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硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究
被引量：
5
1
作者
孙玉虹
曹嘉峰
+4 位作者
王成
陈晓勇
孔龄婕
丑修建
孙立宁
《红外技术》
CSCD
北大核心
2015年第4期347-350,共4页
硅基 MEMS 红外光源作为红外应用系统的核心部件，其光学辐射特性直接影响着整个红外装置的性能，然而，国内外对于硅基 MEMS 红外光源的辐射特性尤其是辐射光谱特性未见详细报道，因此，为确定硅基MEMS红外光源的辐射光谱分布，对MEMS...
硅基 MEMS 红外光源作为红外应用系统的核心部件，其光学辐射特性直接影响着整个红外装置的性能，然而，国内外对于硅基 MEMS 红外光源的辐射特性尤其是辐射光谱特性未见详细报道，因此，为确定硅基MEMS红外光源的辐射光谱分布，对MEMS红外光源光谱特性进行准确测试是非常必要的。实验采用OL（Optronic Laboratories）系列光谱测量系统对MEMS红外光源进行光谱特性测试，相对辐射光谱测试结果显示该光源的红外光谱波段主要分布在3～5mm，中心波长在3.6mm处，其大气透过率接近90%，具有很好的大气透射度。
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关键词
MEMS红外光源
光谱测试
光栅衍射
光谱辐射
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职称材料
题名
硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究
被引量：
5
1
作者
孙玉虹
曹嘉峰
王成
陈晓勇
孔龄婕
丑修建
孙立宁
机构
中北
大学
仪器科学与动态测试教育部
重点
实验室
中北
大学
电子测试
技术
国防
科技
重点
实验室
苏州大学机电工程学院&江苏省先进机器人技术重点实验室&苏州纳米科技协同创新中心
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2015年第4期347-350,共4页
基金
国家自然科学基金项目
编号:51275492
+5 种基金
中国博士后科学基金特别资助项目
编号:2013T60557
中国博士后科学基金面上资助项目
编号:2012M521118
江苏省博士后科研资助计划项目
编号:1201038C
文摘
硅基 MEMS 红外光源作为红外应用系统的核心部件，其光学辐射特性直接影响着整个红外装置的性能，然而，国内外对于硅基 MEMS 红外光源的辐射特性尤其是辐射光谱特性未见详细报道，因此，为确定硅基MEMS红外光源的辐射光谱分布，对MEMS红外光源光谱特性进行准确测试是非常必要的。实验采用OL（Optronic Laboratories）系列光谱测量系统对MEMS红外光源进行光谱特性测试，相对辐射光谱测试结果显示该光源的红外光谱波段主要分布在3～5mm，中心波长在3.6mm处，其大气透过率接近90%，具有很好的大气透射度。
关键词
MEMS红外光源
光谱测试
光栅衍射
光谱辐射
Keywords
MEMS infrared source
Spectral test
Grating diffraction
Spectral radiance
分类号
TN212 [电子电信—物理电子学]
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出处
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被引量
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1
硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究
孙玉虹
曹嘉峰
王成
陈晓勇
孔龄婕
丑修建
孙立宁
《红外技术》
CSCD
北大核心
2015
5
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