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飞秒激光微通道加工研究进展
被引量：
7
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作者
蔡海龙
闫雪亮
+3 位作者
王素梅
夏博
刘鹏军
姜澜
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期991-1003,共13页
综述了基于飞秒激光微通道制造的研究现状,包括加工机理、工艺技术方面的研究进展,重点介绍了飞秒激光改性辅助化学刻蚀和液体辅助飞秒激光烧蚀两大主要制造方法上的研究成果,概述了目前面临的主要问题与挑战,展望了未来的发展趋势.
关键词
微通道
飞秒激光
改性
在线阅读
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职称材料
题名
飞秒激光微通道加工研究进展
被引量：
7
1
作者
蔡海龙
闫雪亮
王素梅
夏博
刘鹏军
姜澜
机构
美国密苏里科技大学机械与航天工程系
北京理工
大学
先进加工技术国防重点学科实验室
出处
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期991-1003,共13页
基金
国家"九七三"计划项目(2011CB013000)
国家自然科学基金资助项目(90923039
51025521)
文摘
综述了基于飞秒激光微通道制造的研究现状,包括加工机理、工艺技术方面的研究进展,重点介绍了飞秒激光改性辅助化学刻蚀和液体辅助飞秒激光烧蚀两大主要制造方法上的研究成果,概述了目前面临的主要问题与挑战,展望了未来的发展趋势.
关键词
微通道
飞秒激光
改性
Keywords
mieroehannel
femtoseeond laser
modification
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
飞秒激光微通道加工研究进展
蔡海龙
闫雪亮
王素梅
夏博
刘鹏军
姜澜
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
7
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