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GaN基蓝光VCSEL的制备及光学特性
被引量：
10
1
作者
蔡丽娥
张保平
+2 位作者
张江勇
沈汉鑫
朱文章
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期452-456,共5页
利用金属有机物气相沉积技术(MOCVD)在(0001)蓝宝石衬底上生长了Ga N基垂直腔面发射激光器(VCSEL)的多量子阱腔层结构。X射线衍射测量显示该多量子阱具有良好周期结构和平整界面。运用键合及激光剥离技术将该外延片制作成VCSEL,顶部和...
利用金属有机物气相沉积技术(MOCVD)在(0001)蓝宝石衬底上生长了Ga N基垂直腔面发射激光器(VCSEL)的多量子阱腔层结构。X射线衍射测量显示该多量子阱具有良好周期结构和平整界面。运用键合及激光剥离技术将该外延片制作成VCSEL,顶部和底部反射镜为极高反射率的介质膜分布布拉格反射镜(DBR)。在室温、紫外脉冲激光的泵浦条件下,观察到了VCSEL明显的激射现象,峰值波长位于447.7 nm,半高宽为0.11 nm,自发辐射因子约为6.0×10-2,阈值能量密度约为8.8 m J/cm2。在大幅度降低制作难度的情况下,得到目前国际最好结果同样数量级的激射阈值。降低器件制作难度有利于制备的重复性,有利于器件的产品化。
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关键词
氮化镓
垂直腔面发射激光器
激光剥离技术
光泵浦
激射
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职称材料
题名
GaN基蓝光VCSEL的制备及光学特性
被引量：
10
1
作者
蔡丽娥
张保平
张江勇
沈汉鑫
朱文章
机构
厦门理工学院
光电
与通信工程学院
福建省光电信息材料与器件重点实验室
厦门大学
信息
学院电子系
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期452-456,共5页
基金
国家自然科学基金(61307115)
福建省教育厅A类科技项目(JA12249)
+1 种基金
厦门理工学院高校高层次人才基金(YKJ11026R)
福建省自然科学基金(2013J05104)资助项目
文摘
利用金属有机物气相沉积技术(MOCVD)在(0001)蓝宝石衬底上生长了Ga N基垂直腔面发射激光器(VCSEL)的多量子阱腔层结构。X射线衍射测量显示该多量子阱具有良好周期结构和平整界面。运用键合及激光剥离技术将该外延片制作成VCSEL,顶部和底部反射镜为极高反射率的介质膜分布布拉格反射镜(DBR)。在室温、紫外脉冲激光的泵浦条件下,观察到了VCSEL明显的激射现象,峰值波长位于447.7 nm,半高宽为0.11 nm,自发辐射因子约为6.0×10-2,阈值能量密度约为8.8 m J/cm2。在大幅度降低制作难度的情况下,得到目前国际最好结果同样数量级的激射阈值。降低器件制作难度有利于制备的重复性,有利于器件的产品化。
关键词
氮化镓
垂直腔面发射激光器
激光剥离技术
光泵浦
激射
Keywords
GaN
VCSEL
laser lift-off
optical pumping
lasing
分类号
TN248.4 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
GaN基蓝光VCSEL的制备及光学特性
蔡丽娥
张保平
张江勇
沈汉鑫
朱文章
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
10
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