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航空发动机涡轮叶片原位集成高温MEMS传感器的研制
被引量：
2
1
作者
段力
高均超
+4 位作者
丁桂甫
邵靖
毛成龙
沈杰
静波
《航空发动机》
北大核心
2018年第4期56-60,共5页
为了满足智能高性能航空发动机高温、高振动、高冲击的苛刻工作要求,采用MEMS(Micro-elect ro-mechanical-syst em,微机电系统)薄膜技术制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并进行了高温下的温度试验和振动冲击试验。试验结果...
为了满足智能高性能航空发动机高温、高振动、高冲击的苛刻工作要求,采用MEMS(Micro-elect ro-mechanical-syst em,微机电系统)薄膜技术制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并进行了高温下的温度试验和振动冲击试验。试验结果表明:热电阻传感器温度的线性良好,可以实现在高温环境下的温度控制;叶片原位温度传感器及其连线系统可以在规定的苛刻的振动与冲击试验指标下安全、可靠地工作,振动与冲击之后连接特性没有变化。将该原位集成传感器应用在涡轮叶片表面,不仅可以原位测量800℃的环境温度,而且具有很高的机械强度,可以承受40g的振动和100g的冲力。
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关键词
高温测量技术
传感器
抗振动
抗冲击
航空发动机
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职称材料
MEMS原位集成传感器振动冲击试验研究
被引量：
2
2
作者
邵靖
段力
+4 位作者
胡铭楷
丁桂甫
毛成龙
沈杰
静波
《振动．测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2018年第3期548-552,共5页
智能航空发动机及其他机械系统的智能化需要抗高振动和大冲力的原位集成传感器,要满足高温、高振动、高冲击的苛刻工作环境。为此制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并且进行了一系列的高温试验和振动冲击试验。该原位集成传...
智能航空发动机及其他机械系统的智能化需要抗高振动和大冲力的原位集成传感器,要满足高温、高振动、高冲击的苛刻工作环境。为此制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并且进行了一系列的高温试验和振动冲击试验。该原位集成传感器利用微机电系统(micro-electro-mechanical-system,简称MEMS)制造技术制作在涡轮叶片表面,不仅可以原位测量高达800℃的环境温度,并且具有很高的机械强度,可以承受高达40g的振动和100g的冲力。
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关键词
传感器
振动试验
冲击试验
MEMS微制造技术
原位集成
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职称材料
题名
航空发动机涡轮叶片原位集成高温MEMS传感器的研制
被引量：
2
1
作者
段力
高均超
丁桂甫
邵靖
毛成龙
沈杰
静波
机构
上海交通大学电子信息与电气工程学院
苏州泰斯特测控科技有限公司
上海中航商用航空发动机制造
有限
责任
公司
上海交通大学机械与动力工程学院
出处
《航空发动机》
北大核心
2018年第4期56-60,共5页
文摘
为了满足智能高性能航空发动机高温、高振动、高冲击的苛刻工作要求,采用MEMS(Micro-elect ro-mechanical-syst em,微机电系统)薄膜技术制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并进行了高温下的温度试验和振动冲击试验。试验结果表明:热电阻传感器温度的线性良好,可以实现在高温环境下的温度控制;叶片原位温度传感器及其连线系统可以在规定的苛刻的振动与冲击试验指标下安全、可靠地工作,振动与冲击之后连接特性没有变化。将该原位集成传感器应用在涡轮叶片表面,不仅可以原位测量800℃的环境温度,而且具有很高的机械强度,可以承受40g的振动和100g的冲力。
关键词
高温测量技术
传感器
抗振动
抗冲击
航空发动机
Keywords
high temperature measurement technology
sensors
vibration resistance
impact resistance
aeroengine
分类号
V239 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
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职称材料
题名
MEMS原位集成传感器振动冲击试验研究
被引量：
2
2
作者
邵靖
段力
胡铭楷
丁桂甫
毛成龙
沈杰
静波
机构
中国航发商用航空发动机
有限
责任
公司
上海交通大学电子信息与电气工程学院
苏州泰斯特测控科技有限公司
上海交通大学机械与动力工程学院
出处
《振动．测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2018年第3期548-552,共5页
文摘
智能航空发动机及其他机械系统的智能化需要抗高振动和大冲力的原位集成传感器,要满足高温、高振动、高冲击的苛刻工作环境。为此制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器,并且进行了一系列的高温试验和振动冲击试验。该原位集成传感器利用微机电系统(micro-electro-mechanical-system,简称MEMS)制造技术制作在涡轮叶片表面,不仅可以原位测量高达800℃的环境温度,并且具有很高的机械强度,可以承受高达40g的振动和100g的冲力。
关键词
传感器
振动试验
冲击试验
MEMS微制造技术
原位集成
分类号
U467.1 [机械工程—车辆工程]
TH113.1 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
航空发动机涡轮叶片原位集成高温MEMS传感器的研制
段力
高均超
丁桂甫
邵靖
毛成龙
沈杰
静波
《航空发动机》
北大核心
2018
2
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职称材料
2
MEMS原位集成传感器振动冲击试验研究
邵靖
段力
胡铭楷
丁桂甫
毛成龙
沈杰
静波
《振动．测试与诊断》
EI
CSCD
北大核心
2018
2
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职称材料
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