六氟丁二烯的制备、纯化及应用 被引量：5

1

作者 金小贤 夏致远 +2 位作者 张友圣 孙猛 金向华 《低温与特气》 CAS 2018年第1期26-29,共4页

六氟丁二烯作为干法刻蚀气体,相对于传统的全氟刻蚀气,具有环境友好,刻蚀精度高、选择性好等优点。对六氟丁二烯的制备、纯化及应用做了简要介绍,并对其工业化生产现状做了简单描述。

关键词 六氟1 3-丁二烯 制备 纯化 应用 市场

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超纯氨原料无水工业液氨中油含量测定方法研究 被引量：3

2

作者 金向华 李荷庆 +3 位作者 严海峰 王海 黄军聘 朱威莉 《低温与特气》 CAS 2014年第1期38-40,共3页

研究了一种用分光光度计检测超纯氨原料无水工业液氨中油含量的测定方法,包括样品的制备,检测原理,检测步骤与检测结果的合理判断;并对一些技术问题进行探讨,该方法能满足超纯氨气生产的需要,并且比较经济适用。

关键词 超纯氨 原料氨 油含量 分光光度计 红外吸收法 重量法 检测方法

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碳酰氟的研究进展 被引量：3

3

作者 金小贤 夏致远 金向华 《低温与特气》 CAS 2017年第1期1-3,6,共4页

碳酰氟是一种应用于半导体设备刻蚀和清洗的新型材料,在有机合成及氟化物的干燥、纯化领域也有重要应用。目前国内外关于碳酰氟的制备报道有很多,根据原料种类大体可分为四类,其中CO作为原料制备碳酰氟是应用最多的方法。作为应用于半... 碳酰氟是一种应用于半导体设备刻蚀和清洗的新型材料,在有机合成及氟化物的干燥、纯化领域也有重要应用。目前国内外关于碳酰氟的制备报道有很多,根据原料种类大体可分为四类,其中CO作为原料制备碳酰氟是应用最多的方法。作为应用于半导体行业的电子气体,对于纯度有一定的要求,因此碳酰氟的纯化也是制约其工业化应用的重要因素。 展开更多

关键词 碳酰氟 制备 纯化 应用

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气相色谱法测定高纯四氟化碳中三氟化氮杂质的方法 被引量：3

4

作者 许军州 夏致远 +1 位作者 孙猛 金向华 《低温与特气》 CAS 2017年第6期35-38,共4页

阐述了采用气相色谱法加中心切割、反吹的方法测定高纯四氟化碳中的微量三氟化氮杂质,此方法可靠,操作简单。通过多次实验对过程中的分析条件进行优化,从而达到有效的色谱分离度。并对目前四氟化碳的生产制备及分析方法做了简单的描述。

关键词 四氟化碳 三氟化氮 气相色谱法 PDD检测器

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光纤拉丝氦气回收提纯技术 被引量：3

5

作者 孙猛 李荷庆 金向华 《低温与特气》 CAS 2016年第4期42-45,共4页

氦气的比热容非常高,并且是惰性气体,故在光纤拉丝中通常用作光纤冷却用气体。氦气是一种从天然气井中作为副产物而获得的不可再生的昂贵资源。从制造成本和战略安全等角度考虑,氦气回收的意义重大。通过对拉丝冷却管中的氦气进行收集,... 氦气的比热容非常高,并且是惰性气体,故在光纤拉丝中通常用作光纤冷却用气体。氦气是一种从天然气井中作为副产物而获得的不可再生的昂贵资源。从制造成本和战略安全等角度考虑,氦气回收的意义重大。通过对拉丝冷却管中的氦气进行收集,然后提纯并储存,以便对其再次利用,大幅降低了光纤企业生产成本,并保证了氦气资源的战略安全。 展开更多

关键词 氦气回收 光纤拉丝 气体提纯

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LED行业用废氨气处理技术 被引量：2

6

作者 孙猛 李荷庆 金向华 《低温与特气》 CAS 2016年第1期43-46,共4页

MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放。对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的优点和缺点。从回收利用和节能减排两个角度出发,对原有方法进行了改进,提出四级尾气吸收的... MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放。对现有的几种尾气处理技术进行分析,指出各自存在的优点和缺点。从回收利用和节能减排两个角度出发,对原有方法进行了改进,提出四级尾气吸收的新型尾气处理技术,实现了氨气的回收利用,降低对大气的污染。 展开更多

关键词 氨气 金属有机物化学气相沉积法 尾气处理 LED 环境污染

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超纯氢生产的新方法 被引量：2

7

作者 朱同清 《低温与特气》 CAS 2010年第4期1-3,共3页

简介了当前国内外生产超纯氢的三种方法及优缺点。提出了以高纯氢为原料,采用Pu-8新型吸附剂,高压低气速纯化直接灌充钢瓶下生产超纯氢的新方法。

关键词 超纯氢 生产 新方法

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氢气气瓶充装的技术及安全 被引量：1

8

作者 孙猛 李荷庆 金向华 《低温与特气》 CAS 2016年第5期45-48,共4页

氢气是主要的工业原料,也是最重要的工业气体和特种气体,但是氢气也是易燃易爆的气体,容易引发事故。综述了氢气气瓶充装过程中的操作流程和氢气充装过程中的危险性分析。最后,对氢气充瓶过程中易出现的事故及原因、出现事故后的处置技... 氢气是主要的工业原料,也是最重要的工业气体和特种气体,但是氢气也是易燃易爆的气体,容易引发事故。综述了氢气气瓶充装过程中的操作流程和氢气充装过程中的危险性分析。最后,对氢气充瓶过程中易出现的事故及原因、出现事故后的处置技术、出现事故前的预防措施等三方面加以阐述。 展开更多

关键词 氢气 技术规范 危险性 气瓶充装

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电子级高纯乙炔的纯化工艺 被引量：1

9

作者 温海涛 汪民霞 +2 位作者 陈剑军 徐聪 高如天 《低温与特气》 CAS 2021年第5期22-25,共4页

乙炔是重要的化工和半导体工业的原料,电子级高纯乙炔C_(2)H_(2)(体积分数≥99.99%)在大规模集成电路制造中用于碳掩膜制备,如介电膜和光刻碳层掩膜,采用等离子体增强化学气相沉积工艺,可以形成稳定的碳层膜。为满足半导体工业对电子级... 乙炔是重要的化工和半导体工业的原料,电子级高纯乙炔C_(2)H_(2)(体积分数≥99.99%)在大规模集成电路制造中用于碳掩膜制备,如介电膜和光刻碳层掩膜,采用等离子体增强化学气相沉积工艺,可以形成稳定的碳层膜。为满足半导体工业对电子级高纯乙炔的需求,需要对工业乙炔进行纯化,通过吸附和吸收解吸实验进行乙炔的纯化,得到符合要求的电子级高纯乙炔。 展开更多

关键词 电子级高纯乙炔 纯化 吸附 吸收 解吸

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紫外分光光度计法检测超纯氨中铁含量的研究

10

作者 王海 陈琦峰 +3 位作者 王磊 黄军聘 朱威莉 肖小芳 《低温与特气》 CAS 2012年第5期37-39,共3页

随着LED等行业的飞速发展,对作为重要原材料氨气的需求量越来越大,对其纯度要求也越来越高,其中铁含量是评价超纯氨质量的一个重要指标,对于铁含量的检测已经成为超纯氨生产与使用过程中的一个重要环节。介绍了目前检测超纯氨中铁含量... 随着LED等行业的飞速发展,对作为重要原材料氨气的需求量越来越大,对其纯度要求也越来越高,其中铁含量是评价超纯氨质量的一个重要指标,对于铁含量的检测已经成为超纯氨生产与使用过程中的一个重要环节。介绍了目前检测超纯氨中铁含量的常用方法,包括样品的制备、检测原理、检测步骤与检测结果的合理判断;并对一些技术问题进行探讨,开辟一条检测超纯氨中铁含量的新方法,为超纯氨的工业化生产做出贡献。 展开更多

关键词 超纯氨 铁含量 分光光度计 比浊法 色相色谱法 检测方法

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检测天然气中总丁烯烃含量的方法研究

11

作者 黄军聘 朱威莉 +4 位作者 王磊 王海 陈扬 陈琦峰 冉康德 《低温与特气》 CAS 2013年第4期37-40,49,共5页

介绍了目前检测天然气中总丁烯烃含量的方法:包括样品的制备,工作曲线的制作,检测原理和检测步骤;并对一些技术问题进行探讨,以开辟一条检测天然气中总烯烃含量的新方法。

关键词 天然气 化工 丁烯含量 研究 气相色谱法 检测方法

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羰基硫的生产制备和纯化技术发展

12

作者 金向华 王新喜 李莉 《低温与特气》 CAS 2019年第5期16-19,共4页

羰基硫作为一种重要的一碳化合物,由于其毒性适中、易于降解和对环境相对友好等特点,因此在农药生产制备和熏蒸剂中应用广泛。综述了目前羰基硫的制备技术、纯化工艺及设备,最后对其现有应用及前景进行了简述。

关键词 羰基硫 合成工艺 纯化 吸附 精馏

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氮中甲烷、丙烷、丙烯标准样品的制备

13

作者 孙林 刘志军 +2 位作者 李英辉 陈杨 尹玲玲 《低温与特气》 CAS 2012年第5期25-29,共5页

叙述了氮中甲烷、丙烷、丙烯标准样品制备,以及采用气相色谱法对其稳定性和均匀性进行考核,确保其数据准确可靠。

关键词 氮中甲烷 丙烷 丙烯标准样品 制备 定值

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空气源热水器在LED现场供气中的应用

14

作者 陈琦峰 冉康德 +3 位作者 王海 黄军聘 王磊 朱威莉 《低温与特气》 CAS 2013年第2期44-46,共3页

随着LED等行业的飞速发展,作为重要原材料氨气的需求量越来越大,传统的供气方式已经不能满足大规模的现场需求,ISO槽罐车是目前为LED客户大规模现场提供超纯氨的有效方法。为了配合ISO槽罐车的现场供气,介绍了采用空气源热水系统为ISO... 随着LED等行业的飞速发展,作为重要原材料氨气的需求量越来越大,传统的供气方式已经不能满足大规模的现场需求,ISO槽罐车是目前为LED客户大规模现场提供超纯氨的有效方法。为了配合ISO槽罐车的现场供气,介绍了采用空气源热水系统为ISO槽罐车提供热源,方便、节能、高效地实现了超纯氨的现场供气。 展开更多

关键词 LED 空气源热水器 超纯氨 ISO槽罐车

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一种氩保气集装格的改进与研究

15

作者 孙林 刘志军 +2 位作者 喻占星 吴林 尹玲玲 《低温与特气》 CAS 2014年第6期12-13,共2页

叙述了氩保气集装格的改进,以及采用气相色谱法对其稳定性和均匀性进行研究,确保其数据准确可靠。

关键词 集装格 导管 氩保气

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