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题名高k材料Ta2O5结构与电学性质的研究
被引量：1
- 1
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作者
陈息林
余涛
吴雪梅
董尧君
诸葛兰剑
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机构
苏州大学分析测试中心
苏州大学物理系
苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第7期1335-1338,1341,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(10975106)
中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室开放课题资金的资助
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文摘
利用双离子束沉积设备在p-Si(100)衬底上制备了Ta2O5基MOS电容,研究了不同辅源能量0、100、200、300eV下薄膜生长机制、内部结构以及电学性质的差异。实验结果显示,在辅源能量200eV下制备的Ta2O5薄膜具有最小的表面粗糙度和优异的界面特性。由C-V/I-V特征曲线表明,辅源能量200eV下制备的Ta2O5基MOS电容具有最小的平带电压偏移量、氧化层电荷密度以及漏电流。研究表明合适的辅源能量可有效改善薄膜生长机制,使薄膜由类岛状沉积转化为层状生长,从而提高晶粒均匀性、薄膜平整度以及致密性,使薄膜具有较好的电学性质。
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关键词
高K栅介质
TA2O5
MOSFET器件
微结构
电学性质
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Keywords
high-k gate dielectric
Ta2O5
MOSFET device
microstructure
electrical properties
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分类号
TN304.2
[电子电信—物理电子学]
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题名高K栅介质材料的研究现状与前景
被引量：1
- 2
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作者
余涛
吴雪梅
诸葛兰剑
葛水兵
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机构
苏州大学物理系
苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室
中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
苏州大学分析测试中心
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出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第21期25-29,共5页
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基金
国家自然科学基金(10975106)
信息功能材料国家重点实验室开放课题资助
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文摘
论述了45～32nm技术节点下高K材料取代SiO2的必要性和基本要求,综述了高K栅介质中极具代表性的Hf基材料。研究表明,向HfO2中分别掺杂Al、Si、Ta、N等形成的复合Hf基高K栅介质材料具备较HfO2更加优异的物理结构、晶化温度、热力学稳定性以及电学特性,但与此同时也存在如何优化掺杂量、沟道载流子迁移率下降以及中间层引起的界面退化等难题。针对这些挑战,探讨了新型"堆垛结构"和引起载流子迁移率下降的物理机制,展望了高K材料在未来先进COMS器件中的应用。
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关键词
高K栅介质
HFO2
Hf基高K栅介质材料
MOSFET器件
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Keywords
highK gate dielectrics, HfO2, Hf based high-K gate dielectrics, MOSFET device
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分类号
TN386
[电子电信—物理电子学]
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题名锂硫电池的研究现状与展望
被引量：10
- 3
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作者
皮华滨
王传新
汪建华
吴雪梅
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机构
武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室
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出处
《电池》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第2期113-115,共3页
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基金
湖北省自然科学基金(2007ABA006)
湖北省教育厅重点项目(2007)
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文摘
从电解质体系研制、锂负极改性、硫系正极材料制备等3个方面,介绍了近年来锂硫电池的研究现状,并对发展前景进行了展望。
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关键词
锂硫电池
电解质
锂负极
正极材料
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Keywords
lithium sulfur battery
electrolyte
lithium anode
cathode material
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分类号
TM912.9
[电气工程—电力电子与电力传动]
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题名激光诱导荧光在低温等离子体诊断中的应用
被引量：6
- 4
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作者
赵岩
柏洋
金成刚
吴雪梅
诸葛兰剑
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机构
苏州大学物理系
苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室
苏州大学分析测试中心
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期365-371,共7页
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文摘
激光诱导荧光技术(LIF)应用到等离子体中已经有超过20年的历史,在等离子体处理中的应用也已经持续了十多年。激光诱导荧光系统可以用于刻蚀、溅射以及薄膜沉积等离子体源的诊断研究。离子密度和速度分布及对流、传播参数等,都可以用LIF直接测量或间接计算得到。LIF可以得到时间分辨和空间分辨的离子分布方程,可用于等离子体热力学和等离子体迁移的研究。
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关键词
激光诱导荧光
等离子体诊断
半导体激光器
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Keywords
laser-induced fluorescence（LIF）
plasma diagnostics
diode laser
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分类号
TL653
[核科学技术—核技术及应用]
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题名双环状电极大气压等离子体射流的时间分辨诊断
被引量：1
- 5
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作者
张潇漫
吴雪梅
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机构
苏州大学物理科学与技术学院
苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室
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出处
《力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第12期2928-2937,共10页
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基金
国家自然科学基金项目(11975163,12175160)
江苏省高等学校优势学科发展项目(PAPD)资助。
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文摘
大气压等离子体射流在众多领域中发挥着至关重要的作用,其中,拥有双环状电极结构的射流装置表现十分突出,此类装置具有结构简单、放电稳定的优势,并且产生的射流长度较长、温度较低.本工作利用ICCD相机采集技术,对高频高压交流电源驱动的双环状电极等离子体射流进行了纳秒级时间分辨诊断.研究发现,在一个完整的放电周期内,存在两个明显的放电阶段,分别位于外加电压的正、负半周期的峰值附近,并且在正半周期的放电阶段中,亮度、射流长度、放电发展速度均明显强于负半周期,值得注意的是,仅在负半周期的放电阶段中,才能观察到等离子体离开管口自主向前传播的现象.本工作对于了解等离子体动力学过程,揭示等离子体的行为规律及优化等离子体设备等诸多方面有积极地推动作用.
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关键词
大气压等离子体
等离子体射流
时间分辨诊断
等离子体放电
等离子体演化
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Keywords
atmospheric pressure plasma
plasma jet
time resolved diagnostic
plasma discharge
plasma evolution
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分类号
O539
[理学—等离子体物理]
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