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题名沉积温度对类金刚石涂层表面形貌和性能的影响
被引量：2
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作者
纪锡旺
郝俊文
许振华
何利民
何志宏
甄洪滨
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机构
华东理工大学机械与动力工程学院
北京航空材料研究院
第二炮兵驻红阳机械厂军代表室
赛屋涂层技术有限公司
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出处
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期40-45,共6页
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文摘
采用直流等离子体增强化学气相沉积(DC-PECVD)技术,在不同温度下于YG8硬质合金基体上沉积了类金刚石(DLC)涂层,探讨了沉积温度对DLC涂层结构、表面形貌、厚度、显微硬度、耐磨损性能以及界面结合性能的影响。结果表明:随着沉积温度的升高,DLC涂层中sp3键的比例呈先增大后减小的趋势,并在160℃达到最大,为69%;沉积温度过高将导致DLC涂层出现石墨化;DLC涂层的厚度、显微硬度、耐磨损性能、界面结合力均随沉积温度的升高呈先增大后减小的趋势,当沉积温度为160℃时,涂层表面平整光滑、致密,此时涂层的厚度、显微硬度和界面结合力均达到最大,分别为3.2μm、2 395HV和63N;DLC涂层的显微硬度、抗磨损能力、厚度和界面结合强度随沉积温度的变化规律与sp3键含量密切相关。
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关键词
直流等离子体增强化学气相沉积技术
类金刚石涂层
沉积温度
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Keywords
direct current plasma enhanced chemical vapor deposition（DC-PEVCD）technology
diamond-like-carbon（DLC）coating
deposition temperature
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分类号
TG174
[金属学及工艺—金属表面处理]
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