作者 黄得志 陈文元 +2 位作者 杨华锋 钱莉 张卫平 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第1期50-52,55,共4页
研究基于微加速度传感器的无线鼠标的设计,讨论了MEMS无线鼠标的软件、硬件设计和系统组成,给出了M atlab环境下系统的模型和算法。模拟结果说明:无线鼠标的设计是合理可行的,提出的二次积分近似算法是简捷有效的。
关键词 微加速度传感器 微机电系统 无线鼠标
在线阅读 下载PDF
通过可动触点延长接触时间的新型微冲击开关 被引量:5
18
作者 蔡豪刚 丁桂甫 +2 位作者 杨卓青 周镇威 汪红 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2009年第7期147-152,共6页
基于非硅表面微加工技术,设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统(MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成:作为可动电极的质量块,作为固定电极的十字梁,和位于质量块中心的具有延时作用的可动触点。通过ANSYS有限元仿真,对器件进... 基于非硅表面微加工技术,设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统(MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成:作为可动电极的质量块,作为固定电极的十字梁,和位于质量块中心的具有延时作用的可动触点。通过ANSYS有限元仿真,对器件进行模态分析,考察了器件的横向抗干扰能力;并提取了器件的物理参数(如弹簧弹性系数和系统有效质量),以用于Simulink动态仿真。通过动态仿真验证了器件的工作原理,并与传统微冲击开关进行了比较。使用落锤试验对所制造出的微冲击开关进行测试,加载脉宽1ms的半正弦冲击加速度,测得其阈值约为145g,并且接触时间可稳定在50μs以上。测试结果与仿真符合较好,证明了新型设计可以有效地增强接触效果,所建模型可以较准确地描述器件的动态响应。 展开更多
关键词 微冲击开关 微机电系统 可动触点 接触时间
在线阅读 下载PDF
应用X射线光刻的微针阵列及掩模板补偿 被引量:5
19
作者 陈少军 李以贵 杉山进 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期420-425,共6页
提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针的微细加工工艺,该工艺基于PCT技术,结合X射线以及光刻掩模制作三维微结构。通过移动LIGA掩模板曝光来加工微立体PMMA结构,其加工形状取决于X光光刻掩模板吸收体的形状。实验显示,最终的结构形状... 提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针的微细加工工艺,该工艺基于PCT技术,结合X射线以及光刻掩模制作三维微结构。通过移动LIGA掩模板曝光来加工微立体PMMA结构,其加工形状取决于X光光刻掩模板吸收体的形状。实验显示,最终的结构形状并非完全与掩模板上吸收体的形状一致。如果不对X光光刻掩模板的吸收体形状进行补偿,即会使被加工的微结构侧面变形,从而影响微针的性能。分析了微针阵列侧面变形的原因,认为这种变形是由于显影时间与曝光量之间的非线性关系导致结构形状与曝光量分布不完全一致造成的。利用PCT方法制作的PMMA微针其长度为100~750μm,直径为30~150μm,针尖的直径最小可达100nm。通过对LIGA掩模板上的吸收体图形进行适当的补偿,使吸收体图形从中空的双直角三角形变为中空的半椭圆图形,增强了带沟道的微注射针阵列的强度。 展开更多
关键词 X射线光刻 聚甲基丙烯酸甲酯 三维微结构 掩模 吸收体
在线阅读 下载PDF
毫米级全方位移动机器人及其微装配系统研究 被引量:5
20
作者 陈佳品 李振波 唐晓宁 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第14期1223-1225,共3页
微装配系统由微机器人、微移动平台、普通摄像头和显微摄像头组成。微机器人本体尺寸为9mm×9mm×6mm,具有全方位移动特性。机器人使用了4个直径3mm电磁型微电机,其中1个为转向驱动器,其余为前进动力源。基于LIGA技术制造的微... 微装配系统由微机器人、微移动平台、普通摄像头和显微摄像头组成。微机器人本体尺寸为9mm×9mm×6mm,具有全方位移动特性。机器人使用了4个直径3mm电磁型微电机,其中1个为转向驱动器,其余为前进动力源。基于LIGA技术制造的微齿轮减速系统将4个电机联系在一起,提高了转向分辨率和转向驱动力矩。由SU-8胶制成的手掌固定于压电机械手臂的前端并安装在机器人的顶部,可夹放工件。通过采用细分方法,微机器人直线移动定位达到每步0.07mm,转向精度每步0.8°。微移动平台的定位精度为每步0.005mm,其位移范围为0~0.3mm。微机器人与微动平台相互结合实现了轴孔装配,轴承孔径为0.6mm,轴径0.35mm。 展开更多
关键词 毫米级 全方位 移动机器人 微装配
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部