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用超声喷雾热分解法制备SnO_2:F薄膜
被引量：
2
1
作者
陈全
崔容强
+2 位作者
徐东
Wolden COLIN
奚建平
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期97-100,共4页
采用超声喷雾热分解法沉积高性能掺氟二氧化锡(SnO2:F)透明导电膜(TCO),其最小方块电阻为9 Ω(400 nm厚),可见光透过率大于80%。X射线衍射(XRD)分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构;原子力显微镜(AFM)观察表明,SnO2:F薄膜平均粒径约为100 nm...
采用超声喷雾热分解法沉积高性能掺氟二氧化锡(SnO2:F)透明导电膜(TCO),其最小方块电阻为9 Ω(400 nm厚),可见光透过率大于80%。X射线衍射(XRD)分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构;原子力显微镜(AFM)观察表明,SnO2:F薄膜平均粒径约为100 nm。此外对石墨导热体和置于其上的玻璃基片两者之间的温度差别做了初步研究。
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关键词
超声喷雾热分解法
制备
SnO2:F薄膜
金属氧化物薄膜
半导体材料
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职称材料
题名
用超声喷雾热分解法制备SnO_2:F薄膜
被引量：
2
1
作者
陈全
崔容强
徐东
Wolden COLIN
奚建平
机构
上海交通大学物理系
太阳能
研究所
上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室
科罗拉多矿冶学院太阳能及其材料中心
出处
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期97-100,共4页
基金
上海市科委资助项目(0152 nm 005)
文摘
采用超声喷雾热分解法沉积高性能掺氟二氧化锡(SnO2:F)透明导电膜(TCO),其最小方块电阻为9 Ω(400 nm厚),可见光透过率大于80%。X射线衍射(XRD)分析表明,SnO2:F薄膜为多晶结构;原子力显微镜(AFM)观察表明,SnO2:F薄膜平均粒径约为100 nm。此外对石墨导热体和置于其上的玻璃基片两者之间的温度差别做了初步研究。
关键词
超声喷雾热分解法
制备
SnO2:F薄膜
金属氧化物薄膜
半导体材料
Keywords
ultrasonic spray pyrolysis
SnO2:F thin film
temperature
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用超声喷雾热分解法制备SnO_2:F薄膜
陈全
崔容强
徐东
Wolden COLIN
奚建平
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
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