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题名MEMS微热板研究进展
被引量：5
- 1
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作者
沈伟强
杨俊超
马薇
张根伟
杨杰
曹树亚
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机构
国民核生化灾害防护国家重点实验室
苏州力牧微电子有限公司
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第7期6-10,共5页
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基金
国家重点研发计划资助项目(2018YFC0809300)。
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文摘
随着微纳加工技术的不断进步,传感器逐渐向微型化、低功耗、低成本发展。采用微机电系统(MEMS)工艺制备的微热板作为加热和支撑平台,为敏感材料提供稳定的加热温度。因此,微热板的热性能和机械性能是研制过程中重点关注的问题。本文从微热板的基本原理出发,讨论了微热板结构设计和电极几何形状的技术发展,并对微热板国内外研究现状和关键性能参数进行了总结评价。
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关键词
气体传感器
微机电系统
微热板
加热电极
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Keywords
gas sensor
MEMS
micro-hotplate
heating electrode
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于MEMS的微热板结构设计与性能测试研究
被引量：4
- 2
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作者
沈伟强
赵将
马薇
张根伟
杨杰
曹树亚
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机构
国民核生化灾害防护国家重点实验室
苏州力牧微电子有限公司
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2022年第4期19-24,共6页
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基金
国家重点研发计划项目(2018YFC0809300)。
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文摘
微热板作为气敏半导体传感器的关键组成部分,为敏感材料提供稳定的加热温度。为降低微热板功耗,提升热稳定性,设计了一种悬浮式结构微热板,通过仿真对微热板材料组成、膜层厚度等关键参数进行优化。基于MEMS工艺进行了流片,测试得到微热板的功耗为24 mW,热响应时间为9.6 ms,一致性、稳定性较好;通过拟合微热板的温阻特性,证明温度和电阻具有良好的线性关系。
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关键词
气体传感器
有限元仿真
MEMS
悬浮式微热板
温阻特性
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Keywords
gas sensors
finite element simulation
MEMS
suspended micro hot plate
temperature resistance characteristics
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分类号
TN303
[电子电信—物理电子学]
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题名基于MEMS的微热板结构仿真优化研究
被引量：4
- 3
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作者
沈伟强
杨俊超
马薇
张根伟
杨杰
曹树亚
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机构
国民核生化灾害防护国家重点实验室
苏州力牧微电子有限公司
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2021年第12期17-21,共5页
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基金
国家重点研发计划资助项目(2018YFC0809300)。
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文摘
金属氧化物半导体气敏传感器是气体传感器领域研究的热点内容,而微热板作为金属氧化物半导体气体传感器的重要组成部分之一,对微热板结构及稳态热特性的研究至关重要。为了研究不同结构参数对微热板性能的影响,为微热板的设计优化提供指导,基于微机电系统(MEMS)工艺技术,设计了一种悬浮式结构微热板,对微热板支撑层和隔离层的材料组成、膜层厚度等因素进行了仿真研究。根据仿真结果,分析上述因素对微热板性能的影响趋势,得出了最优的参数设计。
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关键词
气体传感器
有限元仿真
微机电系统
微热板
结构优化
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Keywords
gas sensors
finite element simulation
micro-electro-mechanical system(MEMS)
micro-hot plate
structure optimization
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP391.9
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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