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初次流片芯片的FIB编辑
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《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第10期40-41,共2页
FIB的背景 编辑修改初次流片芯片是降低芯片研发费用的一个标准方法.采用这种做法主要有两个原因,一是修补设计错误和模拟掩模板修改,还有就是修改设计并向客户提供批量生产前的样片.FIB编辑的目的,就是通过FIB对芯片进行物理修改,进而... FIB的背景 编辑修改初次流片芯片是降低芯片研发费用的一个标准方法.采用这种做法主要有两个原因,一是修补设计错误和模拟掩模板修改,还有就是修改设计并向客户提供批量生产前的样片.FIB编辑的目的,就是通过FIB对芯片进行物理修改,进而达到跟通过修改设计和掩模板及生产流程再重新流片相同的性能和效果. 展开更多
关键词 FIB 芯片 编辑 修改设计 标准方法 设计错误 生产流程 掩模板
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