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芯片级多轴集成微陀螺方案对比与发展趋势分析 被引量:3
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作者 魏雯强 鲁征浩 +3 位作者 陈方 申冲 石云波 曹慧亮 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第9期932-939,954,共9页
微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件,在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果,分析了三类芯片级多轴集成微机械陀螺集成方法:三单轴陀螺正交集成法、单片单结构三轴陀螺法及单片多结构陀... 微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件,在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果,分析了三类芯片级多轴集成微机械陀螺集成方法:三单轴陀螺正交集成法、单片单结构三轴陀螺法及单片多结构陀螺阵列法。其次,通过对当前方案的总结与分析,比较了各方案的优缺点,设计了一种频差小、抗冲击能力强的单片三轴轮环式陀螺结构。仿真实验表明该结构能承受20000 g冲击,轮结构频差为180.3 Hz,环结构频差为3 Hz。最后,分析了未来芯片级多轴集成微陀螺仪的改良方向。 展开更多
关键词 微机械陀螺仪 敏感结构 单结构三轴 正交集成 陀螺阵列
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基于PSO优化SVM的MEMS加速度计温度补偿方法研究 被引量:1
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作者 刘滔 徐大诚 赵鹤鸣 《现代电子技术》 北大核心 2018年第10期58-62,66,共6页
温度对MEMS加速度计性能的影响至关重要。结合扭摆式硅微加速度计的结构及温度特性,采用基于自适应权重的粒子群优化算法来优化支持向量机算法,创建MEMS加速度计温度补偿模型,并利用STM32F405RG64实现实时温度补偿系统。实验结果表明,... 温度对MEMS加速度计性能的影响至关重要。结合扭摆式硅微加速度计的结构及温度特性,采用基于自适应权重的粒子群优化算法来优化支持向量机算法,创建MEMS加速度计温度补偿模型,并利用STM32F405RG64实现实时温度补偿系统。实验结果表明,补偿后加速度计的标度因数温度系数、全温零偏极差、非线性度分别由补偿前的264 ppm/℃,71.98 mg,2.07%降低到105 ppm/℃,10.31 mg,0.25%,可见补偿后加速度计的性能得到比较明显的改进,能证明该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 MEMS加速度计 扭摆式硅微加速度计 粒子群优化算法 自适应权重 支持向量机 温度补偿
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微悬臂梁气敏材料表征系统中基线校正方法
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作者 费超 陆天海 +1 位作者 于海涛 徐大诚 《现代电子技术》 2021年第17期100-104,共5页
在微悬臂梁称重的气敏材料表征系统中,常存在输出频率曲线基线漂移的问题,会导致相关特征参数的计算出现较大偏差。针对此问题提出一种气敏材料表征系统中输出频率曲线基线校正方法,采用Douglas-Peucker算法实现频率曲线的压缩,结合曲... 在微悬臂梁称重的气敏材料表征系统中,常存在输出频率曲线基线漂移的问题,会导致相关特征参数的计算出现较大偏差。针对此问题提出一种气敏材料表征系统中输出频率曲线基线校正方法,采用Douglas-Peucker算法实现频率曲线的压缩,结合曲线特征及动态时间规整方法获取基线处理所需的特征点。为解决动态时间规整中曲线匹配次数过多、计算量较大的问题,提出选择匹配动态时间规整方法,准确获取各浓度特征点,通过分段线性拟合的方式计算基线,最终得出相应的标准频率曲线。实验结果表明,与传统手工标记特征点拉平基线的方式相比,误差在3%以内,降低了人工成本,有效提高了表征实验的效率,减小了人员因素带来的偶然误差,为进一步的特征参数计算提供了良好的预处理方法。 展开更多
关键词 基线校正 气敏材料表征 微悬臂梁 基线漂移 频率曲线压缩 特征点获取 基线计算
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基于参数激励的MEMS陀螺电馈通抑制方法 被引量:2
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作者 赵鹤鸣 郑奋 +2 位作者 程梦梦 徐大诚 郭述文 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第6期817-821,829,共6页
由于硅微陀螺仪材料和加工工艺以及电路上的非理想因素,驱动信号会对敏感检测端产生串扰。为抑制此种串扰,降低驱动激励幅度,采用了基于参数激励法的陀螺驱动模态激励系统。在锁相环控制中新增一个压控振荡器模块,用于输出稳幅的二倍谐... 由于硅微陀螺仪材料和加工工艺以及电路上的非理想因素,驱动信号会对敏感检测端产生串扰。为抑制此种串扰,降低驱动激励幅度,采用了基于参数激励法的陀螺驱动模态激励系统。在锁相环控制中新增一个压控振荡器模块,用于输出稳幅的二倍谐振频率激励信号,即参数激励信号。将此信号与驱动激励信号一同对驱动激励电极进行激励,达到了降低刚度系数来减小驱动对敏感电馈通干扰的目的。实验结果表明,参数激励法对陀螺仪进行激励,将陀螺仪敏感输出信号幅度从141.25 m V降至38.75 m V,Allan方差零偏不稳定性从6.864 (°)/h降至4.316 (°)/h。表明了参数激励法对陀螺仪性能具有一定的提升作用。 展开更多
关键词 硅微陀螺仪 参数激励法 刚度系数 电馈通干扰
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一种硅MEMS陀螺谐振频率与Q值的快速测量方法 被引量:5
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作者 卜峰 徐大诚 赵鹤鸣 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第1期133-140,共8页
为了解决平板电极硅微机电系统(MEMS)陀螺谐振频率和Q值的快速测定问题,提出一种基于阶跃激励余振分析的振动特性参数测量方法。首先,利用平板电容电极的吸合效应,提出一种直流阶跃激励方法,使陀螺振子产生较大初始位移的余振信号。然后... 为了解决平板电极硅微机电系统(MEMS)陀螺谐振频率和Q值的快速测定问题,提出一种基于阶跃激励余振分析的振动特性参数测量方法。首先,利用平板电容电极的吸合效应,提出一种直流阶跃激励方法,使陀螺振子产生较大初始位移的余振信号。然后,结合FFT和Morlet复小波变换对余振信号进行高分辨率频谱分析,获得谐振频率。接着,对余振信号进行Hilbert变换以提取包络线,通过最小二乘指数拟合获得阻尼系数,从而得到Q值。仿真测试表明,该方法能够精确地获得特性参数,相对误差达到了10-5量级。在角振动陀螺上的实验表明,该方法与扫频法获得的结果基本一致,且有效缩短了测试时间。 展开更多
关键词 硅MEMS陀螺 谐振频率 Q值 阶跃激励 Morlet复小波变换 HILBERT变换
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结合正交控制与相位检测的MEMS陀螺模态匹配方法 被引量:1
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作者 卜峰 彭友福 +1 位作者 徐大诚 赵鹤鸣 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第4期470-477,共8页
针对现有基于相位或正交幅度的模态匹配方法没有考虑正交位移过大的问题,提出一种结合正交控制与相位检测的模态自动匹配方法。首先,根据静态情况下陀螺敏感模态的正交力输入和正交位移输出的相位差信息,通过闭环控制调谐电压来实现模... 针对现有基于相位或正交幅度的模态匹配方法没有考虑正交位移过大的问题,提出一种结合正交控制与相位检测的模态自动匹配方法。首先,根据静态情况下陀螺敏感模态的正交力输入和正交位移输出的相位差信息,通过闭环控制调谐电压来实现模态匹配。同时,引入了正交控制环路,将正交位移控制在一个幅度较小且稳定的振动状态,从而提高匹配准确性,避免了高Q值陀螺在模态匹配时由于正交位移过大导致陀螺振乱的现象。最后,通过FPGA实现该控制系统,并进行了对比实验。实验结果表明,对于所采用的角振动陀螺,相比传统相位检测方法,该方法在确定调谐电压准确性方面提高了约60倍。 展开更多
关键词 MEMS陀螺 模态匹配 相位检测 正交控制
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晃动基座下正向-正向回溯初始对准方法 被引量:1
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作者 徐祥 徐大诚 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期965-971,共7页
针对传统方式需要对准时间长的问题,提出一种晃动基座下正向-正向回溯初始对准方法,实现了快速初始对准的目的。首先,给出了导航惯性系粗对准的基本原理,分析了导航惯性系粗对准在回溯过程中的作用。其次,对捷联惯导系统初始对准过程进... 针对传统方式需要对准时间长的问题,提出一种晃动基座下正向-正向回溯初始对准方法,实现了快速初始对准的目的。首先,给出了导航惯性系粗对准的基本原理,分析了导航惯性系粗对准在回溯过程中的作用。其次,对捷联惯导系统初始对准过程进行了深入的研究,利用导航惯性系建立精对准系统误差模型,将晃动基座时变姿态误差角估计问题转换为时不变姿态误差角估计问题,进而为正向-正向回溯对准奠定了理论基础。在此基础上,详细分析了正向-正向回溯对准的基本原理和设计方法。最后,通过设计仿真实验,验证了本文设计的对准方法可以在303 s内实现晃动基座上航向误差优于0. 1°的对准精度。试验结果表明,本文提出的方法具有计算效率高、对准时间短、对准精度高的优点。 展开更多
关键词 捷联惯性导航系统(SINS) 正向-正向回溯对准 导航惯性系误差模型 晃动基座对准
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