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题名用于精密检测的大孔径双远心光学系统设计
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作者
孙丽婷
张继艳
秦腾
林正煜
曹天皓
林炘辉
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机构
厦门理工学院光电与通信工程学院
福建盈方光电科技有限公司
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第7期1123-1129,共7页
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基金
国家自然科学基金项目(No.61704142)
厦门市科技计划项目产学研项目(No.2023CXY0402)资助。
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文摘
为了满足光通信玻璃管内径检测对机器视觉提出的高精度要求,以及解决照明不均匀对检测精度的影响,本文在四组元结构设计理论基础上,通过像差平衡和优化设计,设计了一种具有同轴照明的大孔径高分辨率双远心光学系统。该系统由球面透镜及分光棱镜组成,放大倍率为6×,F数为8,物方数值孔径为0.3759,适配于6500万像素的大面阵工业相机。设计结果表明,系统的成像质量接近衍射极限,光学调制传递函数在奈奎斯特频率156 lp/mm处大于0.1,最大畸变小于0.1%,物像方远心度均小于0.1°,系统分辨率高达1μm。
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关键词
机器视觉
精密检测
同轴照明
大孔径
双远心
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Keywords
machine vision
precision detection
coaxial illumination
large aperture
double-sided telecentric
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分类号
TN206
[电子电信—物理电子学]
TH74
[机械工程—光学工程]
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