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题名离轴非球面光学元件中频误差抑制及修形工艺技术
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作者
吴琳
魏铮
谢峰
刘明川
王晓丹
刘淞
施春燕
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机构
航天科工微电子系统研究院有限公司
四川至臻精密光学有限公司
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出处
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第9期289-300,共12页
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文摘
随着光学技术的飞速发展,对高精度非球面光学元件的需求日益迫切,光学系统对元件全频段面形误差精度要求日益严格,中频误差影响高能激光传输光束质量和斯特列尔比,因此中频误差的收敛精度成为光学元件加工的关键。计算机控制表面成型抛光技术、磁流变抛光技术虽能高效去除低频误差,但在加工过程中易引入中频误差,影响光学元件的表面质量。研究针对434 mm口径离轴非球面镜的中频抑制加工难题,创新性提出了一种基于机器人抛光旋转偏心的沥青盘进行中频误差抑制,最终实现434 mm口径离轴非球面镜低频面形RM S值从11.768 nm下降到8.804 nm,中频误差满足PSD=1.05ν^((−1.55))标准判据,在0.03~0.4 mm^(−1)PSD 1频段范围内中频面形误差从4.047 nm下降到1.881 nm。分析表明,偏心旋转公自转的磨盘可以增大与镜面的贴合度,提高抛光轨迹自由度,抑制基于传统单轴旋转带来的中频误差,满足高精度光学系统的使用要求。
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关键词
光学加工
中频面形误差抑制
偏心沥青盘
机器人抛光
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Keywords
optical fabrication
mid-spatial frequency figure error suppression
eccentric pitch lap
robotic polishing
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分类号
TH161
[机械工程—机械制造及自动化]
TQ171.6
[化学工程—玻璃工业]
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