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Low-K芯片的激光开槽工艺质量稳定性控制
被引量：
1
1
作者
李曼
彭川
+5 位作者
冯晨
侯煜
宋琦
石海燕
王秋明
张紫辰
《电子产品可靠性与环境试验》
2022年第4期17-23,共7页
基于低介电常数(Low-K)材料覆盖的晶圆加工需求和激光开槽工艺质量控制特点,开展Low-K材料激光开槽工艺技术质量稳定性研究。以开槽宽度、槽壁夹角、开槽深度和底部波动距离表征槽型形貌特征,定义了激光开槽工艺质量评价准则。针对扫描...
基于低介电常数(Low-K)材料覆盖的晶圆加工需求和激光开槽工艺质量控制特点,开展Low-K材料激光开槽工艺技术质量稳定性研究。以开槽宽度、槽壁夹角、开槽深度和底部波动距离表征槽型形貌特征,定义了激光开槽工艺质量评价准则。针对扫描速度、激光频率、单脉冲能量、扫描次数和脉宽5个因素以正交试验法开展Low-K芯片激光开槽槽型质量波动分析,得出影响槽型质量波动的主次顺序依次为激光频率>单脉冲能量>扫描速度>扫描次数>脉宽。提出了一套评定系统用于识别工艺质量最优参数,建立激光开槽工艺质量稳定性控制策略模型。经实例验证控制策略模型具备可行性,对Low-K材料激光开槽设备在工艺实施过程中的质量稳定性控制提供了有效的技术途径。
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关键词
工艺质量
质量稳定性
激光开槽
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职称材料
航空发动机典型电起动机包容性仿真
2
作者
姜鑫圣
刘冕
陈宸
《航空发动机》
北大核心
2023年第5期161-166,共6页
为了解航空发动机电起动机的包容能力,探究轮盘/圆环以外的高能转子失效包容机理,采用ANSYS/LS-DYNA软件开展了电起动机的包容性数值仿真,分析了转子组件以最大动能形式(3等分)失效与定子组件撞击作用过程。结果表明:电起动机的转子/定...
为了解航空发动机电起动机的包容能力,探究轮盘/圆环以外的高能转子失效包容机理,采用ANSYS/LS-DYNA软件开展了电起动机的包容性数值仿真,分析了转子组件以最大动能形式(3等分)失效与定子组件撞击作用过程。结果表明:电起动机的转子/定子撞击包容前后形变增加率仅为1.0%,各部件单元等效应力较小,材料未见明显失效,最大等效应力值出现在扣片与定子冲片的接触面上,转子组件总动能约消耗95.5%,转子冲片碎片与定子组件之间的平均撞击力峰值约为341 kN;该典型电起动机定子组件具有一定的自包容能力,临界包容转速约为66000 r/min,包容安全裕度为1.89,满足适航条款中的包容性安全要求;电起动机定子组件的“I”形截面径向夹层结构具有较好的包容性能。结果验证了该典型电起动机的包容能力,对轮盘/圆环以外包容结构设计具有指导意义。
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关键词
电起动机
高能转子
包容性
临界包容转速
数值仿真
航空发动机
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职称材料
题名
Low-K芯片的激光开槽工艺质量稳定性控制
被引量：
1
1
作者
李曼
彭川
冯晨
侯煜
宋琦
石海燕
王秋明
张紫辰
机构
中国科学院微电子研究所
空军装备部驻芜湖地区军事代表室
中国电子技术标准化研究院
出处
《电子产品可靠性与环境试验》
2022年第4期17-23,共7页
文摘
基于低介电常数(Low-K)材料覆盖的晶圆加工需求和激光开槽工艺质量控制特点,开展Low-K材料激光开槽工艺技术质量稳定性研究。以开槽宽度、槽壁夹角、开槽深度和底部波动距离表征槽型形貌特征,定义了激光开槽工艺质量评价准则。针对扫描速度、激光频率、单脉冲能量、扫描次数和脉宽5个因素以正交试验法开展Low-K芯片激光开槽槽型质量波动分析,得出影响槽型质量波动的主次顺序依次为激光频率>单脉冲能量>扫描速度>扫描次数>脉宽。提出了一套评定系统用于识别工艺质量最优参数,建立激光开槽工艺质量稳定性控制策略模型。经实例验证控制策略模型具备可行性,对Low-K材料激光开槽设备在工艺实施过程中的质量稳定性控制提供了有效的技术途径。
关键词
工艺质量
质量稳定性
激光开槽
Keywords
process quality
quality stability
laser grooving
分类号
TN305.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
航空发动机典型电起动机包容性仿真
2
作者
姜鑫圣
刘冕
陈宸
机构
航空工业集团公司南京机电液压工程研究中心
空军装备部驻芜湖地区军事代表室
出处
《航空发动机》
北大核心
2023年第5期161-166,共6页
基金
航空动力基础研究项目资助。
文摘
为了解航空发动机电起动机的包容能力,探究轮盘/圆环以外的高能转子失效包容机理,采用ANSYS/LS-DYNA软件开展了电起动机的包容性数值仿真,分析了转子组件以最大动能形式(3等分)失效与定子组件撞击作用过程。结果表明:电起动机的转子/定子撞击包容前后形变增加率仅为1.0%,各部件单元等效应力较小,材料未见明显失效,最大等效应力值出现在扣片与定子冲片的接触面上,转子组件总动能约消耗95.5%,转子冲片碎片与定子组件之间的平均撞击力峰值约为341 kN;该典型电起动机定子组件具有一定的自包容能力,临界包容转速约为66000 r/min,包容安全裕度为1.89,满足适航条款中的包容性安全要求;电起动机定子组件的“I”形截面径向夹层结构具有较好的包容性能。结果验证了该典型电起动机的包容能力,对轮盘/圆环以外包容结构设计具有指导意义。
关键词
电起动机
高能转子
包容性
临界包容转速
数值仿真
航空发动机
Keywords
electric starter
high-energy rotor
containment
critical containment speed
numerical simulation
aeroengine
分类号
V233.611 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Low-K芯片的激光开槽工艺质量稳定性控制
李曼
彭川
冯晨
侯煜
宋琦
石海燕
王秋明
张紫辰
《电子产品可靠性与环境试验》
2022
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
航空发动机典型电起动机包容性仿真
姜鑫圣
刘冕
陈宸
《航空发动机》
北大核心
2023
0
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职称材料
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