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基于Root-MUSIC算法的激光扫频干涉测量方法研究
被引量:
1
1
作者
金陈凯
许新科
+3 位作者
刘易
何泽聪
宋云峰
何闻
《激光杂志》
CAS
北大核心
2024年第2期58-62,共5页
玻璃的厚度作为工业生产中的一项重要的指标,如何对其快速的测量成为了研究热点。提出采用激光扫频干涉测量方法,将采样的信号进行插值拟合,校正其拍频非线性,再通过频谱估计法获取距离信息。当测量厚度较小的玻璃时,FFT算法因受栅栏效...
玻璃的厚度作为工业生产中的一项重要的指标,如何对其快速的测量成为了研究热点。提出采用激光扫频干涉测量方法,将采样的信号进行插值拟合,校正其拍频非线性,再通过频谱估计法获取距离信息。当测量厚度较小的玻璃时,FFT算法因受栅栏效应和频谱干涉的影响,导致难以在频谱图中将玻璃前后表面的频率区分出来。为解决该问题,采用Root-MUSIC算法处理信号,实验结果表明在FFT算法分辨临近目标频率失效的情况下,Root-MUSIC算法可以进行有效区分,运算效率也远高于MUSIC算法,且精度可达50微米左右,为解决玻璃厚度测量问题提供了思路。
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关键词
激光扫频干涉测距
厚度测量
ROOT-MUSIC算法
测距
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职称材料
题名
基于Root-MUSIC算法的激光扫频干涉测量方法研究
被引量:
1
1
作者
金陈凯
许新科
刘易
何泽聪
宋云峰
何闻
机构
中国计量大学计量测试工程学院
舜宇集团有限公司
浙江大学
出处
《激光杂志》
CAS
北大核心
2024年第2期58-62,共5页
基金
浙江省自然科学基金(No.LY19F050008)。
文摘
玻璃的厚度作为工业生产中的一项重要的指标,如何对其快速的测量成为了研究热点。提出采用激光扫频干涉测量方法,将采样的信号进行插值拟合,校正其拍频非线性,再通过频谱估计法获取距离信息。当测量厚度较小的玻璃时,FFT算法因受栅栏效应和频谱干涉的影响,导致难以在频谱图中将玻璃前后表面的频率区分出来。为解决该问题,采用Root-MUSIC算法处理信号,实验结果表明在FFT算法分辨临近目标频率失效的情况下,Root-MUSIC算法可以进行有效区分,运算效率也远高于MUSIC算法,且精度可达50微米左右,为解决玻璃厚度测量问题提供了思路。
关键词
激光扫频干涉测距
厚度测量
ROOT-MUSIC算法
测距
Keywords
laser swept-frequency interference ranging
thickness measurement
Root-MUSIC algorithm
ranging
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于Root-MUSIC算法的激光扫频干涉测量方法研究
金陈凯
许新科
刘易
何泽聪
宋云峰
何闻
《激光杂志》
CAS
北大核心
2024
1
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参考文献
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