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高K栅介质材料的研究现状与前景 被引量:1
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作者 余涛 吴雪梅 +1 位作者 诸葛兰剑 葛水兵 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第21期25-29,共5页
论述了45~32nm技术节点下高K材料取代SiO2的必要性和基本要求,综述了高K栅介质中极具代表性的Hf基材料。研究表明,向HfO2中分别掺杂Al、Si、Ta、N等形成的复合Hf基高K栅介质材料具备较HfO2更加优异的物理结构、晶化温度、热力学稳定性... 论述了45~32nm技术节点下高K材料取代SiO2的必要性和基本要求,综述了高K栅介质中极具代表性的Hf基材料。研究表明,向HfO2中分别掺杂Al、Si、Ta、N等形成的复合Hf基高K栅介质材料具备较HfO2更加优异的物理结构、晶化温度、热力学稳定性以及电学特性,但与此同时也存在如何优化掺杂量、沟道载流子迁移率下降以及中间层引起的界面退化等难题。针对这些挑战,探讨了新型"堆垛结构"和引起载流子迁移率下降的物理机制,展望了高K材料在未来先进COMS器件中的应用。 展开更多
关键词 高K栅介质 HFO2 Hf基高K栅介质材料 MOSFET器件
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高密度螺旋波等离子体源的应用进展 被引量:7
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作者 柏洋 赵岩 +3 位作者 金成刚 余涛 吴雪梅 诸葛兰剑 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第11期739-743,共5页
首先介绍了螺旋波的定义、螺旋波等离子体源产生等离子体所需条件的工作范围以及螺旋波等离子体源主要的一些应用。按照所加磁场范围的不同(分为在磁感应强度为100~1 600Gs和在强磁场中两部分),分别进一步讨论了国内外各研究小组研制... 首先介绍了螺旋波的定义、螺旋波等离子体源产生等离子体所需条件的工作范围以及螺旋波等离子体源主要的一些应用。按照所加磁场范围的不同(分为在磁感应强度为100~1 600Gs和在强磁场中两部分),分别进一步讨论了国内外各研究小组研制的等离子体源的运行参数及技术特点。随后介绍了螺旋波等离子体源在刻蚀、薄膜沉积和火箭推进三个方面的应用进展。其中重点介绍了螺旋波等离子体火箭推进。最后简单展望了螺旋波等离子体源的应用前景,并指出其发展中尚待解决的一些问题。 展开更多
关键词 螺旋波 等离子体源 磁场 刻蚀 薄膜沉积 火箭推进
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激光诱导荧光在低温等离子体诊断中的应用 被引量:6
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作者 赵岩 柏洋 +2 位作者 金成刚 吴雪梅 诸葛兰剑 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期365-371,共7页
激光诱导荧光技术(LIF)应用到等离子体中已经有超过20年的历史,在等离子体处理中的应用也已经持续了十多年。激光诱导荧光系统可以用于刻蚀、溅射以及薄膜沉积等离子体源的诊断研究。离子密度和速度分布及对流、传播参数等,都可以用LIF... 激光诱导荧光技术(LIF)应用到等离子体中已经有超过20年的历史,在等离子体处理中的应用也已经持续了十多年。激光诱导荧光系统可以用于刻蚀、溅射以及薄膜沉积等离子体源的诊断研究。离子密度和速度分布及对流、传播参数等,都可以用LIF直接测量或间接计算得到。LIF可以得到时间分辨和空间分辨的离子分布方程,可用于等离子体热力学和等离子体迁移的研究。 展开更多
关键词 激光诱导荧光 等离子体诊断 半导体激光器
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一种柔性染料敏化太阳能电池的初步研究
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作者 陈世怡 黄孜诚 +5 位作者 李旭 颜佳华 林健敏 乔逸舟 何剑 李建康 《红外》 CAS 2011年第5期38-41,共4页
染料敏化太阳能电池(DSSC)与商用硅电池相比,由于具有转化效率较高、制作成本低等一系列优点,近年来已受到人们的广泛关注。简要介绍了DSSC太阳能电池的结构和基本原理,重点分析了DSSC太阳能电池的关键组成和影响光电转化效率的因素。... 染料敏化太阳能电池(DSSC)与商用硅电池相比,由于具有转化效率较高、制作成本低等一系列优点,近年来已受到人们的广泛关注。简要介绍了DSSC太阳能电池的结构和基本原理,重点分析了DSSC太阳能电池的关键组成和影响光电转化效率的因素。采用胶带涂覆法在柔性ITO衬底上制备了多孔纳米TiO_2薄膜,通过给其配置相应的染料和电解质组装成了柔性DSSC太阳能电池。经简单测试,该太阳能电池的光电转化性能为:开路电压>100 mV,短路电流>1.2 mA。 展开更多
关键词 太阳能电池 染料敏化 TIO_2薄膜
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双环状电极大气压等离子体射流的时间分辨诊断
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作者 张潇漫 吴雪梅 《力学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期2928-2937,共10页
大气压等离子体射流在众多领域中发挥着至关重要的作用,其中,拥有双环状电极结构的射流装置表现十分突出,此类装置具有结构简单、放电稳定的优势,并且产生的射流长度较长、温度较低.本工作利用ICCD相机采集技术,对高频高压交流电源驱动... 大气压等离子体射流在众多领域中发挥着至关重要的作用,其中,拥有双环状电极结构的射流装置表现十分突出,此类装置具有结构简单、放电稳定的优势,并且产生的射流长度较长、温度较低.本工作利用ICCD相机采集技术,对高频高压交流电源驱动的双环状电极等离子体射流进行了纳秒级时间分辨诊断.研究发现,在一个完整的放电周期内,存在两个明显的放电阶段,分别位于外加电压的正、负半周期的峰值附近,并且在正半周期的放电阶段中,亮度、射流长度、放电发展速度均明显强于负半周期,值得注意的是,仅在负半周期的放电阶段中,才能观察到等离子体离开管口自主向前传播的现象.本工作对于了解等离子体动力学过程,揭示等离子体的行为规律及优化等离子体设备等诸多方面有积极地推动作用. 展开更多
关键词 大气压等离子体 等离子体射流 时间分辨诊断 等离子体放电 等离子体演化
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