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n型双面TOPCon太阳电池钝化技术被引量：4: 1; 作者于波史金超 +3 位作者李锋庞龙刘克铭于威《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第5期368-373,共6页; 隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)技术已成为当前产业化高效太阳电池的重点研究方向之一。报道了可应用于规模化生产的n型双面TOPCon太阳电池技术,对前表面SiO_2/多晶硅钝化层进行了优化设计。为了有效降低接触电阻,太阳电池的背表面采用了... 展开更多; 关键词隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)太阳电池选择性钝化接触隧穿氧化层多晶硅双面太阳电池; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光掺杂制作选择性发射极电池扩散工艺的研究被引量：2: 2; 作者马红娜赵学玲张红妹《光电子技术》 CAS 2016年第4期270-273,282,共5页; 研究了激光掺杂制作选择性发射极电池的三氯氧磷(POCl3)扩散工艺。优化扩散时间、气体流量和温度控制参数,结合三氯氧磷扩散后磷硅玻璃(PSG)层中磷浓度、扩散层深度、表面掺杂浓度、扩散后方阻及激光后方块电阻的测试,得到了合适的三氯... 展开更多; 关键词激光掺杂选择性发射极电池三氯氧磷扩散方块电阻; 在线阅读下载PDF 职称材料

PEALD制备的Al_(2)O_(3)薄膜在n-TOPCon太阳电池上的钝化性能被引量：1: 3; 作者于波史金超 +4 位作者李锋王红芳陈俊玉刘克铭于威《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第5期370-375,共6页; 对采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)法制备的Al_(2)O_(3)薄膜在n型单晶硅隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)太阳电池正表面的钝化性能进行了研究。采用少数载流子寿命、X射线电子能谱(XPS)及J-V特性的测试分析,重点研究了Al_(2)O_(3)沉积温... 展开更多; 关键词隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)太阳电池表面复合速率钝化退火 Al_(2)O_(3); 在线阅读下载PDF 职称材料

板式PECVD镀膜均匀性及颜色优化研究被引量：2: 4; 作者张晓朋李翠双 +2 位作者刘海金闫兰赵培《光电子技术》 CAS 北大核心 2018年第2期141-144,共4页; 研究了PECVD工艺对晶硅太阳能电池表面氮化硅薄膜的均匀性和组件的外观颜色差异的影响。以梅耶博格的SINA I板式PECVD设备为例,讨论了产生颜色差异的原因,并提出了解决颜色差异、优化颜色及镀膜均匀性的方案。在此基础上,对板式PECVD镀... 展开更多; 关键词晶硅太阳能电池 PECVD镀膜外观颜色均匀性; 在线阅读下载PDF 职称材料

N型太阳能电池Al_2O_3薄膜钝化性能研究被引量：2: 5; 作者郎芳《中国高新技术企业》 2016年第34期28-29,共2页; 文章从提升N型太阳能电池发电效率和降低其加工成本入手,分析了如何通过钝化机制来降低电池的复合,通过对Al_2O_3薄膜制备过程中臭氧浓度、沉积温度、烧结温度以及Al_2O_3薄膜的厚度进行对比和分析,发现Al_2O_3薄膜在一个较宽的范围内... 展开更多; 关键词 AL2O3薄膜表面复合 N型太阳能电池钝化性能发电效率; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名n型双面TOPCon太阳电池钝化技术被引量：4: 1; 作者于波史金超李锋庞龙刘克铭于威; 机构河北大学物理科学与技术学院英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室; 出处《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第5期368-373,共6页; 文摘隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)技术已成为当前产业化高效太阳电池的重点研究方向之一。报道了可应用于规模化生产的n型双面TOPCon太阳电池技术,对前表面SiO_2/多晶硅钝化层进行了优化设计。为了有效降低接触电阻,太阳电池的背表面采用了全面积SiO_2/多晶硅钝化层结构;为避免多晶硅层对太阳光的寄生吸收,仅将SiO_2/多晶硅钝化层应用于前表面金属接触的底部。J-V特性和少子寿命等分析显示,双面TOPCon结构设计显著提升了太阳电池的表面钝化接触性能,其开路电压和短路电流密度显著增加。所制备的面积为239 cm^2的双面TOPCon太阳电池的平均正面转换效率可达20.33%,相对正面无SiO_2/多晶硅钝化层的常规钝化发射极及背表面全扩散(PERT)结构的太阳电池转换效率提升了0.29%。; 关键词隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)太阳电池选择性钝化接触隧穿氧化层多晶硅双面太阳电池; Keywords tunneling oxide passivation contact(TOPCon)solar cell selective passivated contact tunneling oxide layer poly Si bifacial solar cell; 分类号 TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光掺杂制作选择性发射极电池扩散工艺的研究被引量：2: 2; 作者马红娜赵学玲张红妹; 机构英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室; 出处《光电子技术》 CAS 2016年第4期270-273,282,共5页; 文摘研究了激光掺杂制作选择性发射极电池的三氯氧磷(POCl3)扩散工艺。优化扩散时间、气体流量和温度控制参数,结合三氯氧磷扩散后磷硅玻璃(PSG)层中磷浓度、扩散层深度、表面掺杂浓度、扩散后方阻及激光后方块电阻的测试,得到了合适的三氯氧磷扩散工艺。与未采用优化工艺的电池相比,光电转换效率提升约0.3%。; 关键词激光掺杂选择性发射极电池三氯氧磷扩散方块电阻; Keywords laser doping selective emitter solar cell POCl3diffusion sheet resistance; 分类号 TK513 [动力工程及工程热物理—热能工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名PEALD制备的Al_(2)O_(3)薄膜在n-TOPCon太阳电池上的钝化性能被引量：1: 3; 作者于波史金超李锋王红芳陈俊玉刘克铭于威; 机构河北大学物理科学与技术学院英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室; 出处《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第5期370-375,共6页; 基金国家重点研发计划资助项目(2018YFB1500500) 科技研发平台建设专项资助项目(199676184H) 新能源产业技术创新专项资助项目(20314303D)。; 文摘对采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)法制备的Al_(2)O_(3)薄膜在n型单晶硅隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)太阳电池正表面的钝化性能进行了研究。采用少数载流子寿命、X射线电子能谱(XPS)及J-V特性的测试分析,重点研究了Al_(2)O_(3)沉积温度、薄膜厚度及薄膜形成后不同退火条件对钝化性能的影响,实现了低表面复合速率、良好钝化效果的产业化制备的Al_(2)O_(3)薄膜工艺。研究结果表明,在沉积温度为150℃、膜厚为5 nm、退火温度为450℃时,测试计算得出薄膜中O和Al的原子数之比为2.08,电池发射极正表面复合速率较低,达到了Al_(2)O_(3)钝化的最优效果,并且分析了Al_(2)O_(3)薄膜的化学态和形成机理。利用其Al_(2)O_(3)薄膜工艺制备的n型单晶硅TOPCon太阳电池开路电压提升了8 mV,电池的平均光电转换效率达到了23.30%。; 关键词隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)太阳电池表面复合速率钝化退火 Al_(2)O_(3); Keywords tunnel oxide passivated contact(TOPCon)solar cell surface recombination rate passivation annealing Al_(2)O_(3); 分类号 TK514 [动力工程及工程热物理—热能工程] TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名板式PECVD镀膜均匀性及颜色优化研究被引量：2: 4; 作者张晓朋李翠双刘海金闫兰赵培; 机构英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室; 出处《光电子技术》 CAS 北大核心 2018年第2期141-144,共4页; 文摘研究了PECVD工艺对晶硅太阳能电池表面氮化硅薄膜的均匀性和组件的外观颜色差异的影响。以梅耶博格的SINA I板式PECVD设备为例,讨论了产生颜色差异的原因,并提出了解决颜色差异、优化颜色及镀膜均匀性的方案。在此基础上,对板式PECVD镀膜设备进行了有针对性的调整,改善了镀膜的均匀性,使颜色的一致性得到优化。; 关键词晶硅太阳能电池 PECVD镀膜外观颜色均匀性; Keywords crystalline silicon solar cells PECVD color differences uniformity; 分类号 TN304 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名N型太阳能电池Al_2O_3薄膜钝化性能研究被引量：2: 5; 作者郎芳; 机构英利能源(中国)有限公司光伏材料与技术国家重点实验室; 出处《中国高新技术企业》 2016年第34期28-29,共2页; 文摘文章从提升N型太阳能电池发电效率和降低其加工成本入手,分析了如何通过钝化机制来降低电池的复合,通过对Al_2O_3薄膜制备过程中臭氧浓度、沉积温度、烧结温度以及Al_2O_3薄膜的厚度进行对比和分析,发现Al_2O_3薄膜在一个较宽的范围内能够达到较稳定的钝化效果,因此其工业应用前景广阔。; 关键词 AL2O3薄膜表面复合 N型太阳能电池钝化性能发电效率; 分类号 TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	n型双面TOPCon太阳电池钝化技术	于波史金超李锋庞龙刘克铭于威	《半导体技术》 CAS 北大核心	2019	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	激光掺杂制作选择性发射极电池扩散工艺的研究	马红娜赵学玲张红妹	《光电子技术》 CAS	2016	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	PEALD制备的Al_(2)O_(3)薄膜在n-TOPCon太阳电池上的钝化性能	于波史金超李锋王红芳陈俊玉刘克铭于威	《半导体技术》 CAS 北大核心	2021	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	板式PECVD镀膜均匀性及颜色优化研究	张晓朋李翠双刘海金闫兰赵培	《光电子技术》 CAS 北大核心	2018	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	N型太阳能电池Al_2O_3薄膜钝化性能研究	郎芳	《中国高新技术企业》	2016	2	在线阅读下载PDF 职称材料