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非晶多晶薄膜结构快速能量过滤径向分布函数分析(英文)
1
作者
王永瑞
刘震云
+2 位作者
戎咏华
赵小林
张寿柏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1998年第1期3-4,共2页
介绍研究薄膜结构的新方法—能量过滤电子衍射法。该方法借助透射电镜样品后扫描，使薄膜的选区电子衍射花样顺序地扫过电子能量损失谱仪入口光阑，检测弹性散射电子强度与散射矢量关系，然后由径向分布函数理论，导出薄膜材料的最近邻...
介绍研究薄膜结构的新方法—能量过滤电子衍射法。该方法借助透射电镜样品后扫描，使薄膜的选区电子衍射花样顺序地扫过电子能量损失谱仪入口光阑，检测弹性散射电子强度与散射矢量关系，然后由径向分布函数理论，导出薄膜材料的最近邻原子间距和配位数等与结构有关的信息。通过多晶金薄膜和非晶钛铝薄膜的测试，获得满意结果。
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关键词
薄膜结构
能量过滤
电子衍射法
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职称材料
题名
非晶多晶薄膜结构快速能量过滤径向分布函数分析(英文)
1
作者
王永瑞
刘震云
戎咏华
赵小林
张寿柏
机构
上海交通
大学
材料科学系
粉末冶金国家工程中心中南工业大学
国家
教委薄膜及微细加工开放实验室上海交通
大学
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1998年第1期3-4,共2页
文摘
介绍研究薄膜结构的新方法—能量过滤电子衍射法。该方法借助透射电镜样品后扫描，使薄膜的选区电子衍射花样顺序地扫过电子能量损失谱仪入口光阑，检测弹性散射电子强度与散射矢量关系，然后由径向分布函数理论，导出薄膜材料的最近邻原子间距和配位数等与结构有关的信息。通过多晶金薄膜和非晶钛铝薄膜的测试，获得满意结果。
关键词
薄膜结构
能量过滤
电子衍射法
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非晶多晶薄膜结构快速能量过滤径向分布函数分析(英文)
王永瑞
刘震云
戎咏华
赵小林
张寿柏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1998
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