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CO_2激光雕刻机的折/衍混杂f-θ镜设计
被引量：
3
1
作者
吴环宝
王肇圻
+2 位作者
傅汝廉
刘娟
乐丹
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第3期351-353,358,共4页
以工作于CO2激光主波长的传统两片球面透镜型f-θ镜为基础,引入衍射面实现消色差,设计了工作于可调谐CO2激光的波段范围9.0￣11.0μm的f-θ镜。结果表明,所设计的折/衍混杂f-θ镜不仅很好地工作在所要求的波段范围内,而且单色像差比原...
以工作于CO2激光主波长的传统两片球面透镜型f-θ镜为基础,引入衍射面实现消色差,设计了工作于可调谐CO2激光的波段范围9.0￣11.0μm的f-θ镜。结果表明,所设计的折/衍混杂f-θ镜不仅很好地工作在所要求的波段范围内,而且单色像差比原单波长f-θ镜有所提高,像面上的光斑在各个波长和视场上大小均匀。系统像差在各个波长上都接近或达到衍射极限,具有精确的光学扫描特性。
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关键词
光学设计
f-θ镜
折/衍混杂
消色差
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职称材料
题名
CO_2激光雕刻机的折/衍混杂f-θ镜设计
被引量：
3
1
作者
吴环宝
王肇圻
傅汝廉
刘娟
乐丹
机构
南开大学现代光学研究所光电信息
技术
科学教育部重点实验室
粤铭激光技术有限公司
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第3期351-353,358,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60277021)
文摘
以工作于CO2激光主波长的传统两片球面透镜型f-θ镜为基础,引入衍射面实现消色差,设计了工作于可调谐CO2激光的波段范围9.0￣11.0μm的f-θ镜。结果表明,所设计的折/衍混杂f-θ镜不仅很好地工作在所要求的波段范围内,而且单色像差比原单波长f-θ镜有所提高,像面上的光斑在各个波长和视场上大小均匀。系统像差在各个波长上都接近或达到衍射极限,具有精确的光学扫描特性。
关键词
光学设计
f-θ镜
折/衍混杂
消色差
Keywords
Optical design
f-θ lens
Hybrid refractive-diffractive
Achromatic
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CO_2激光雕刻机的折/衍混杂f-θ镜设计
吴环宝
王肇圻
傅汝廉
刘娟
乐丹
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006
3
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