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题名不同退火氛围下MgZnO-TFT的制备及其性能
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作者
王超
郝云鹏
郭亮
杨帆
乔国光
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机构
吉林建筑大学寒地建筑综合节能教育部重点实验室
吉林建筑大学电气与计算机学院
纬湃汽车电子(长春)有限公司
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出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第10期1295-1303,共9页
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基金
吉林省科技发展计划(No.YDZJ202301ZYTS489,No.20200201177JC)。
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文摘
为探求退火氛围对镁锌氧化物薄膜晶体管性能的影响,本文采用射频磁控溅射法制备了MgZnO薄膜,并以其为沟道层构建了底栅顶接触结构的MgZnO-TFT器件。将所制备的MgZnO薄膜分别在空气、真空、氧气、氮气4种不同氛围下进行500℃、时长1 h的退火处理,通过原子力显微镜扫描(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)技术对薄膜进行表征分析,结果表明,在真空氛围下退火处理后,MgZnO薄膜质量较好,器件性能最佳,场效应迁移率为0.29 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1),阈值电压为2.28 V,亚阈值摆幅为3.6 V·dec^(-1),电流开关比为1.68×10^(6)。分析认为,这可能是由于在真空氛围下退火时可以在一定程度上隔绝外界干扰,有效避免了有源层薄膜缺陷的产生。同时我们研究测试了器件的正偏压应力(PBS)和负偏压应力(NBS)的稳定性。在不同栅偏压应力下,TFT均展现了良好的稳定性。在正偏置压力为10 V、应力时间为3000 s时,相比ZnO-TFT,真空氛围下进行退火优化的MgZnO-TFT阈值电压漂移从1.38 V降低至0.54 V。结果表明,在氧化锌中掺杂镁元素制备MgZnO薄膜作为TFT的有源层对TFT器件的电学稳定性有一定程度的改善。
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关键词
MgZnO-TFT
退火氛围
XPS
稳定性
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Keywords
MgZnO-TFT
annealing atmosphere
XPS analysis
stability
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分类号
TN321.5
[电子电信—物理电子学]
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题名光学玻璃磨削亚表面损伤预测模型及DOE实验设计
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作者
杨晓辉
周凌宇
刘宁
孟宪宇
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机构
长春职业技术学院机电学院
纬湃汽车电子(长春)有限公司
长春理工大学机电工程学院
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出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2024年第3期520-525,共6页
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基金
国家973重点基础研究发展计划(2017YFD0701103)
国家自然科学基金项目(51705189)
+2 种基金
吉林省教育厅科学研究项目(JJKH20241782KJ)
吉林省职业教育与成人教育教学改革项目(2023ZCY294)
吉林省高教科研一般课题(JGJX2022D714)。
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文摘
为了掌握光学玻璃材料杯型砂轮研磨与表面粗糙度(SR)和亚表面损伤(SSD)机理,本文建立BK7光学玻璃杯型砂轮研磨表面粗糙度的预测模型,通过改变磨削参数来研究对表面粗糙度的影响。设计DOE试验,研究影响SR与SSD的显著性特征因子,并分析了各因子的交互作用。实验结果表明预测模型的可靠性,得到表面粗糙度的预测模型数据与实验数据的平均误差为5.47%。采用角抛光法,通过电子显微镜观测表面裂纹,并测量裂纹的深度。最后,基于Li的模型,建立基于磨削工艺参数的亚表面损伤的新预测模型。实验结果表明:实验和预测模型结果具有很好的一致性,模型数据与实验数据的平均误差为6.19%,并且新预测模型结果要优于Li的模型。
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关键词
表面粗糙度
亚表面损伤
BK7光学玻璃
预测模型
杯形砂轮磨削
DOE实验设计
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Keywords
surface roughness
subsurface damage
BK7 optical glass
prediction model
cup wheel grinding
DOE experiment design
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分类号
TG58
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
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