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PET表面的碳氟等离子体处理改性层组分的变角XPS分析 被引量:3
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作者 张亮 毛坤元 +1 位作者 张新生 王建祺 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第10期1605-1608,共4页
采用CH4/CF4 混合气体等离子体来处理PET表面. 利用变角XPS研究改性后PET的表面改性层的组分随取样深度的变化. 结果表明, 碳氟混合气体等离子体在PET表面形成交联网络结构的改性层, 改性层的化学组成随深度的... 采用CH4/CF4 混合气体等离子体来处理PET表面. 利用变角XPS研究改性后PET的表面改性层的组分随取样深度的变化. 结果表明, 碳氟混合气体等离子体在PET表面形成交联网络结构的改性层, 改性层的化学组成随深度的变化不大; 纯CF4 等离子体的改性层的化学组成不均匀, 含氟基团主要分布在外面. 不同混合气体等离子体在PET表面形成改性层的结构决定于CH4 展开更多
关键词 PET 变角XPS 表面改性 碳氟等离子体 改性
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