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n型双面TOPCon太阳电池钝化技术 被引量:4
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作者 于波 史金超 +3 位作者 李锋 庞龙 刘克铭 于威 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第5期368-373,共6页
隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)技术已成为当前产业化高效太阳电池的重点研究方向之一。报道了可应用于规模化生产的n型双面TOPCon太阳电池技术,对前表面SiO_2/多晶硅钝化层进行了优化设计。为了有效降低接触电阻,太阳电池的背表面采用了... 隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)技术已成为当前产业化高效太阳电池的重点研究方向之一。报道了可应用于规模化生产的n型双面TOPCon太阳电池技术,对前表面SiO_2/多晶硅钝化层进行了优化设计。为了有效降低接触电阻,太阳电池的背表面采用了全面积SiO_2/多晶硅钝化层结构;为避免多晶硅层对太阳光的寄生吸收,仅将SiO_2/多晶硅钝化层应用于前表面金属接触的底部。J-V特性和少子寿命等分析显示,双面TOPCon结构设计显著提升了太阳电池的表面钝化接触性能,其开路电压和短路电流密度显著增加。所制备的面积为239 cm^2的双面TOPCon太阳电池的平均正面转换效率可达20.33%,相对正面无SiO_2/多晶硅钝化层的常规钝化发射极及背表面全扩散(PERT)结构的太阳电池转换效率提升了0.29%。 展开更多
关键词 隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)太阳电池 选择性钝化接触 隧穿氧化层 多晶硅 双面太阳电池
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激光掺杂制作选择性发射极电池扩散工艺的研究 被引量:2
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作者 马红娜 赵学玲 张红妹 《光电子技术》 CAS 2016年第4期270-273,282,共5页
研究了激光掺杂制作选择性发射极电池的三氯氧磷(POCl3)扩散工艺。优化扩散时间、气体流量和温度控制参数,结合三氯氧磷扩散后磷硅玻璃(PSG)层中磷浓度、扩散层深度、表面掺杂浓度、扩散后方阻及激光后方块电阻的测试,得到了合适的三氯... 研究了激光掺杂制作选择性发射极电池的三氯氧磷(POCl3)扩散工艺。优化扩散时间、气体流量和温度控制参数,结合三氯氧磷扩散后磷硅玻璃(PSG)层中磷浓度、扩散层深度、表面掺杂浓度、扩散后方阻及激光后方块电阻的测试,得到了合适的三氯氧磷扩散工艺。与未采用优化工艺的电池相比,光电转换效率提升约0.3%。 展开更多
关键词 激光掺杂 选择性发射极电池 三氯氧磷扩散 方块电阻
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PEALD制备的Al_(2)O_(3)薄膜在n-TOPCon太阳电池上的钝化性能 被引量:1
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作者 于波 史金超 +4 位作者 李锋 王红芳 陈俊玉 刘克铭 于威 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第5期370-375,共6页
对采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)法制备的Al_(2)O_(3)薄膜在n型单晶硅隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)太阳电池正表面的钝化性能进行了研究。采用少数载流子寿命、X射线电子能谱(XPS)及J-V特性的测试分析,重点研究了Al_(2)O_(3)沉积温... 对采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)法制备的Al_(2)O_(3)薄膜在n型单晶硅隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)太阳电池正表面的钝化性能进行了研究。采用少数载流子寿命、X射线电子能谱(XPS)及J-V特性的测试分析,重点研究了Al_(2)O_(3)沉积温度、薄膜厚度及薄膜形成后不同退火条件对钝化性能的影响,实现了低表面复合速率、良好钝化效果的产业化制备的Al_(2)O_(3)薄膜工艺。研究结果表明,在沉积温度为150℃、膜厚为5 nm、退火温度为450℃时,测试计算得出薄膜中O和Al的原子数之比为2.08,电池发射极正表面复合速率较低,达到了Al_(2)O_(3)钝化的最优效果,并且分析了Al_(2)O_(3)薄膜的化学态和形成机理。利用其Al_(2)O_(3)薄膜工艺制备的n型单晶硅TOPCon太阳电池开路电压提升了8 mV,电池的平均光电转换效率达到了23.30%。 展开更多
关键词 隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)太阳电池 表面复合速率 钝化 退火 Al_(2)O_(3)
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板式PECVD镀膜均匀性及颜色优化研究 被引量:2
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作者 张晓朋 李翠双 +2 位作者 刘海金 闫兰 赵培 《光电子技术》 CAS 北大核心 2018年第2期141-144,共4页
研究了PECVD工艺对晶硅太阳能电池表面氮化硅薄膜的均匀性和组件的外观颜色差异的影响。以梅耶博格的SINA I板式PECVD设备为例,讨论了产生颜色差异的原因,并提出了解决颜色差异、优化颜色及镀膜均匀性的方案。在此基础上,对板式PECVD镀... 研究了PECVD工艺对晶硅太阳能电池表面氮化硅薄膜的均匀性和组件的外观颜色差异的影响。以梅耶博格的SINA I板式PECVD设备为例,讨论了产生颜色差异的原因,并提出了解决颜色差异、优化颜色及镀膜均匀性的方案。在此基础上,对板式PECVD镀膜设备进行了有针对性的调整,改善了镀膜的均匀性,使颜色的一致性得到优化。 展开更多
关键词 晶硅太阳能电池 PECVD镀膜 外观颜色 均匀性
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N型太阳能电池Al_2O_3薄膜钝化性能研究 被引量:2
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作者 郎芳 《中国高新技术企业》 2016年第34期28-29,共2页
文章从提升N型太阳能电池发电效率和降低其加工成本入手,分析了如何通过钝化机制来降低电池的复合,通过对Al_2O_3薄膜制备过程中臭氧浓度、沉积温度、烧结温度以及Al_2O_3薄膜的厚度进行对比和分析,发现Al_2O_3薄膜在一个较宽的范围内... 文章从提升N型太阳能电池发电效率和降低其加工成本入手,分析了如何通过钝化机制来降低电池的复合,通过对Al_2O_3薄膜制备过程中臭氧浓度、沉积温度、烧结温度以及Al_2O_3薄膜的厚度进行对比和分析,发现Al_2O_3薄膜在一个较宽的范围内能够达到较稳定的钝化效果,因此其工业应用前景广阔。 展开更多
关键词 AL2O3薄膜 表面复合 N型太阳能电池 钝化性能 发电效率
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