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AFM扫描参数对样品粗糙度测量的影响 被引量:8
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作者 王子仪 张荣君 +2 位作者 郑玉祥 张振生 李海涛 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2013年第2期5-7,共3页
原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是纳米科技研究领域的一种重要工具。作为一种近场成像仪器,参数的选择对样品成像的效果有着很大的影响,不当的参数甚至可能造成样品的损坏。通过采用控制变量法,并以均方根粗糙度作为评判标... 原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)是纳米科技研究领域的一种重要工具。作为一种近场成像仪器,参数的选择对样品成像的效果有着很大的影响,不当的参数甚至可能造成样品的损坏。通过采用控制变量法,并以均方根粗糙度作为评判标准,改变AFM各项扫描参数,研究了AFM中不同参数的调整对于样品扫描图像的影响。结果表明,振幅阈值、扫描速率、积分增益三项参数对于测量样品表面粗糙度均有较大影响,通过适当改变扫描参数,可以有效提升AFM的样品扫描质量。 展开更多
关键词 原子力显微镜 扫描参数 表面粗糙度
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