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非晶Er2O3高k栅介质薄膜的制备及结构特性研究
被引量：
7
1
作者
方泽波
谭永胜
+2 位作者
朱燕艳
陈圣
蒋最敏
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期357-360,共4页
采用高真空反应蒸发法在未加热的p型Si(100)衬底上实现了非晶Er_2O_3高k栅介质薄膜的生长.俄歇电子能谱证实薄膜组分符合化学剂量比.X射线衍射、反射式高能电子衍射和高分辨透射电子显微镜测量表明,不但原位沉积的薄膜是非晶结构,而且...
采用高真空反应蒸发法在未加热的p型Si(100)衬底上实现了非晶Er_2O_3高k栅介质薄膜的生长.俄歇电子能谱证实薄膜组分符合化学剂量比.X射线衍射、反射式高能电子衍射和高分辨透射电子显微镜测量表明,不但原位沉积的薄膜是非晶结构,而且高真空700℃退火30min后样品仍保持了良好的非晶稳定性.原子力显微镜检测显示高真空退火有利于改善薄膜的表面形貌.退火后,Er_2O_3薄膜获得了平整的表面.电容一电压测试得到薄膜的有效介电常数为12.6,EOT为1.4nm,在1MV/cm时漏电流密度为8×10^(-4)A/cm^2.这些特征表明非晶Er_2O_3薄膜是一种较好的高k栅介质候选材料.
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关键词
高K栅介质
Er2O3薄膜
反应蒸发
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职称材料
碳纳米团簇向碳纳米纤维相转变机理研究
2
作者
马锡英
袁保合
闫志军
《材料科学与工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期397-399,共3页
为了能够快速且大面积生长碳纳米纤维,研究碳纳米纤维的形成、转变及在各种物理、化学环境下的反应机理,应用等离子化学气相沉积(PECVD)方法,以CH4为反应气体,FeCl2为催化剂在玻璃衬底上生长碳纳米薄膜.应用扫描电镜(SEM)观察了碳纳米...
为了能够快速且大面积生长碳纳米纤维,研究碳纳米纤维的形成、转变及在各种物理、化学环境下的反应机理,应用等离子化学气相沉积(PECVD)方法,以CH4为反应气体,FeCl2为催化剂在玻璃衬底上生长碳纳米薄膜.应用扫描电镜(SEM)观察了碳纳米纤维薄膜的表面形貌,拉曼(Raman)光谱分析了碳纳米纤维的结构组成.结果表明,无催化剂时薄膜主要由纳米团簇构成,而催化作用下薄膜呈纤维状生长,纳米纤维为典型的碳纳米管石墨特征峰.在温度,气压,催化剂等反应条件中,FeCl2催化剂对碳纳米薄膜的取向生长起决定性作用,通过调节催化剂的浓度与分布,可有效改变碳纳米纤维的密度与分布.
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关键词
碳纳米团簇
碳纳米纤维
等离子体增强型CVD
扫描电镜
拉曼
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职称材料
题名
非晶Er2O3高k栅介质薄膜的制备及结构特性研究
被引量：
7
1
作者
方泽波
谭永胜
朱燕艳
陈圣
蒋最敏
机构
绍兴文理学院物电系
复旦大学应用表面
物
理国家重点实验室
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期357-360,共4页
基金
国家重点基础研究专项基金(G2001CB3095，10321003，60425411)
绍兴市科技基金(2007A21015)
文摘
采用高真空反应蒸发法在未加热的p型Si(100)衬底上实现了非晶Er_2O_3高k栅介质薄膜的生长.俄歇电子能谱证实薄膜组分符合化学剂量比.X射线衍射、反射式高能电子衍射和高分辨透射电子显微镜测量表明,不但原位沉积的薄膜是非晶结构,而且高真空700℃退火30min后样品仍保持了良好的非晶稳定性.原子力显微镜检测显示高真空退火有利于改善薄膜的表面形貌.退火后,Er_2O_3薄膜获得了平整的表面.电容一电压测试得到薄膜的有效介电常数为12.6,EOT为1.4nm,在1MV/cm时漏电流密度为8×10^(-4)A/cm^2.这些特征表明非晶Er_2O_3薄膜是一种较好的高k栅介质候选材料.
关键词
高K栅介质
Er2O3薄膜
反应蒸发
Keywords
high k dielectric film
Er2O3
reactive evaporation
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
碳纳米团簇向碳纳米纤维相转变机理研究
2
作者
马锡英
袁保合
闫志军
机构
绍兴文理学院物电系
光
电
材料研究所
出处
《材料科学与工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期397-399,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(60776004)
文摘
为了能够快速且大面积生长碳纳米纤维,研究碳纳米纤维的形成、转变及在各种物理、化学环境下的反应机理,应用等离子化学气相沉积(PECVD)方法,以CH4为反应气体,FeCl2为催化剂在玻璃衬底上生长碳纳米薄膜.应用扫描电镜(SEM)观察了碳纳米纤维薄膜的表面形貌,拉曼(Raman)光谱分析了碳纳米纤维的结构组成.结果表明,无催化剂时薄膜主要由纳米团簇构成,而催化作用下薄膜呈纤维状生长,纳米纤维为典型的碳纳米管石墨特征峰.在温度,气压,催化剂等反应条件中,FeCl2催化剂对碳纳米薄膜的取向生长起决定性作用,通过调节催化剂的浓度与分布,可有效改变碳纳米纤维的密度与分布.
关键词
碳纳米团簇
碳纳米纤维
等离子体增强型CVD
扫描电镜
拉曼
Keywords
carbon nanogroup
carbon nano-fiber
plasma-enhanced chemical vapor deposition
scanning electron microscope
Raman
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非晶Er2O3高k栅介质薄膜的制备及结构特性研究
方泽波
谭永胜
朱燕艳
陈圣
蒋最敏
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
碳纳米团簇向碳纳米纤维相转变机理研究
马锡英
袁保合
闫志军
《材料科学与工艺》
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
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职称材料
已选择
0
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参考文献
引证文献
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