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电子束诱导沉积工艺的优化与简化
1
作者
高尚
黄梦诗
+1 位作者
肖飞
孙千
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第4期340-348,共9页
电子束诱导沉积(EBID)因沉积速率慢、沉积物纯度低等缺点,常被限制在离子束诱导沉积(IBID)工艺前的保护层制备等辅助性工艺中。文章针对工艺的效率提升与流程简化展开系统研究,重点分析了关键工艺参数对沉积速率和效果的影响,并提出了...
电子束诱导沉积(EBID)因沉积速率慢、沉积物纯度低等缺点,常被限制在离子束诱导沉积(IBID)工艺前的保护层制备等辅助性工艺中。文章针对工艺的效率提升与流程简化展开系统研究,重点分析了关键工艺参数对沉积速率和效果的影响,并提出了一种基于扫描电镜缩小框功能的简化工艺。研究表明,低加速电压条件下,沉积速率显著提高;束流与沉积厚度呈线性正相关;短驻留时间有助于获得更高的沉积速率。通过优化参数,研究实现EBID沉积效率达到0.03μm^(3)/nC,显著优于既往文献报道的效率范围。简化工艺无需依赖复杂的专用程序,操作便捷。特别是在对精度要求不高但重视效率的场景中,优化后的EBID工艺可在某些应用中完全替代IBID工艺。因此,通过优化聚焦离子束-扫描电镜中电子束诱导沉积的参数,提高沉积速率并简化操作流程,具有重要应用价值,为沉积保护层提供了全新的解决思路与替代方案。
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关键词
电子束诱导沉积
沉积速率
工艺参数优化
聚焦离子束-扫描电镜
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职称材料
扫描电镜中X射线能谱仪的技术进展
被引量:
13
2
作者
高尚
黄梦诗
+1 位作者
杨振英
马清
《分析科学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期115-121,共7页
能谱仪作为扫描电镜进行成分分析的重要附件,已经得到非常广泛的应用。随着半导体技术和应用领域的拓展,近年来在能谱探测器上取得的技术进展令人鼓舞。这些进展包括硅漂移探测器的普及,大面积探测器、平插设置以及对窗口材料的改进等...
能谱仪作为扫描电镜进行成分分析的重要附件,已经得到非常广泛的应用。随着半导体技术和应用领域的拓展,近年来在能谱探测器上取得的技术进展令人鼓舞。这些进展包括硅漂移探测器的普及,大面积探测器、平插设置以及对窗口材料的改进等。本文介绍了能谱探测器的基本结构,总结了硅漂移探测器的技术进展和性能优势,以及低加速电压能谱探测技术的进展和算法在能谱技术中的应用。
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关键词
X射线能谱仪
硅漂移探测器
锂漂移硅探测器
低加速电压
多元成分分析
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职称材料
LED灯珠环氧树脂不同测试方法下玻璃化转变温度比较简析
被引量:
1
3
作者
黄险
王红
+1 位作者
彭璟
邓伟
《塑料工业》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第S01期116-118,共3页
玻璃化转变温度是其重要的物理性能之一,其可以用于工业上产品性能的比较方法之一。为了了解环氧树脂不同测试方法下的玻璃化转变温度差异,本文采取差示扫描量热法(DSC)和热机械分析法(TMA)测试相同灯珠环氧树脂材料的玻璃化转变温度并...
玻璃化转变温度是其重要的物理性能之一,其可以用于工业上产品性能的比较方法之一。为了了解环氧树脂不同测试方法下的玻璃化转变温度差异,本文采取差示扫描量热法(DSC)和热机械分析法(TMA)测试相同灯珠环氧树脂材料的玻璃化转变温度并比较之间的差异。
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关键词
玻璃化转变温度
热膨胀系数
热机械分析仪
差示扫描量热仪
应力松弛
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职称材料
重型汽车空调散热器烧毁原因分析与验证
被引量:
1
4
作者
吴冰冰
邓番林
+1 位作者
曾志卫
王君兆
《消防科学与技术》
CAS
北大核心
2021年第5期775-777,共3页
通过对重型汽车空调散热器风扇电机烧毁事故应用宏观、微观、金相等测试方法进行原因分析,找出其烧毁的根本原因。利用模拟验证分析烧毁原因,并复现烧毁过程。结果表明,引起电机铜线瞬时一次熔断的根本原因为铜线表面存在裂纹,电机高速...
通过对重型汽车空调散热器风扇电机烧毁事故应用宏观、微观、金相等测试方法进行原因分析,找出其烧毁的根本原因。利用模拟验证分析烧毁原因,并复现烧毁过程。结果表明,引起电机铜线瞬时一次熔断的根本原因为铜线表面存在裂纹,电机高速运转时裂纹疲劳扩展导致铜线截面积减小,启动时瞬间电流过大引起铜线高温熔断。铜线瞬时一次熔断后,熔断一端在停机后卡在电机转子与定子之间,再次启动时,由于启动扭矩过低使电机无法转动而过负荷,最终烧毁。
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关键词
电机
一次熔断
火灾调查
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职称材料
LED显示屏用塑胶底座开裂失效分析
5
作者
王丽娟
许佳佳
韦乔
《塑料工业》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第7期99-102,152,共5页
通过对开裂断面的形貌观察及不同批次之间的显微红外光谱分析(FTIR)、热失重分析(TGA)、凝胶渗透色谱分析(GPC)、物理性能、耐环境应力对比分析。结果表明,此批次塑料底座开裂的原因是原料中添加了相对分子质量较低、分布较宽的回收料。
关键词
发光二极管
显示屏
塑胶底座
开裂
失效
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职称材料
某灯具LED灯珠封装胶体失效分析
6
作者
冯博楷
王君兆
《中国塑料》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期69-73,共5页
针对某发光二极管(LED)灯具在老化过程中,灯珠封装胶体的变色甚至脱落问题,开展失效分析。通过LED灯珠切片分析、X射线透视、红外光谱分析、红外热像分析、有限元分析等技术手段,并设计相关验证试验分析灯珠封装胶体失效的原因。结果表...
针对某发光二极管(LED)灯具在老化过程中,灯珠封装胶体的变色甚至脱落问题,开展失效分析。通过LED灯珠切片分析、X射线透视、红外光谱分析、红外热像分析、有限元分析等技术手段,并设计相关验证试验分析灯珠封装胶体失效的原因。结果表明,灯珠封装胶体靠近芯片和灯珠外表面变色严重;灯珠内部结构一致,均串联连接;失效和正常灯珠封装胶体均为有机硅树脂材料,灯具整体散热性能对灯珠失效没有影响;有限元分析和模拟验证表明封装有机硅树脂材料的失效是LED芯片热量和腔体内积聚热量双重作用的结果;建议将灯具支撑柱进行开孔或直接制成网状结构,以让反射罩和支撑柱之间阻隔散热的静止空气流动起来,然后再根据实际情况进行优化。
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关键词
散热失效
胶体变色
有限元分析
验证试验
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职称材料
题名
电子束诱导沉积工艺的优化与简化
1
作者
高尚
黄梦诗
肖飞
孙千
机构
哈尔滨工业大学(深圳)材料科学与工程学院
广东省半导体光电材料与智能光子系统重点实验室
美信检测技术股份有限公司
华南理工大学材料科学与工程学院
出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第4期340-348,共9页
基金
广东省重点实验室项目(2023B1212010003)
哈工大研究生教育教学改革研究项目(23MS031)
+1 种基金
哈工大(深圳)教材建设项目(HITSZJC24009)
哈工大(深圳)创新实验项目(INEP1013)。
文摘
电子束诱导沉积(EBID)因沉积速率慢、沉积物纯度低等缺点,常被限制在离子束诱导沉积(IBID)工艺前的保护层制备等辅助性工艺中。文章针对工艺的效率提升与流程简化展开系统研究,重点分析了关键工艺参数对沉积速率和效果的影响,并提出了一种基于扫描电镜缩小框功能的简化工艺。研究表明,低加速电压条件下,沉积速率显著提高;束流与沉积厚度呈线性正相关;短驻留时间有助于获得更高的沉积速率。通过优化参数,研究实现EBID沉积效率达到0.03μm^(3)/nC,显著优于既往文献报道的效率范围。简化工艺无需依赖复杂的专用程序,操作便捷。特别是在对精度要求不高但重视效率的场景中,优化后的EBID工艺可在某些应用中完全替代IBID工艺。因此,通过优化聚焦离子束-扫描电镜中电子束诱导沉积的参数,提高沉积速率并简化操作流程,具有重要应用价值,为沉积保护层提供了全新的解决思路与替代方案。
关键词
电子束诱导沉积
沉积速率
工艺参数优化
聚焦离子束-扫描电镜
Keywords
Electron beam induced deposition(EBID)
Deposition efficiency
Process parameter optimization
Focused ion beam-scanning electron microscopy(FIB-SEM)
分类号
TG115.215.5 [金属学及工艺—物理冶金]
TG115.215.3 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
扫描电镜中X射线能谱仪的技术进展
被引量:
13
2
作者
高尚
黄梦诗
杨振英
马清
机构
哈尔滨工业大学(深圳)材料科学与工程学院
深圳市
美信检测技术股份有限公司
哈尔滨工业大学(深圳)实验与创新实践教育中心
出处
《分析科学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期115-121,共7页
基金
教育部产学合作协同育人项目(No.201802284007)
哈工大(深圳)创新实验项目(No.INEP1013)
哈工大(深圳)高水平大学实验中心项目(No.AZ11000068)。
文摘
能谱仪作为扫描电镜进行成分分析的重要附件,已经得到非常广泛的应用。随着半导体技术和应用领域的拓展,近年来在能谱探测器上取得的技术进展令人鼓舞。这些进展包括硅漂移探测器的普及,大面积探测器、平插设置以及对窗口材料的改进等。本文介绍了能谱探测器的基本结构,总结了硅漂移探测器的技术进展和性能优势,以及低加速电压能谱探测技术的进展和算法在能谱技术中的应用。
关键词
X射线能谱仪
硅漂移探测器
锂漂移硅探测器
低加速电压
多元成分分析
Keywords
X-ray energy dispersive spectroscopy
Silicon drift detector
Lithium drift silicon detector
Low acceleration voltage
Multivariate component analysis
分类号
O657 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
LED灯珠环氧树脂不同测试方法下玻璃化转变温度比较简析
被引量:
1
3
作者
黄险
王红
彭璟
邓伟
机构
深圳市
美信检测技术股份有限公司
出处
《塑料工业》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第S01期116-118,共3页
文摘
玻璃化转变温度是其重要的物理性能之一,其可以用于工业上产品性能的比较方法之一。为了了解环氧树脂不同测试方法下的玻璃化转变温度差异,本文采取差示扫描量热法(DSC)和热机械分析法(TMA)测试相同灯珠环氧树脂材料的玻璃化转变温度并比较之间的差异。
关键词
玻璃化转变温度
热膨胀系数
热机械分析仪
差示扫描量热仪
应力松弛
Keywords
Glass Transition Temperature
Thermal Expansion Coefficient
Thermo Mechanical Analyzer
Differential Scanning Calorimeter
Stress Relaxation
分类号
TQ324 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
重型汽车空调散热器烧毁原因分析与验证
被引量:
1
4
作者
吴冰冰
邓番林
曾志卫
王君兆
机构
深圳市
美
信
咨询
有限公司
深圳市
美信检测技术股份有限公司
出处
《消防科学与技术》
CAS
北大核心
2021年第5期775-777,共3页
文摘
通过对重型汽车空调散热器风扇电机烧毁事故应用宏观、微观、金相等测试方法进行原因分析,找出其烧毁的根本原因。利用模拟验证分析烧毁原因,并复现烧毁过程。结果表明,引起电机铜线瞬时一次熔断的根本原因为铜线表面存在裂纹,电机高速运转时裂纹疲劳扩展导致铜线截面积减小,启动时瞬间电流过大引起铜线高温熔断。铜线瞬时一次熔断后,熔断一端在停机后卡在电机转子与定子之间,再次启动时,由于启动扭矩过低使电机无法转动而过负荷,最终烧毁。
关键词
电机
一次熔断
火灾调查
Keywords
motor
primary fuse
fire investigation
分类号
X928.7 [环境科学与工程—安全科学]
D918.91 [政治法律—法学]
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职称材料
题名
LED显示屏用塑胶底座开裂失效分析
5
作者
王丽娟
许佳佳
韦乔
机构
深圳市
美
信
分析
技术
有限公司
深圳市
美信检测技术股份有限公司
出处
《塑料工业》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第7期99-102,152,共5页
文摘
通过对开裂断面的形貌观察及不同批次之间的显微红外光谱分析(FTIR)、热失重分析(TGA)、凝胶渗透色谱分析(GPC)、物理性能、耐环境应力对比分析。结果表明,此批次塑料底座开裂的原因是原料中添加了相对分子质量较低、分布较宽的回收料。
关键词
发光二极管
显示屏
塑胶底座
开裂
失效
Keywords
Light Emitting Diode
Display Screen
Plastic Base
Cracking
Failure
分类号
TQ322.3 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
某灯具LED灯珠封装胶体失效分析
6
作者
冯博楷
王君兆
机构
菏泽学院机电工程学院
深圳
美信检测技术股份有限公司
出处
《中国塑料》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第7期69-73,共5页
文摘
针对某发光二极管(LED)灯具在老化过程中,灯珠封装胶体的变色甚至脱落问题,开展失效分析。通过LED灯珠切片分析、X射线透视、红外光谱分析、红外热像分析、有限元分析等技术手段,并设计相关验证试验分析灯珠封装胶体失效的原因。结果表明,灯珠封装胶体靠近芯片和灯珠外表面变色严重;灯珠内部结构一致,均串联连接;失效和正常灯珠封装胶体均为有机硅树脂材料,灯具整体散热性能对灯珠失效没有影响;有限元分析和模拟验证表明封装有机硅树脂材料的失效是LED芯片热量和腔体内积聚热量双重作用的结果;建议将灯具支撑柱进行开孔或直接制成网状结构,以让反射罩和支撑柱之间阻隔散热的静止空气流动起来,然后再根据实际情况进行优化。
关键词
散热失效
胶体变色
有限元分析
验证试验
Keywords
heat dissipation failure
colloidal discoloration
finite element analysis
verification test
分类号
TQ322 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子束诱导沉积工艺的优化与简化
高尚
黄梦诗
肖飞
孙千
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
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职称材料
2
扫描电镜中X射线能谱仪的技术进展
高尚
黄梦诗
杨振英
马清
《分析科学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022
13
在线阅读
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职称材料
3
LED灯珠环氧树脂不同测试方法下玻璃化转变温度比较简析
黄险
王红
彭璟
邓伟
《塑料工业》
CAS
CSCD
北大核心
2021
1
在线阅读
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职称材料
4
重型汽车空调散热器烧毁原因分析与验证
吴冰冰
邓番林
曾志卫
王君兆
《消防科学与技术》
CAS
北大核心
2021
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
5
LED显示屏用塑胶底座开裂失效分析
王丽娟
许佳佳
韦乔
《塑料工业》
CAS
CSCD
北大核心
2020
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
6
某灯具LED灯珠封装胶体失效分析
冯博楷
王君兆
《中国塑料》
CAS
CSCD
北大核心
2019
0
在线阅读
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职称材料
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