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题名光学薄膜激光损伤阈值测量不确定度
被引量：7
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作者
徐均琪
苏俊宏
葛锦蔓
基玛 格拉索夫
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机构
西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
白俄罗斯国立信息与无线电电子大学
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017年第8期87-93,共7页
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基金
国际科技合作资助项目(2013DFR70620)
国家自然科学基金(61378050)
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文摘
光学薄膜的激光损伤阈值是评价其激光耐受性能好坏的一个重要指标。对薄膜激光损伤阈值的准确评价和测定,是判断其激光耐受性能和进行相互比对的基础。通过对激光损伤阈值测试系统误差的溯源分析和计算机模拟,给出了优化测试系统的方向。研究结果表明:在激光光斑确定的情况下,激光能量越高,能量密度的误差越大。因此在满足需要的情况下,应该尽可能选取较低的激光能量。在激光能量确定的情况下,存在一个临界光斑,当小于临界光斑时,能量密度误差变化非常剧烈,光斑越小,能量密度误差越大。测试系统的激光光斑大于临界光斑时系统的误差较小,小于临界光斑时系统的误差急剧变大。因此,在激光损伤阈值测试系统中,应该优选临界光斑或者大于临界光斑。激光损伤阈值拟合产生的最大误差为最大能级的激光能量误差,因此要尽可能降低激光器的脉冲能量。由此可见,设计合理的系统参数,可以最大程度降低测量结果的不确定度。
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关键词
激光损伤阈值
薄膜
测量不确定度
损伤
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Keywords
LIDT
thin film
measurement uncertainty
damage
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分类号
O484
[理学—固体物理]
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题名辐照激光能量对SiO_2薄膜特性及结构的影响
被引量：3
- 2
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作者
郭芳
徐均琪
苏俊宏
党少坤
基玛.格拉索夫
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机构
西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
白俄罗斯国立信息与无线电电子大学
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期348-352,共5页
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基金
国家国际科技合作专项(2013DFR70620)
国家自然科学基金(61378050)
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文摘
为了认识SiO2薄膜在激光辐照下的变化,本文以K9玻璃为基底,采用电子束热蒸发方法制备了SiO2薄膜,并将此组在相同实验条件下制备的薄膜加以不同能量的激光辐照,研究在激光辐照前后样片的透射率、折射率、消光系数、膜厚、表面形貌及激光损伤阈值(LIDT)的变化。结果表明,样片膜厚随激光能量的增加而减小,辐照激光能改善薄膜表面形貌,并使样片LIDT值提高,最终能使样片的LIDT值从16.96J/cm2提高至18.8J/cm2。
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关键词
SIO2薄膜
辐照激光
激光损伤阈值(LIDT)
影响
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Keywords
SiO2 films
laser irradiating energy
laser-induced damage threshold(LIDT)
effect
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
O484
[理学—固体物理]
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