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薄膜材料弯曲测试方法的验证研究
1
作者
黄鑫龙
李根梓
+8 位作者
周龙飞
杨绍松
夏燕
董显山
来萍
夏长奉
宋辰阳
张晋熙
韩金哲
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第4期524-528,共5页
在国家标准《微机电系统(MEMS)技术薄膜材料的弯曲试验方法》制定阶段,为验证该标准中测试方法的准确性和实用性,设计并制备了4种尺寸的悬臂梁结构,并利用纳米力学测试系统记录其弯曲形变过程,获取了待测结构的形变-应力曲线。通过该标...
在国家标准《微机电系统(MEMS)技术薄膜材料的弯曲试验方法》制定阶段,为验证该标准中测试方法的准确性和实用性,设计并制备了4种尺寸的悬臂梁结构,并利用纳米力学测试系统记录其弯曲形变过程,获取了待测结构的形变-应力曲线。通过该标准可实现薄膜材料弯曲力学性能的有效表征。对弯曲试验的测量数据进行分析,实验结果表明,基于该测试方法10次的重复性达到0.32%,同类型的测试结构具有较强的规律性,靠近悬臂梁根部的测试点表现出更高的机械刚度,与理论预测完全一致。因此,该标准中所采用的弯曲测试方法可重复性好,可用于薄膜材料的弯曲力学性能测试。
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关键词
薄膜材料
微机电系统
悬臂梁
力学测试
弯曲试验
国家标准
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职称材料
题名
薄膜材料弯曲测试方法的验证研究
1
作者
黄鑫龙
李根梓
周龙飞
杨绍松
夏燕
董显山
来萍
夏长奉
宋辰阳
张晋熙
韩金哲
机构
工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家重点实验室
雁栖湖基础制造技术研究
院
(北京)有限公司
无锡华润上华科技有限公司
无锡芯感智半导体有限公司
苏州市质量和标准化院
出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024年第4期524-528,共5页
基金
国家重点研发计划(No.2022YFB3207105)
国家自然科学基金项目(No.U23A20638)
广东省重点领域研发计划(No.2022B0701180002)。
文摘
在国家标准《微机电系统(MEMS)技术薄膜材料的弯曲试验方法》制定阶段,为验证该标准中测试方法的准确性和实用性,设计并制备了4种尺寸的悬臂梁结构,并利用纳米力学测试系统记录其弯曲形变过程,获取了待测结构的形变-应力曲线。通过该标准可实现薄膜材料弯曲力学性能的有效表征。对弯曲试验的测量数据进行分析,实验结果表明,基于该测试方法10次的重复性达到0.32%,同类型的测试结构具有较强的规律性,靠近悬臂梁根部的测试点表现出更高的机械刚度,与理论预测完全一致。因此,该标准中所采用的弯曲测试方法可重复性好,可用于薄膜材料的弯曲力学性能测试。
关键词
薄膜材料
微机电系统
悬臂梁
力学测试
弯曲试验
国家标准
Keywords
thin-film materials
MEMS
cantilever beam
mechanical tests
bend testing
national standard
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
薄膜材料弯曲测试方法的验证研究
黄鑫龙
李根梓
周龙飞
杨绍松
夏燕
董显山
来萍
夏长奉
宋辰阳
张晋熙
韩金哲
《压电与声光》
CAS
北大核心
2024
0
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