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便携式呼吸机用微压传感器
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作者 张仲平 李华军 +1 位作者 王文襄 曹滨冬 《传感器技术》 CSCD 1997年第6期43-45,共3页
为战场救护用的便携式呼吸机开发了一种量程为2kPa的小型微压传感器.为减小尺寸及冲击振动的影响,采用了微机械加工的方形平膜结构和梁膜复合结构。两种设计均能满足使用的要求.
关键词 便携式 呼吸机 微型 微压传感器 战场救护
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