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热扰动条件下投影物镜温度响应的高精度建模
被引量：
4
1
作者
秦硕
巩岩
+3 位作者
于新峰
袁文全
彭海峰
杨怀江
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第11期2829-2835,共7页
针对投影物镜温度控制系统具有多重扰、多时滞和时间常数较大等问题,搭建了投影物镜温控实验平台;研究了实验平台的结构、激励信号设计、数据预处理方法和建模算法,建立了超高精度温度响应模型。首先,考虑光刻机对震动和洁净度的严格要...
针对投影物镜温度控制系统具有多重扰、多时滞和时间常数较大等问题,搭建了投影物镜温控实验平台;研究了实验平台的结构、激励信号设计、数据预处理方法和建模算法,建立了超高精度温度响应模型。首先,考虑光刻机对震动和洁净度的严格要求,设计了远距离串级水冷控制系统;进行了物镜温度的阶跃响应实验,采用两点法建立了物镜的温度响应传递函数(粗建模)。然后,根据获得的物镜阶跃响应传递函数,设计二位式伪随机辨识输入信号的参数,并采用分段线性化方法对输入输出数据进行预处理。最后,设计迭代最小二乘算法,辨识得到物镜的ARMAX温度响应模型(精建模)。基于该模型的物镜温控实验结果表明:在环境温度波动幅值达0.6℃并加入3 W的热扰动条件下,物镜温度稳态误差控制在±0.001℃以内,满足光刻机对投影物镜的超高精度温度控制要求。
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关键词
投影物镜
热扰动
伪随机信号
系统辨识
温度控制
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职称材料
四元数曲波变换多源多聚焦彩色图像融合
被引量：
10
2
作者
朱明
孙继刚
+1 位作者
梁伟
郭立强
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期2671-2678,共8页
为了改善已有多源多聚焦彩色图像融合算法存在的模糊效应问题,提出一种基于四元数曲波变换的彩色图像融合算法。首先,把传统曲波变换推广到四元数,定义了四元数曲波变换,并给出了该变换的离散化算法。接着,以四元数矩阵的形式对待融合...
为了改善已有多源多聚焦彩色图像融合算法存在的模糊效应问题,提出一种基于四元数曲波变换的彩色图像融合算法。首先,把传统曲波变换推广到四元数,定义了四元数曲波变换,并给出了该变换的离散化算法。接着,以四元数矩阵的形式对待融合的彩色图像建模,通过四元数曲波变换对图像的四元数值进行多分辨率分析。然后,采用"最小、最大"融合规则来完成融合图像的多分辨率分析。最后,采用逆四元数曲波变换得到融合后的彩色图像。实验结果表明:提出的方法能够有效地去除图像模糊,无论是在主观评价还是在客观评价上都优于已有的算法。与最新文献中基于二维经验模式分解(BEMD)的融合算法相比,其图像锐利度(ISM),图像对比度(ICM),彩色信息丰富度(CCM)等3项客观评价指标上都有较大幅度的提升。
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关键词
彩色图像
图像融合
四元数
四元数曲波变换
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职称材料
题名
热扰动条件下投影物镜温度响应的高精度建模
被引量：
4
1
作者
秦硕
巩岩
于新峰
袁文全
彭海峰
杨怀江
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
空军航空大学吉林
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第11期2829-2835,共7页
基金
国家02专项基金资助项目(No.2009ZX02005)
文摘
针对投影物镜温度控制系统具有多重扰、多时滞和时间常数较大等问题,搭建了投影物镜温控实验平台;研究了实验平台的结构、激励信号设计、数据预处理方法和建模算法,建立了超高精度温度响应模型。首先,考虑光刻机对震动和洁净度的严格要求,设计了远距离串级水冷控制系统;进行了物镜温度的阶跃响应实验,采用两点法建立了物镜的温度响应传递函数(粗建模)。然后,根据获得的物镜阶跃响应传递函数,设计二位式伪随机辨识输入信号的参数,并采用分段线性化方法对输入输出数据进行预处理。最后,设计迭代最小二乘算法,辨识得到物镜的ARMAX温度响应模型(精建模)。基于该模型的物镜温控实验结果表明:在环境温度波动幅值达0.6℃并加入3 W的热扰动条件下,物镜温度稳态误差控制在±0.001℃以内,满足光刻机对投影物镜的超高精度温度控制要求。
关键词
投影物镜
热扰动
伪随机信号
系统辨识
温度控制
Keywords
projection lens
thermed disturbance
pseudo-random signal
system identification
tem-perature control
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
四元数曲波变换多源多聚焦彩色图像融合
被引量：
10
2
作者
朱明
孙继刚
梁伟
郭立强
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院
航空
光学成像与测量重点实验室
中国科学院
大学
空军航空大学吉林
长春
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期2671-2678,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61203242)
文摘
为了改善已有多源多聚焦彩色图像融合算法存在的模糊效应问题,提出一种基于四元数曲波变换的彩色图像融合算法。首先,把传统曲波变换推广到四元数,定义了四元数曲波变换,并给出了该变换的离散化算法。接着,以四元数矩阵的形式对待融合的彩色图像建模,通过四元数曲波变换对图像的四元数值进行多分辨率分析。然后,采用"最小、最大"融合规则来完成融合图像的多分辨率分析。最后,采用逆四元数曲波变换得到融合后的彩色图像。实验结果表明:提出的方法能够有效地去除图像模糊,无论是在主观评价还是在客观评价上都优于已有的算法。与最新文献中基于二维经验模式分解(BEMD)的融合算法相比,其图像锐利度(ISM),图像对比度(ICM),彩色信息丰富度(CCM)等3项客观评价指标上都有较大幅度的提升。
关键词
彩色图像
图像融合
四元数
四元数曲波变换
Keywords
color image
image fusion
quaternion
quaternion curvelet transform
分类号
TP391.4 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
热扰动条件下投影物镜温度响应的高精度建模
秦硕
巩岩
于新峰
袁文全
彭海峰
杨怀江
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
4
在线阅读
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职称材料
2
四元数曲波变换多源多聚焦彩色图像融合
朱明
孙继刚
梁伟
郭立强
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
10
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职称材料
已选择
0
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