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微波CVD法合成金刚石薄膜的生长规律
被引量：
2
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作者
方莉俐
秦桂芳
方向前
《兰州大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第3期80-83,共4页
用微波等离子化学气相沉积方法 (CVD片 )用丙酮—氢气混合气体作为原料 ,在单晶硅的(111)面和人造单晶金刚石的 (10 0 )面上 ,生长出了优质金刚石薄膜 ,并对薄膜的生长规律进行了研究 .
关键词
金刚石薄膜
合成
微波CVD法
生长规律
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职称材料
题名
微波CVD法合成金刚石薄膜的生长规律
被引量：
2
1
作者
方莉俐
秦桂芳
方向前
机构
郑州纺织工
学院
基础部
甘肃酒泉教育学院教务处
郑州纺织工
学院
电气系
出处
《兰州大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2000年第3期80-83,共4页
基金
国家 8 6 3计划!(715- 0 3- 0 1- 0 9)资助项目
文摘
用微波等离子化学气相沉积方法 (CVD片 )用丙酮—氢气混合气体作为原料 ,在单晶硅的(111)面和人造单晶金刚石的 (10 0 )面上 ,生长出了优质金刚石薄膜 ,并对薄膜的生长规律进行了研究 .
关键词
金刚石薄膜
合成
微波CVD法
生长规律
Keywords
diamond film
synthesis
regularity
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微波CVD法合成金刚石薄膜的生长规律
方莉俐
秦桂芳
方向前
《兰州大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2000
2
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