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电热驱动Bimorph微执行器对流系数估算方法研究 被引量:2
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作者 刘骏文 徐大诚 +2 位作者 陈巧 丁金玲 谢会开 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第8期1120-1124,共5页
随着电热驱动MEMS器件尺寸进一步缩小,传统热对流系数的取值已无法满足微系统分析建模需求。针对电热型Bimorph结构的MEMS微镜驱动器,通过分析其温度分布,并以其平均温度为参考指标建立简单热阻和对流热阻分段模型,推算出微尺度下精确... 随着电热驱动MEMS器件尺寸进一步缩小,传统热对流系数的取值已无法满足微系统分析建模需求。针对电热型Bimorph结构的MEMS微镜驱动器,通过分析其温度分布,并以其平均温度为参考指标建立简单热阻和对流热阻分段模型,推算出微尺度下精确的对流系数,提高了微执行器设计模型的驱动性能。经理论计算和实验测试验证,对流系数值的误差在8.1%以内,满足实际设计需求,验证了该方法的合理性和可行性。 展开更多
关键词 对流系数 电热Bimorph结构 微执行器 热阻模型
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具有干扰的马尔科夫跳跃线性系统几乎处处稳定性充分条件 被引量:3
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作者 高丽君 武玉强 方玉光 《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期543-546,共4页
跳跃线性系统是一类具有随机跳变参数的线性系统,其跳变参数根据给定的有限状态马尔科夫链演化,这样的模型可以用来描述出现故障或者在结构上突然发生变化的系统.本文采用随机李雅谱诺夫第二方法研究了具有干扰的离散时间跳跃线性系统... 跳跃线性系统是一类具有随机跳变参数的线性系统,其跳变参数根据给定的有限状态马尔科夫链演化,这样的模型可以用来描述出现故障或者在结构上突然发生变化的系统.本文采用随机李雅谱诺夫第二方法研究了具有干扰的离散时间跳跃线性系统的几乎处处稳定性,得到了一类充分条件.并由此条件进一步得出了更易于检测其几乎处处稳定性的充分条件. 展开更多
关键词 跳跃线性系统 有限状态马尔科夫链 几乎处处稳定性 矩稳定性
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一种电热式MEMS微镜多自由度模型解析方法 被引量:4
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作者 章皓 徐大诚 +1 位作者 陈巧 谢会开 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第10期17-20,24,共5页
结合微镜驱动器结构,通过引入热导和弹簧刚体模型分析了多驱动器间热传导和相互作用力导致的形变原因,并建立了多自由度微镜的数学模型。仿真与实验数据对比说明:建立的模型与实验结果具有较好的一致性,能够预测4个驱动器的输入响应特性。
关键词 MEMS微镜 数学建模 驱动器
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