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微压电复合材料超声波探测器的制备及应用被引量：1: 1; 作者黄远李以贵 +3 位作者毕贞法颜平王欢山杉进《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期947-951,共5页; 基于微细加工工艺,设计并制备了一种指向性良好的压电复合材料的超声波探测器。该探测器由压电振子、阻尼器、中继板和特高频(UHF)连接器构成。压电振子由4×4个(80μm×80μm×130μm)(长×宽×高)的锆钛酸铅(PZT... 展开更多; 关键词超声波探测器压电复合材料微细加工工艺超声波指向性; 在线阅读下载PDF 职称材料

利用体块PZT制备膜片式压电微泵被引量：6: 2; 作者李以贵黄远 +2 位作者颜平王欢杉山进《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1072-1079,共8页; 利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对... 展开更多; 关键词微流控分析系统膜片式压电微泵锆钛酸铅(PZT) 单向微阀逆压电效应驱动仿真微加工工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于共晶键合与对准切割的压电材料微细加工被引量：1: 3; 作者颜平李以贵 +2 位作者黄远田中克彦杉山进《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期504-507,共4页; 高硬度陶瓷材料的微加工一直是微细加工的难题。为了解决此难题,采用金膜为中间层的硅-锆钛酸铅(Si-PZT)共晶键合工艺和带进刀标记的PZT压电陶瓷的切割加工,制备出块状PZT微结构。实验结果表明,当金膜厚为1μm时,Si-PZT的共晶键合强度可... 展开更多; 关键词压电陶瓷微细加工共晶键合对准切割中间层; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备被引量：3: 4; 作者李以贵颜平 +1 位作者黄远杉山进《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第6期216-220,共5页; 微透镜阵列的制备已经成为微光学领域的研究热点。利用两次X光移动光刻技术,以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为正光刻胶,在PMMA基板上制造了微透镜阵列,并对其制作原理进行了详细说明。设计了制备微透镜阵列用的掩膜图形,并通过掩膜图形模拟仿... 展开更多; 关键词微透镜阵列微制造 X光光刻移动光刻 PMMA; 在线阅读下载PDF 职称材料

共晶键合与减薄技术的压电能量采集器（英文）被引量：1: 5; 作者李以贵颜平 +1 位作者黄远杉山进《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期62-66,共5页; 采用微硅-锆钛酸铅(Si-PZT)悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块,构成可以工作于低频环境(小于1 000Hz)的微压电能量采集器,一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技术和PZT研磨减薄技术制... 展开更多; 关键词微制造能量采集器减薄技术共晶键合锆钛酸铅; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微压电复合材料超声波探测器的制备及应用被引量：1: 1; 作者黄远李以贵毕贞法颜平王欢山杉进; 机构上海应用技术学院理学院上海应用技术学院轨道交通学院日本立命馆大学微系统系; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期947-951,共5页; 基金国家自然科学基金课题项目(60777016) 国家自然基金课题项目(51405303) +2 种基金上海联盟计划项目(LM201441) 上海应用技术学院人才引进基金项目(YJ2014-03); 文摘基于微细加工工艺,设计并制备了一种指向性良好的压电复合材料的超声波探测器。该探测器由压电振子、阻尼器、中继板和特高频(UHF)连接器构成。压电振子由4×4个(80μm×80μm×130μm)(长×宽×高)的锆钛酸铅(PZT)压电柱状阵列及阵列缝隙填充环氧树脂而构成。当压电振子施加高频交流电压时,柱状PZT阵列产生纵向伸缩运动,从而产生超声波并向介质辐射。作为填充材料的环氧树脂,能够吸收掉因柱状PZT阵列其他方向振动而引起的噪声,使探测器在纵向上能产生指向性良好的超声波,从而提高了该探测器的灵敏度。测试结果表明,该微压电探测器指向性好,灵敏度高,精度高和抗干扰性好,可应用在泥沙的含水量测量中。; 关键词超声波探测器压电复合材料微细加工工艺超声波指向性; Keywords ultrasonic detector piezoelectric composites microfabrication process ultrasonic directivity; 分类号 TH89 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名利用体块PZT制备膜片式压电微泵被引量：6: 2; 作者李以贵黄远颜平王欢杉山进; 机构上海应用技术大学理学院立命馆大学微系统系; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1072-1079,共8页; 基金国家自然科学基金资助课题(No.60777016) 上海联盟计划资助项目(No.LM201441) +1 种基金上海应用技术学院人才引进基金资助项目(No.YJ2014-03); 文摘利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应,设计并制备了膜片式压电微泵。通过将电能转换为机械能,实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成;微驱动器主要为液体流动提供驱动力,单向微阀则用于精确控制液体的流动方向。通过对PZT-Si膜片的位移量、位移形状的仿真分析,确定了微驱动器的设计尺寸,并估算其液体驱动性能。利用共晶键合工艺、研磨减薄工艺、硅深反应离子刻蚀工艺和准分子激光加工工艺等制备出了微驱动器和单向微阀。最后,设计了驱动测试实验,检测了微泵的液体驱动性能。测试结果表明:所制备的膜片式压电微泵驱动的谐振频率约为70kHz,能驱动微米量级的液体位移或运动。当微泵驱动电压为30Vp-p、频率为600Hz时,液体的驱动流速约为65μL/min。该微泵具有体积小,线性度好等特点。; 关键词微流控分析系统膜片式压电微泵锆钛酸铅(PZT) 单向微阀逆压电效应驱动仿真微加工工艺; Keywords microfluidic analysis system diaphragm piezoelectric micro pump Pb based Lanthanum doped Zirconate Titanate（PZT） micro check valve inverse piezoelectric effect driving simulation micro fabrication; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TP271 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于共晶键合与对准切割的压电材料微细加工被引量：1: 3; 作者颜平李以贵黄远田中克彦杉山进; 机构上海应用技术大学理学院日本立命馆大学微系统系; 出处《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期504-507,共4页; 基金科技部国际合作基金资助项目(2009DFB10330) 上海应用技术学院光电精密检测平台建设基金资助项目(10210Q140005) 上海应用技术学院引进人才启动基金资助项目(YJ2014-03); 文摘高硬度陶瓷材料的微加工一直是微细加工的难题。为了解决此难题,采用金膜为中间层的硅-锆钛酸铅(Si-PZT)共晶键合工艺和带进刀标记的PZT压电陶瓷的切割加工,制备出块状PZT微结构。实验结果表明,当金膜厚为1μm时,Si-PZT的共晶键合强度可达20 MPa以上。这个强度可为PZT材料的切割加工和应用提供有力保障。Si-PZT共晶键合与PZT的对准切割加工结合的方法可在微细领域加工PZT等超硬材料,为加工PZT微结构阵列提供一种新途径。; 关键词压电陶瓷微细加工共晶键合对准切割中间层; Keywords PZT micro fabrication eutectic bonding alignment dicing intermediate layer; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备被引量：3: 4; 作者李以贵颜平黄远杉山进; 机构上海应用技术大学理学院日本立命馆大学微系统系; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第6期216-220,共5页; 基金国家自然科学基金(51035005) 上海应用技术学院光电精密检测平台建设项目(10210Q140005) 上海应用技术学院引进人才启动基金(YJ2014-03); 文摘微透镜阵列的制备已经成为微光学领域的研究热点。利用两次X光移动光刻技术,以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为正光刻胶,在PMMA基板上制造了微透镜阵列,并对其制作原理进行了详细说明。设计了制备微透镜阵列用的掩膜图形,并通过掩膜图形模拟仿真,预测了微透镜在两次移动曝光显影后的形状。第一次X光移动光刻后,理论上会得到半圆柱状三维结构;第一次光刻后将掩膜板旋转90°,进行第二次移动曝光光刻,最终在PMMA基板上制备了面积为10 mm×10 mm的30×30个微透镜阵列,阵列中每个微透镜的直径约248μm、厚度约82μm。同时也研究了X光曝光量与PMMA刻蚀深度之间的关系。微透镜阵列形貌测试表明此种制备微透镜阵列的新方法是可行的。; 关键词微透镜阵列微制造 X光光刻移动光刻 PMMA; Keywords micro lens array micro fabrication X-ray lithography moving lithography PMMA; 分类号 TN256 [电子电信—物理电子学] TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名共晶键合与减薄技术的压电能量采集器（英文）被引量：1: 5; 作者李以贵颜平黄远杉山进; 机构上海应用技术学院理学院日本立命馆大学微系统系; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期62-66,共5页; 基金 supported by National Natural Science Foundation of China(60777016) Lian-meng Plan Foundation of Shanghai(LM201441) Shanghai Institute of Technology Foundation(YJ 2014-03,10210Q150005); 文摘采用微硅-锆钛酸铅(Si-PZT)悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块,构成可以工作于低频环境(小于1 000Hz)的微压电能量采集器,一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技术和PZT研磨减薄技术制备了微压电悬臂梁结构,PZT减薄实验最好结果为减薄至8μm。镍质量块(2mm×2mm×0.6mm)采用微电铸工艺制备。通过对硅片与块材PZT的共晶键合工艺与PZT减薄技术的研究,制备出总厚度约为71μm的Si-PZT悬臂梁结构,其中硅梁厚约为47μm,PZT梁厚约为24μm。制备的微压电振动能量采集器样品的测试结果表明:在谐振频率为950 Hz,1.0g加速度激励条件下,其交流输出峰值电压可达958mV。; 关键词微制造能量采集器减薄技术共晶键合锆钛酸铅; Keywords micro-fabrication energy harvester polishing technology eutectic bonding technology PZT; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微压电复合材料超声波探测器的制备及应用	黄远李以贵毕贞法颜平王欢山杉进	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2016	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	利用体块PZT制备膜片式压电微泵	李以贵黄远颜平王欢杉山进	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	6	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于共晶键合与对准切割的压电材料微细加工	颜平李以贵黄远田中克彦杉山进	《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心	2016	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备	李以贵颜平黄远杉山进	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2016	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	共晶键合与减薄技术的压电能量采集器（英文）	李以贵颜平黄远杉山进	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	1	在线阅读下载PDF 职称材料