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一种光刻板搬运机械手的PLC 控制系统设计
1
作者
郭仪彬
《农业装备与车辆工程》
2025年第7期120-123,共4页
光刻板的制造成本高,搬运过程对精度、洁净度、防静电的要求高,人工搬运存在困难,可采用机械手搬运。针对某特定光刻板搬运机械手设计了一种基于PLC的控制系统。基于机械手的结构和工作流程,分别进行控制系统的硬件、软件及人机界面模...
光刻板的制造成本高,搬运过程对精度、洁净度、防静电的要求高,人工搬运存在困难,可采用机械手搬运。针对某特定光刻板搬运机械手设计了一种基于PLC的控制系统。基于机械手的结构和工作流程,分别进行控制系统的硬件、软件及人机界面模块设计。结果表明,所设计的机械手控制系统可实现对光刻板的精准、高效搬运。
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关键词
可编程逻辑控制器
机械手
光刻板
搬运装置
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职称材料
题名
一种光刻板搬运机械手的PLC 控制系统设计
1
作者
郭仪彬
机构
福建技师学院智能制造系
出处
《农业装备与车辆工程》
2025年第7期120-123,共4页
文摘
光刻板的制造成本高,搬运过程对精度、洁净度、防静电的要求高,人工搬运存在困难,可采用机械手搬运。针对某特定光刻板搬运机械手设计了一种基于PLC的控制系统。基于机械手的结构和工作流程,分别进行控制系统的硬件、软件及人机界面模块设计。结果表明,所设计的机械手控制系统可实现对光刻板的精准、高效搬运。
关键词
可编程逻辑控制器
机械手
光刻板
搬运装置
Keywords
programmable logic controller
manipulator
photomask
handling device
分类号
TP241 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种光刻板搬运机械手的PLC 控制系统设计
郭仪彬
《农业装备与车辆工程》
2025
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