检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

轴向二极场MWECR－CVD系统等离子体特性的实验研究被引量：7: 1; 作者叶超宁兆元甘肇强《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1995年第4期43-48,共6页; 本实验设计了永磁非对称轴向二极场ＭＷＥＣＲ－ＣＶＤ系统，并对系统的等离子体特性进行了研究，获得了等离子体空间分布的图像以及气压对等离子体参数的影响。; 关键词轴向二极场 ECD 等离子体空间分布 CVD; 在线阅读下载PDF 职称材料

反应RF磁控溅射法制备氧化铝薄膜及其介电损耗被引量：8: 2; 作者赵登涛朱炎狄国庆《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第4期300-303,共4页; 在氧气和氩气的混合气氛中 ,利用反应射频磁控溅射铝靶制备了非晶氧化铝薄膜 ,其直流介电强度为 3～ 4MV/cm。当固定氩气流量 (压力 ) ,改变氧分压时 ,薄膜沉积速率先减小 ,再增大 ,然后又减小。适当的低工作气压和溅射功率下 ,薄膜的... 展开更多; 关键词反应射频磁控溅射介电损耗氧化铝薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

反应溅射制备非晶Al_2O_3薄膜的介电特性被引量：7: 3; 作者赵登涛狄国庆朱炎《材料科学与工程》 CSCD 2000年第3期80-83,共4页; 在氧气、氩气的混合气氛中 ,利用反应射频磁控溅射制备了厚度在 1 0 0到 1 0纳米的非晶氧化铝薄膜。通过 Al-Al2 O3 -Al电容器研究了此非晶薄膜的介电性质。; 关键词反应射频磁控溅射介电性质非晶氧化铝薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

Pb_(1-x) La_xTiO_3薄膜的制备及特性研究被引量：1: 4; 作者郑分刚朱卫东 +2 位作者沈明荣甘肇强葛水兵《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期124-125,131,共3页; 用溶胶－凝胶法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｔＯ２／Ｓｉ（１００）基底上制备Ｐｂ１－ｘＬａｘＴｉＯ３（ＰＬＴ，ｘ≤０．２）薄膜，研究薄膜的结构及其介电、电性质铁电性能。在６００℃ 下退火１ｈ的ＰＬＴ薄膜表现出单一的钙钛矿结构，（１... 展开更多; 关键词溶胶-凝胶 PLT薄膜制备铁电薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

Pb_(1-x)La_xTiO_3薄膜的制备及介电特性研究: 5; 作者朱卫东郑分刚 +2 位作者沈明荣甘肇强葛水兵《材料科学与工程》 CSCD 2000年第3期84-86,共3页; 用溶胶—凝胶法在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si(1 0 0 )基底上制备 Pb1-x L ax Ti O3 (PLT,x<0 .2 )薄膜 ,研究薄膜的结构及其介电、铁电性能。在 60 0℃下退火 1小时的 PL T薄膜表现出单一的钙钛矿结构 ,(1 0 0 )择优取向明显。在室温下 PL... 展开更多; 关键词溶胶-凝胶 PLT薄膜铁电薄膜介电特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

微波ECR等离子体辅助反应蒸发沉积ITO膜被引量：9: 6; 作者程珊华宁兆元 +3 位作者薛青金宗明高伟建李育峰《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第5期405-408,共4页; 发展了一种新型的微波电子回旋共振等离子体（ＥＣＲ）辅助反应蒸发沉积薄膜的方法，并且使用它成功地在低气压（１０￣（－２）Ｐａ）、低温基片（３０～１００℃）上，不作后处理，直接制备出了附着力强，透光率高于８５％，方阻低于... 展开更多; 关键词 ITO膜微波 ECR等离子体真空蒸发; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名轴向二极场MWECR－CVD系统等离子体特性的实验研究被引量：7: 1; 作者叶超宁兆元甘肇强; 机构苏州大学物理系薄膜材料实验室; 出处《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 1995年第4期43-48,共6页; 文摘本实验设计了永磁非对称轴向二极场ＭＷＥＣＲ－ＣＶＤ系统，并对系统的等离子体特性进行了研究，获得了等离子体空间分布的图像以及气压对等离子体参数的影响。; 关键词轴向二极场 ECD 等离子体空间分布 CVD; Keywords Permanent magnet axial two pole field ECR plasma Spatial profile Pressure effect.; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名反应RF磁控溅射法制备氧化铝薄膜及其介电损耗被引量：8: 2; 作者赵登涛朱炎狄国庆; 机构苏州大学物理系薄膜材料实验室; 出处《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第4期300-303,共4页; 文摘在氧气和氩气的混合气氛中 ,利用反应射频磁控溅射铝靶制备了非晶氧化铝薄膜 ,其直流介电强度为 3～ 4MV/cm。当固定氩气流量 (压力 ) ,改变氧分压时 ,薄膜沉积速率先减小 ,再增大 ,然后又减小。适当的低工作气压和溅射功率下 ,薄膜的介电损耗可以达到 0 4% ,小于已报道的关于非晶氧化铝薄膜的损耗。从 1 0 0Hz到 5MHz。; 关键词反应射频磁控溅射介电损耗氧化铝薄膜; Keywords Reactive RF magnetron sputtering,Deposition rate,Dielectric loss,Frequency; 分类号 O614.31 [理学—无机化学] O484.42 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名反应溅射制备非晶Al_2O_3薄膜的介电特性被引量：7: 3; 作者赵登涛狄国庆朱炎; 机构苏州大学物理系薄膜材料实验室; 出处《材料科学与工程》 CSCD 2000年第3期80-83,共4页; 文摘在氧气、氩气的混合气氛中 ,利用反应射频磁控溅射制备了厚度在 1 0 0到 1 0纳米的非晶氧化铝薄膜。通过 Al-Al2 O3 -Al电容器研究了此非晶薄膜的介电性质。; 关键词反应射频磁控溅射介电性质非晶氧化铝薄膜; Keywords Reactive RF magnetron sputtering dielectric characteristics amorphous alumina film.; 分类号 TB43 [一般工业技术] O484.42 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Pb_(1-x) La_xTiO_3薄膜的制备及特性研究被引量：1: 4; 作者郑分刚朱卫东沈明荣甘肇强葛水兵; 机构苏州大学物理系薄膜材料实验室; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期124-125,131,共3页; 文摘用溶胶－凝胶法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｔＯ２／Ｓｉ（１００）基底上制备Ｐｂ１－ｘＬａｘＴｉＯ３（ＰＬＴ，ｘ≤０．２）薄膜，研究薄膜的结构及其介电、电性质铁电性能。在６００℃ 下退火１ｈ的ＰＬＴ薄膜表现出单一的钙钛矿结构，（１００）择优取向明显。在室温下ＰＬＴ薄膜有典型的电滞回线。在ｘ≤０．２（摩尔比）的范围内，ＰＬＴ薄膜的矫顽场、剩余极化强度和随着Ｌａ的增加而降低，相对介电常数则随着Ｌａ的增加而增加。; 关键词溶胶-凝胶 PLT薄膜制备铁电薄膜; Keywords Dielectric properties of solids Doping (additives) Ferroelectricity Lanthanum Sol gels Thin films; 分类号 O484 [理学—固体物理] TN304.9 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Pb_(1-x)La_xTiO_3薄膜的制备及介电特性研究: 5; 作者朱卫东郑分刚沈明荣甘肇强葛水兵; 机构苏州大学物理系薄膜材料实验室; 出处《材料科学与工程》 CSCD 2000年第3期84-86,共3页; 文摘用溶胶—凝胶法在 Pt/ Ti/ Si O2 / Si(1 0 0 )基底上制备 Pb1-x L ax Ti O3 (PLT,x<0 .2 )薄膜 ,研究薄膜的结构及其介电、铁电性能。在 60 0℃下退火 1小时的 PL T薄膜表现出单一的钙钛矿结构 ,(1 0 0 )择优取向明显。在室温下 PLT薄膜有典型的电滞回线。在 x<0 .2 (摩尔比 )的范围内 ,PLT薄膜相对介电常数则随着 La的增加而增加。; 关键词溶胶-凝胶 PLT薄膜铁电薄膜介电特性; Keywords Sol\|gel PLT thin film; 分类号 TM22 [一般工业技术—材料科学与工程] TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微波ECR等离子体辅助反应蒸发沉积ITO膜被引量：9: 6; 作者程珊华宁兆元薛青金宗明高伟建李育峰; 机构苏州大学物理系薄膜材料实验室; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第5期405-408,共4页; 基金江苏省科委教委自然科学基金; 文摘发展了一种新型的微波电子回旋共振等离子体（ＥＣＲ）辅助反应蒸发沉积薄膜的方法，并且使用它成功地在低气压（１０￣（－２）Ｐａ）、低温基片（３０～１００℃）上，不作后处理，直接制备出了附着力强，透光率高于８５％，方阻低于１００Ω／□的ＩＴＯ膜。; 关键词 ITO膜微波 ECR等离子体真空蒸发; Keywords ITO Film,microwave ECR Plasma,Vacuum Deposition; 分类号 TN304.205 [电子电信—物理电子学] TN385 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	轴向二极场MWECR－CVD系统等离子体特性的实验研究	叶超宁兆元甘肇强	《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心	1995	7	在线阅读下载PDF 职称材料
2	反应RF磁控溅射法制备氧化铝薄膜及其介电损耗	赵登涛朱炎狄国庆	《真空科学与技术》 CSCD 北大核心	2000	8	在线阅读下载PDF 职称材料
3	反应溅射制备非晶Al_2O_3薄膜的介电特性	赵登涛狄国庆朱炎	《材料科学与工程》 CSCD	2000	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	Pb_(1-x) La_xTiO_3薄膜的制备及特性研究	郑分刚朱卫东沈明荣甘肇强葛水兵	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2001	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	Pb_(1-x)La_xTiO_3薄膜的制备及介电特性研究	朱卫东郑分刚沈明荣甘肇强葛水兵	《材料科学与工程》 CSCD	2000	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	微波ECR等离子体辅助反应蒸发沉积ITO膜	程珊华宁兆元薛青金宗明高伟建李育峰	《功能材料》 EI CAS CSCD	1995	9	在线阅读下载PDF 职称材料