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电子束诱导沉积工艺的优化与简化
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作者 高尚 黄梦诗 +1 位作者 肖飞 孙千 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第4期340-348,共9页
电子束诱导沉积(EBID)因沉积速率慢、沉积物纯度低等缺点,常被限制在离子束诱导沉积(IBID)工艺前的保护层制备等辅助性工艺中。文章针对工艺的效率提升与流程简化展开系统研究,重点分析了关键工艺参数对沉积速率和效果的影响,并提出了... 电子束诱导沉积(EBID)因沉积速率慢、沉积物纯度低等缺点,常被限制在离子束诱导沉积(IBID)工艺前的保护层制备等辅助性工艺中。文章针对工艺的效率提升与流程简化展开系统研究,重点分析了关键工艺参数对沉积速率和效果的影响,并提出了一种基于扫描电镜缩小框功能的简化工艺。研究表明,低加速电压条件下,沉积速率显著提高;束流与沉积厚度呈线性正相关;短驻留时间有助于获得更高的沉积速率。通过优化参数,研究实现EBID沉积效率达到0.03μm^(3)/nC,显著优于既往文献报道的效率范围。简化工艺无需依赖复杂的专用程序,操作便捷。特别是在对精度要求不高但重视效率的场景中,优化后的EBID工艺可在某些应用中完全替代IBID工艺。因此,通过优化聚焦离子束-扫描电镜中电子束诱导沉积的参数,提高沉积速率并简化操作流程,具有重要应用价值,为沉积保护层提供了全新的解决思路与替代方案。 展开更多
关键词 电子束诱导沉积 沉积速率 工艺参数优化 聚焦离子束-扫描电镜
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扫描电镜中X射线能谱仪的技术进展 被引量:13
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作者 高尚 黄梦诗 +1 位作者 杨振英 马清 《分析科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第1期115-121,共7页
能谱仪作为扫描电镜进行成分分析的重要附件,已经得到非常广泛的应用。随着半导体技术和应用领域的拓展,近年来在能谱探测器上取得的技术进展令人鼓舞。这些进展包括硅漂移探测器的普及,大面积探测器、平插设置以及对窗口材料的改进等... 能谱仪作为扫描电镜进行成分分析的重要附件,已经得到非常广泛的应用。随着半导体技术和应用领域的拓展,近年来在能谱探测器上取得的技术进展令人鼓舞。这些进展包括硅漂移探测器的普及,大面积探测器、平插设置以及对窗口材料的改进等。本文介绍了能谱探测器的基本结构,总结了硅漂移探测器的技术进展和性能优势,以及低加速电压能谱探测技术的进展和算法在能谱技术中的应用。 展开更多
关键词 X射线能谱仪 硅漂移探测器 锂漂移硅探测器 低加速电压 多元成分分析
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LED灯珠环氧树脂不同测试方法下玻璃化转变温度比较简析 被引量:1
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作者 黄险 王红 +1 位作者 彭璟 邓伟 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2021年第S01期116-118,共3页
玻璃化转变温度是其重要的物理性能之一,其可以用于工业上产品性能的比较方法之一。为了了解环氧树脂不同测试方法下的玻璃化转变温度差异,本文采取差示扫描量热法(DSC)和热机械分析法(TMA)测试相同灯珠环氧树脂材料的玻璃化转变温度并... 玻璃化转变温度是其重要的物理性能之一,其可以用于工业上产品性能的比较方法之一。为了了解环氧树脂不同测试方法下的玻璃化转变温度差异,本文采取差示扫描量热法(DSC)和热机械分析法(TMA)测试相同灯珠环氧树脂材料的玻璃化转变温度并比较之间的差异。 展开更多
关键词 玻璃化转变温度 热膨胀系数 热机械分析仪 差示扫描量热仪 应力松弛
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重型汽车空调散热器烧毁原因分析与验证 被引量:1
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作者 吴冰冰 邓番林 +1 位作者 曾志卫 王君兆 《消防科学与技术》 CAS 北大核心 2021年第5期775-777,共3页
通过对重型汽车空调散热器风扇电机烧毁事故应用宏观、微观、金相等测试方法进行原因分析,找出其烧毁的根本原因。利用模拟验证分析烧毁原因,并复现烧毁过程。结果表明,引起电机铜线瞬时一次熔断的根本原因为铜线表面存在裂纹,电机高速... 通过对重型汽车空调散热器风扇电机烧毁事故应用宏观、微观、金相等测试方法进行原因分析,找出其烧毁的根本原因。利用模拟验证分析烧毁原因,并复现烧毁过程。结果表明,引起电机铜线瞬时一次熔断的根本原因为铜线表面存在裂纹,电机高速运转时裂纹疲劳扩展导致铜线截面积减小,启动时瞬间电流过大引起铜线高温熔断。铜线瞬时一次熔断后,熔断一端在停机后卡在电机转子与定子之间,再次启动时,由于启动扭矩过低使电机无法转动而过负荷,最终烧毁。 展开更多
关键词 电机 一次熔断 火灾调查
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LED显示屏用塑胶底座开裂失效分析
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作者 王丽娟 许佳佳 韦乔 《塑料工业》 CAS CSCD 北大核心 2020年第7期99-102,152,共5页
通过对开裂断面的形貌观察及不同批次之间的显微红外光谱分析(FTIR)、热失重分析(TGA)、凝胶渗透色谱分析(GPC)、物理性能、耐环境应力对比分析。结果表明,此批次塑料底座开裂的原因是原料中添加了相对分子质量较低、分布较宽的回收料。
关键词 发光二极管 显示屏 塑胶底座 开裂 失效
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某灯具LED灯珠封装胶体失效分析
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作者 冯博楷 王君兆 《中国塑料》 CAS CSCD 北大核心 2019年第7期69-73,共5页
针对某发光二极管(LED)灯具在老化过程中,灯珠封装胶体的变色甚至脱落问题,开展失效分析。通过LED灯珠切片分析、X射线透视、红外光谱分析、红外热像分析、有限元分析等技术手段,并设计相关验证试验分析灯珠封装胶体失效的原因。结果表... 针对某发光二极管(LED)灯具在老化过程中,灯珠封装胶体的变色甚至脱落问题,开展失效分析。通过LED灯珠切片分析、X射线透视、红外光谱分析、红外热像分析、有限元分析等技术手段,并设计相关验证试验分析灯珠封装胶体失效的原因。结果表明,灯珠封装胶体靠近芯片和灯珠外表面变色严重;灯珠内部结构一致,均串联连接;失效和正常灯珠封装胶体均为有机硅树脂材料,灯具整体散热性能对灯珠失效没有影响;有限元分析和模拟验证表明封装有机硅树脂材料的失效是LED芯片热量和腔体内积聚热量双重作用的结果;建议将灯具支撑柱进行开孔或直接制成网状结构,以让反射罩和支撑柱之间阻隔散热的静止空气流动起来,然后再根据实际情况进行优化。 展开更多
关键词 散热失效 胶体变色 有限元分析 验证试验
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