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题名新型MEMS压力传感器的设计与制造
被引量：11
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作者
饶成明
杜伟略
蒋松昊
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机构
无锡职业技术学院物联网技术学院
江苏大学无锡机电学院
苏州研创自动化设备有限公司
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第6期70-73,77,共5页
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基金
2020年江苏省产学研合作项目(BY2020441)
江苏省高职院校教师专业带头人高端研修(个人访学)项目(2020GRFX093)。
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文摘
对柔性压力传感器进行了设计和研究,总体结构为三明治结构:由于介质层的结构比较特殊,选择了复眼微结构的设计方式,电极层在改性后的PDMS表面溅射一层金属银。将制备的三层结构通过键合的方式组成响应速度和灵敏度均较高的传感器。通过对传感器进行的测试实验可得:当传感器表面压力一定时,复眼结构的电容式压力传感器的灵敏度达到了0.28 kPa^(-1),响应时间和恢复时间分别为58 ms和43 ms,表明制造的传感器具有较快的响应速度。经1600次的撞击试验,传感器仍保持稳定输出。制备的传感器具有较强的响应特性、良好的恢复性和稳定性,能够适应柔性可穿戴电子器件的应用需求。
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关键词
电容式传感器
压力传感器
复眼结构
重复性测试
动态检测
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Keywords
capacitive sensor
pressure sensor
compound eye structure
repeatability test
motion detection
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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