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微机械陀螺仪零偏稳定性的温度响应测试评价
被引量：
3
1
作者
杜晓辉
刘帅
+5 位作者
朱敏杰
刘丹
孙克
王凌云
占瞻
路文一
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2022年第6期12-17,22,共7页
设计对比分析实验并搭建测试系统,获得商品化微机械陀螺仪零偏稳定性对恒温(-40、25、60℃)和温度循环(-40~60℃)载荷的响应规律。恒温载荷下,石英基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值在40(°)/h以下,硅基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值...
设计对比分析实验并搭建测试系统,获得商品化微机械陀螺仪零偏稳定性对恒温(-40、25、60℃)和温度循环(-40~60℃)载荷的响应规律。恒温载荷下,石英基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值在40(°)/h以下,硅基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值约在150~670(°)/h的大范围之内。硅基陀螺仪的零偏稳定性计算值与温度基本呈正相关趋势且线性度较好,石英基陀螺仪与之相反。零偏稳定性值在温度循环交变的温度载荷下比在恒温载荷下大几十倍,结构设计和封装工艺等方面得到较好优化的陀螺仪可以有效避免这种负面影响。该研究为微机械陀螺仪零偏稳定性优化提供了对比测试数据和优化方向建议。
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关键词
微机械陀螺仪
零偏稳定性
温度响应
对比测试
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职称材料
题名
微机械陀螺仪零偏稳定性的温度响应测试评价
被引量：
3
1
作者
杜晓辉
刘帅
朱敏杰
刘丹
孙克
王凌云
占瞻
路文一
机构
机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
沈阳仪表科学研究院
有限公司
厦门大学
瑞声
开
泰
科技
(
武汉
)
有限公司
北京遥测技术研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2022年第6期12-17,22,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2020YFB2010800)
国家重点研发计划项目(2018YFF01010200)
国家自然科学基金项目(62004079)。
文摘
设计对比分析实验并搭建测试系统,获得商品化微机械陀螺仪零偏稳定性对恒温(-40、25、60℃)和温度循环(-40~60℃)载荷的响应规律。恒温载荷下,石英基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值在40(°)/h以下,硅基微机械陀螺仪零偏稳定性计算值约在150~670(°)/h的大范围之内。硅基陀螺仪的零偏稳定性计算值与温度基本呈正相关趋势且线性度较好,石英基陀螺仪与之相反。零偏稳定性值在温度循环交变的温度载荷下比在恒温载荷下大几十倍,结构设计和封装工艺等方面得到较好优化的陀螺仪可以有效避免这种负面影响。该研究为微机械陀螺仪零偏稳定性优化提供了对比测试数据和优化方向建议。
关键词
微机械陀螺仪
零偏稳定性
温度响应
对比测试
Keywords
MEMS gyroscope
zero-bias stability
temperature response
comparative test
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机械陀螺仪零偏稳定性的温度响应测试评价
杜晓辉
刘帅
朱敏杰
刘丹
孙克
王凌云
占瞻
路文一
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2022
3
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