N^+、Xe^+离子注入银薄膜的实验分析

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作者 张以忱 杨乃恒 +1 位作者 庞世瑾 边为民 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第1期5-9,共5页

实验研究了离子注入对多晶银薄膜晶体结构及表面成份的影响。在室温环境下,将能量为24keV的N^+离子和350keV的Xe^+离子以不同的注入剂量注入到多晶银薄膜中。对离子注入前后的银薄膜样品进行了透射电子显微镜(TEM)观察和X射线光电子能谱... 实验研究了离子注入对多晶银薄膜晶体结构及表面成份的影响。在室温环境下,将能量为24keV的N^+离子和350keV的Xe^+离子以不同的注入剂量注入到多晶银薄膜中。对离子注入前后的银薄膜样品进行了透射电子显微镜(TEM)观察和X射线光电子能谱(XPS)及俄歇电子能谱(AES)分析。经分析发现,离子注入后在银薄膜中出现了再结晶和晶粒长大现象,而且晶粒尺寸随注入离子的剂量增加而增加。当注入的N^+离子剂量≥1.3×10^(17)Ions/cm^2及注入的Xe^+离子剂量达到3×10^(16)Ions/cm^2时,多晶银膜转变成单晶银薄膜。本文对实验结果进行了讨论。 展开更多

关键词 离子注入 XE 光电子能谱 薄膜晶体 注入剂量 晶粒尺寸 薄膜样品 透射电子显微镜 室温环境 银膜

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纳米网格法的实验研究

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作者 谢惠民 王欢 +1 位作者 戴福隆 杨海强 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期144-146,共3页

本文应用隧道显微镜（ＳＴＭ）并利用石墨的原子结构作为网格，进行的米级变形的网格法测量，并对脉冲激光辐照石墨的残余变形进行了测量研究，实验结果表明，此方法进行变形测量是可行的。

关键词 扫描隧道显微镜 网格法测量 实验研究 变形测量 纳米 子网格 激光辐照 石墨 原子排列 破坏机理

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用STM第一次观察到聚乙烯晶片的折迭链结构 被引量：3

3

作者 薛增泉 高鸿钧 +4 位作者 刘惟敏 赵兴钰 竺长新 马自力 庞世瑾 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1991年第3期156-159,共4页

通常人们认为聚乙烯薄膜是绝缘体,聚乙烯晶片的表面形貌是分子链的折迭部分,多是无规排列的,不能用扫描隧道显微镜(STM)研究聚乙烯薄膜的表面形貌。我们研究了聚乙烯薄膜的电学特性和结构特性,极薄的聚乙烯晶片在强电场下,有nA级的传导... 通常人们认为聚乙烯薄膜是绝缘体,聚乙烯晶片的表面形貌是分子链的折迭部分,多是无规排列的,不能用扫描隧道显微镜(STM)研究聚乙烯薄膜的表面形貌。我们研究了聚乙烯薄膜的电学特性和结构特性,极薄的聚乙烯晶片在强电场下,有nA级的传导电流,因此可以用STM分析聚乙烯晶片的表面形貌。我们用STM首次观察到了聚乙烯晶片表面折迭链的周期结构。 展开更多

关键词 聚乙烯薄膜 STM 扫描隧道显微镜 链结构 表面形貌 子链 周期结构 迭部 单胞 有机薄膜

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超硬薄膜β-C_3N_4的制备和表征 被引量：4

4

作者 张永平 顾有松 +4 位作者 常香荣 田中卓 时东霞 张秀芳 袁磊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期172-174,共3页

本文采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)法 ,用高纯氮气 (99.999% )和甲烷 (99.9% )作反应气体 ,在单晶硅和多晶铂基片上沉积 β -C3N4薄膜。X射线能谱 (EDX)分析了这种晶态C -N膜的化学成分 ,对不同样品的分析结果表明 ,N/C原子比在... 本文采用微波等离子体化学气相沉积 (MPCVD)法 ,用高纯氮气 (99.999% )和甲烷 (99.9% )作反应气体 ,在单晶硅和多晶铂基片上沉积 β -C3N4薄膜。X射线能谱 (EDX)分析了这种晶态C -N膜的化学成分 ,对不同样品的分析结果表明 ,N/C原子比在 1.1～ 2 .0范围内。X射线衍射结构分析结果与计算的α -和 β -C3N4单相X射线的峰位和强度相比较 ,说明它是α -和 β -C3N4的混合物。FT -IR和Raman谱支持C -N共价键的存在。薄膜的体弹性模量达到 349GPa。 展开更多

关键词 β-C3N4 超硬薄膜 MPCVD 制备 表征

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天然纤维素超显微结构的扫描隧道显微镜研究 被引量：4

5

作者 刘洁 张玉忠 +3 位作者 高培基 时东霞 刘宁 庞世瑾 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第6期729-732,共4页

本文用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）对天然纤维素脱脂棉的超显微结构进行了研究，结果表明用ＳＴＭ可直接观察到脱脂棉的微纤丝和基原纤丝。另外，还直接观察到了脱脂棉中纤维素分子的结晶区和非结晶区以及分叉状结构，从而表明棉花纤维素... 本文用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）对天然纤维素脱脂棉的超显微结构进行了研究，结果表明用ＳＴＭ可直接观察到脱脂棉的微纤丝和基原纤丝。另外，还直接观察到了脱脂棉中纤维素分子的结晶区和非结晶区以及分叉状结构，从而表明棉花纤维素是一种结晶不完全的多聚物。 展开更多

关键词 扫描隧道显微镜 天然纤维素 微纤丝 结晶区

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用离子团束(ICB)技术制备有机薄膜 被引量：2

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作者 薛增泉 刘惟敏 +5 位作者 赵兴钰 高鸿钧 徐宇红 竺长新 马自力 庞世瑾 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第5期320-325,共6页

为了将有机薄膜用于半导体或集成器件中,本文研究了用离子团束方法制备聚乙饰薄膜。用透射电子显微镜(TEM)和扫描隧道显微镜(STM)分析了所制备的样品。它们具有相当好的结晶特性,其菱形晶片边长尺寸为2—20μm,通常是(001)面平行于基底... 为了将有机薄膜用于半导体或集成器件中,本文研究了用离子团束方法制备聚乙饰薄膜。用透射电子显微镜(TEM)和扫描隧道显微镜(STM)分析了所制备的样品。它们具有相当好的结晶特性,其菱形晶片边长尺寸为2—20μm,通常是(001)面平行于基底表面。用离子团束技术制备的聚乙烯薄膜表面是比较平整、均匀的,杂质和缺陷较少。 展开更多

关键词 有机薄膜 ICB 扫描隧道显微镜 结晶特性 聚乙烯薄膜 透射电子显微镜 薄膜晶体 集成器件 有机单分子膜 加速电压

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聚丙烯腈基碳纤维的表面结构研究 被引量：10

7

作者 时东霞 刘宁 +3 位作者 杨海强 高聚宁 江月山 庞世瑾 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第6期733-735,共3页

用扫描隧道显微镜对经过电化学腐蚀前后的聚丙烯腈基碳纤维分别进行了观测分析，发现了一种有趣的螺旋结构。碳纤维表面是由沿纤维轴向排列的呈螺旋结构的细纤维组成的，螺旋伸展方向沿纤维轴向。同时这种螺旋结构也存在于碳纤维内部。... 用扫描隧道显微镜对经过电化学腐蚀前后的聚丙烯腈基碳纤维分别进行了观测分析，发现了一种有趣的螺旋结构。碳纤维表面是由沿纤维轴向排列的呈螺旋结构的细纤维组成的，螺旋伸展方向沿纤维轴向。同时这种螺旋结构也存在于碳纤维内部。最后对螺旋结构的形成进行了讨论。 展开更多

关键词 扫描隧道显微镜 碳纤维 螺旋结构 聚丙烯腈基

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BaO晶体中的Ba超微粒子 被引量：5

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作者 张耿民 吴全德 《北京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期97-103,共7页

超额Ｂａ对于一个激活良好的氧化物阴极来说是必不可少的，它在ＢａＯ晶体中可以有两种存在形式：氧缺位和Ｂａ超微粒子。当ＢａＯ晶体中的氧缺位浓度超过临界值的时候，就开始有Ｂａ超微粒子的形成和生长。从Ｂａ超微粒子的角度讨论了... 超额Ｂａ对于一个激活良好的氧化物阴极来说是必不可少的，它在ＢａＯ晶体中可以有两种存在形式：氧缺位和Ｂａ超微粒子。当ＢａＯ晶体中的氧缺位浓度超过临界值的时候，就开始有Ｂａ超微粒子的形成和生长。从Ｂａ超微粒子的角度讨论了文献中报道的与含有超额Ｂａ的ＢａＯ晶体有关的各种实验结果。ＢａＯ晶体在２．０ｅＶ光子能量附近的光吸收是由Ｂａ超微粒子引起的，而氧化物阴极具有较低的逸出功是因为有氧缺位的存在。氧化物阴极与Ｓ－１阴极有着类似的光电发射机理。关键词Ｂａ超微粒子；ＢａＯ晶体；氧化物阴极；光吸收； 展开更多

关键词 超微粒子 光吸收 光电发射 氧化钡晶体 钡

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激光驱动的钠钾锑光电阴极的研究 被引量：3

9

作者 刘燕文 张耿民 +3 位作者 刘惟敏 吴锦雷 薛增泉 吴全德 《真空科学与技术》 CSCD 1995年第5期304-309,共6页

为了满足高亮度电子注入器的要求，研究制备了钠钾锑阴极。利用超短脉冲激光器测得其量子产额为3．1％（λ＝0．53μm）。在能量为16μJ的脉冲激光照射下，钠钾锑阴极的发射电流密度达780A／cm2，并长时间稳定。

关键词 钠钾锑阴极 电子注入器 超短激光脉冲 光电阴极

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ZnO/SnO_2,SnO_2/ZnO UPF复合膜的制备及气敏特性研究 被引量：3

10

作者 王声乐 黄家桢 +5 位作者 沈明赓 戴慕仉 文全胜 陆元成 潘孝仁 庞世瑾 《真空科学与技术》 CSCD 1995年第4期215-220,共6页

用直流气体放电活化反应蒸发沉积技术在普通玻璃基片上制备了ZnO／SnO2及SnO2／ZnO超微粒子（UPF）双层复合薄膜。样品经扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射仪分析，结论为超微粒子的复合薄膜。同时提出了最佳制备工艺。气敏测试结果表明... 用直流气体放电活化反应蒸发沉积技术在普通玻璃基片上制备了ZnO／SnO2及SnO2／ZnO超微粒子（UPF）双层复合薄膜。样品经扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射仪分析，结论为超微粒子的复合薄膜。同时提出了最佳制备工艺。气敏测试结果表明：ZnO／SnO2及SnO2／ZnOUPF复合膜较单层ZnO及SnO2UPF表现出优良的选择性，其灵敏度和最佳工作温度也得到相应的改善。 展开更多

关键词 双层薄膜 赶微粒子膜 选择性 灵敏度

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将LB薄膜应用于集成器件中 被引量：1

11

作者 高鸿钧 赵兴钰 +1 位作者 刘惟敏 薛增泉 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第4期212-218,共7页

本文介绍了LB膜的发展历史和现状,简介了LB膜在光、电器件以及在集成器件中的应用。对LB膜的制备方法和与LB膜特性有关的结构做了阐述。

关键词 集成器件 LB 薄膜结构 电器件 加成聚合物 有机薄膜 高分子链 有机材料 金刚石薄膜 生物分子

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微晶纤维素超显微结构的扫描隧道显微镜研究 被引量：2

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作者 张玉忠 刘洁 +3 位作者 高培基 时东霞 刘宁 庞世瑾 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第6期736-738,共3页

本文以微晶纤维素Ｓｉｇｍａｃｅｌｔｙｐｅ５０为材料，用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）对其结构进行了研究，结果表明用ＳＴＭ可以直接观察到纤维素的基原纤丝（ｅｌｅｍｅｎｔａｒｙｆｉｂｒｉｌ），其直径为２—３纳米。从表面观察，微... 本文以微晶纤维素Ｓｉｇｍａｃｅｌｔｙｐｅ５０为材料，用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）对其结构进行了研究，结果表明用ＳＴＭ可以直接观察到纤维素的基原纤丝（ｅｌｅｍｅｎｔａｒｙｆｉｂｒｉｌ），其直径为２—３纳米。从表面观察，微晶纤维素的基原纤丝平行排列在一起，其本身呈螺旋状，基原纤丝进一步聚合在一起，形成微纤丝（ｍｉｃｒｏｆｉｂｒｉｌ）。从横切面也观察到了基原纤丝的大小和排列。从纳米水平直接观察到基原纤丝的结构尚属首次，ＳＴＭ是观察纤维素超显微结构的有效工具。 展开更多

关键词 扫描隧道显微镜 微晶纤维素 基原纤丝

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超微粒—半导体薄膜及其应用 被引量：2

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作者 吴全德 董引吾 吴锦雷 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第4期243-248,共6页

超微粒—半导体薄膜是一类新型材料,它具有许多独特的性能,如高的光吸收系数,较高的光电量子产额,极高的光电响应速率。这种薄膜可用于超短激光脉冲检测,大功率超短光脉冲到电脉冲转换,高效光能到电能转换等。本文着重介绍了金属超微粒... 超微粒—半导体薄膜是一类新型材料,它具有许多独特的性能,如高的光吸收系数,较高的光电量子产额,极高的光电响应速率。这种薄膜可用于超短激光脉冲检测,大功率超短光脉冲到电脉冲转换,高效光能到电能转换等。本文着重介绍了金属超微粒—半导体薄膜的光电发射特性和多光子光电发射特性。 展开更多

关键词 半导体薄膜 超微粒 光电发射 光电响应 光子能量 超短光脉冲 多光子 超短激光脉冲 费米能级 原子组成

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氧化锡基ZnO/SnO_2 UPF复合工艺对其微观结构的影响 被引量：2

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作者 王声乐 潘孝仁 庞世瑾 《真空科学与技术》 EI CSCD 1996年第3期155-159,共5页

着重讨论了用直流气体放电活化反应蒸发沉积法制备的氧化锡基ZnO／SnO2超微粒子薄膜（UPF）的制备工艺对其物相结构及表面形貌等的影响。结果表明：复合型薄膜上层的ZnOUPF比单层薄膜的ZnOUPF致密；主要晶相成分为SnO2相，并沿（002）、... 着重讨论了用直流气体放电活化反应蒸发沉积法制备的氧化锡基ZnO／SnO2超微粒子薄膜（UPF）的制备工艺对其物相结构及表面形貌等的影响。结果表明：复合型薄膜上层的ZnOUPF比单层薄膜的ZnOUPF致密；主要晶相成分为SnO2相，并沿（002）、（110）、（101）等晶面择优生长；ZnO相呈非晶态结构。 展开更多

关键词 氧化锡基 超微粒子 晶相结构 薄膜

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高空间分辨率的出现电势谱 被引量：4

15

作者 陆明 张强基 华中一 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第1期8-12,共5页

在PHI-590型扫描俄歇微探针上扩展了出现电势谱的测量功能,此出现电势谱具有上靶电子束流小(几个微安)、空间分辨率高(小于一个微米)的特点,并可用在线计算机控制测量过程。

关键词 电势谱 测量 AEAPS 电子物理学

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压电陶瓷对STM图像的影响及计算机校正 被引量：1

16

作者 江月山 王晓光 +5 位作者 杨乃恒 高聚宁 刘宁 杨海强 时东霞 庞世瑾 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 1997年第4期264-268,共5页

在很多情况下，扫描隧道显微镜（STM）图像的几何形貌方面的误差主要是由压电陶瓷的漂移、X扫描器和Y扫描器的压电系数的不一致性和压电陶瓷扫描时的非正交性引起的。本文建立了一种物理数学模型来校正这些误差，取得了满意的结果。即... 在很多情况下，扫描隧道显微镜（STM）图像的几何形貌方面的误差主要是由压电陶瓷的漂移、X扫描器和Y扫描器的压电系数的不一致性和压电陶瓷扫描时的非正交性引起的。本文建立了一种物理数学模型来校正这些误差，取得了满意的结果。即使在漂移的状态下，也可以利用已知结构的表面对STM仪器进行校准（例如，高定向石墨表面）。用校准以后的STM仪器，可以获得样品表面的真实图像，并使对样品进行原子级的测量成为可能。 展开更多

关键词 扫描隧道显微镜 图像 压电陶瓷 计算机校正

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ZnO超微粒子薄膜表面精细结构STM研究 被引量：1

17

作者 王声乐 潘孝仁 +1 位作者 杨海强 庞世瑾 《真空科学与技术》 CSCD 1996年第4期263-267,共5页

利用扫描隧道显微镜对氧化锌超微粒子薄膜在大气环境中进行了观测分析，获得了其表面具有原子数量级尺寸的构像；同时，结合X射线衍射谱图对其表面精细结构进行了研究和探讨，并由此建立了氧化锌超微粒子薄膜的生长、形成机理模型。

关键词 超微粒子 精细结构 柱状结构 晶面 薄膜 氧化锌

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圆管长径比和压力比对圆管出口和入口处气体流分布的影响 被引量：5

18

作者 屠基元 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第1期10-15,共6页

Clausing和Dayton在假设管道出口压力为零条件下,讨论了圆管出口和入口处的气流分布情况。作或根据文献认为,在实际情况下,管道两侧的压力通常都不为零,提出了当管道两侧存在压力比时,计算圆管出口和入口处气流分布的一般公式。本文在... Clausing和Dayton在假设管道出口压力为零条件下,讨论了圆管出口和入口处的气流分布情况。作或根据文献认为,在实际情况下,管道两侧的压力通常都不为零,提出了当管道两侧存在压力比时,计算圆管出口和入口处气流分布的一般公式。本文在文献基础上,给出在分子流条件下圆管长径比(L/r)与管道两侧压力比(P_i/P_2)的关系,从而进一步讨论圆管长径比和压力比对圆管出口和入口处气体流分布影响。 展开更多

关键词 圆管 压力比 长径比 气流分布 分子流 串联管道 文献基础 一般公式 流导 余弦定律

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C3N4膜的制备,结构和性能 被引量：1

19

作者 顾有松 时东霞 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第A10期93-96,共4页

采用微波等离子体化学气相沉积法，用高纯氮气（９９．９９９％）和甲烷（９９．９％）作反应气体，在多晶铂（Ｐｔ）基片上沉积Ｃ３Ｎ４薄膜。利用扫描电子显微镜和扫描隧道显微镜观察薄膜形貌表明，薄膜由针状晶体组成。Ｘ射线能谱分... 采用微波等离子体化学气相沉积法，用高纯氮气（９９．９９９％）和甲烷（９９．９％）作反应气体，在多晶铂（Ｐｔ）基片上沉积Ｃ３Ｎ４薄膜。利用扫描电子显微镜和扫描隧道显微镜观察薄膜形貌表明，薄膜由针状晶体组成。Ｘ射线能谱分析了这种晶态Ｃ－Ｎ膜的化学成分，对不同样品不同区域的分析结果表明，Ｎ／Ｃ比接近于４：３。Ｘ射线衍射结构分析说明，该厝主要由α－Ｃ３Ｎ４和β－Ｃ３Ｎ４和β－Ｃ３Ｎ４组成。ａｎｏ 展开更多

关键词 薄膜 MP-CVD 氮碳膜 性能 结构

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Cu-Cr Cu-Ti双层薄膜离子束混合与其电阻和硬度性质

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作者 施立群 李梅林 +1 位作者 杨乃恒 孙树滋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第4期235-242,共8页

借助于透射电子显微镜(TEM)研究了Cu-Cr、Cu-Ti双层离子束混合。分别用200keVAr^+和350keVXe^+注入Cu-Cr、Cu-Ti双层薄膜,对其混合后的表面硬度和电阻进行了测量。发现Cu-Cr双层混合,在10^(17)/cm^2Ar^+注入剂量时,TEM形貌图出现了沟纹... 借助于透射电子显微镜(TEM)研究了Cu-Cr、Cu-Ti双层离子束混合。分别用200keVAr^+和350keVXe^+注入Cu-Cr、Cu-Ti双层薄膜,对其混合后的表面硬度和电阻进行了测量。发现Cu-Cr双层混合,在10^(17)/cm^2Ar^+注入剂量时,TEM形貌图出现了沟纹,为一离子择优溅射效果,此时形成了单一的Cu基亚稳相固溶体,经200℃退火后,有孪晶生成,Cr沉淀析出,而Cu-Ti双层离子束混合有Cu_3Ti_2相生成,在400℃退火时生成了Cu_3Ti相。离子束混合的表面硬度和电阻都有了显著地增加。经100～400℃退火,其表面硬度和电阻的变化主要受退火前混合程度、热处理引起的相变及损伤程度的综合影响。 展开更多

关键词 离子束混合 CU-CR CU-TI 双层薄膜 表面硬度 电阻变化 混合程度 透射电子显微镜 注入剂量 硬度测量 碰撞级联

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