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双光栅尺在高速高精度位移测量中的应用
被引量：
6
1
作者
殷庆纵
刘杰
《机床与液压》
北大核心
2012年第17期107-111,共5页
由于光栅尺本身结构上的原因,采用单一光栅尺难以实现高速高精度的微纳米测量。设计一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量仪,通过可编程逻辑器件FPGA对粗、精光栅尺信号进行切换与合成,实现了高速高分辨率的位移测量。实验结果表明:在...
由于光栅尺本身结构上的原因,采用单一光栅尺难以实现高速高精度的微纳米测量。设计一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量仪,通过可编程逻辑器件FPGA对粗、精光栅尺信号进行切换与合成,实现了高速高分辨率的位移测量。实验结果表明:在光栅尺运动速度大于1.2 m/s时,采用此方法可达到10 nm分辨率。它在高速高精度和大量程的直线位移测量领域具有广泛的应用前景。
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关键词
双光栅尺
高速高精度位移测量
FPGA
切换与合成
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职称材料
题名
双光栅尺在高速高精度位移测量中的应用
被引量：
6
1
作者
殷庆纵
刘杰
机构
苏州
工业职业技术学院电子工程系
苏州印像镭射有限公司
出处
《机床与液压》
北大核心
2012年第17期107-111,共5页
文摘
由于光栅尺本身结构上的原因,采用单一光栅尺难以实现高速高精度的微纳米测量。设计一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量仪,通过可编程逻辑器件FPGA对粗、精光栅尺信号进行切换与合成,实现了高速高分辨率的位移测量。实验结果表明:在光栅尺运动速度大于1.2 m/s时,采用此方法可达到10 nm分辨率。它在高速高精度和大量程的直线位移测量领域具有广泛的应用前景。
关键词
双光栅尺
高速高精度位移测量
FPGA
切换与合成
Keywords
Dual grating scales
High speed and high precision displacement measurement
FPGA
Switching and merging
分类号
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
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作者
出处
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被引量
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1
双光栅尺在高速高精度位移测量中的应用
殷庆纵
刘杰
《机床与液压》
北大核心
2012
6
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