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声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析
1
作者
阮世池
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第6期605-608,共4页
电子探针显微分析法（ＥＰＭＡ）能把试样微区形貌分析与微区成分分析有机地结合起来。利用这一特点，文中对Ａｕ／Ｃｒ／Ｂｉ１２ＧｅＯ２０声表面波器件作了显微分析研究，探明了薄膜电极脱落发生在Ｃｒ膜与Ｂｉ１２ＧｅＯ２０基片的...
电子探针显微分析法（ＥＰＭＡ）能把试样微区形貌分析与微区成分分析有机地结合起来。利用这一特点，文中对Ａｕ／Ｃｒ／Ｂｉ１２ＧｅＯ２０声表面波器件作了显微分析研究，探明了薄膜电极脱落发生在Ｃｒ膜与Ｂｉ１２ＧｅＯ２０基片的界面上。由于Ｃｒ膜与基片间是弱的简单附着机制，并且Ｃｒ膜承受着强烈的内应力，最终导致薄膜电极脱落。
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关键词
电子探针
显微分析
薄膜电极
声表面波器件
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职称材料
题名
声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析
1
作者
阮世池
机构
电子科技大学材料微观分析中心
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第6期605-608,共4页
文摘
电子探针显微分析法（ＥＰＭＡ）能把试样微区形貌分析与微区成分分析有机地结合起来。利用这一特点，文中对Ａｕ／Ｃｒ／Ｂｉ１２ＧｅＯ２０声表面波器件作了显微分析研究，探明了薄膜电极脱落发生在Ｃｒ膜与Ｂｉ１２ＧｅＯ２０基片的界面上。由于Ｃｒ膜与基片间是弱的简单附着机制，并且Ｃｒ膜承受着强烈的内应力，最终导致薄膜电极脱落。
关键词
电子探针
显微分析
薄膜电极
声表面波器件
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
声表面波器件薄膜电极脱落的电子探针分析
阮世池
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
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