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碳化硅轻量反射镜的超精密加工 被引量:4
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作者 戴玉堂 姜德生 +1 位作者 林伟民 大森整 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2005年第11期20-22,共3页
运用在线电解磨削技术(ELID)加工大型碳化硅球面镜(口径360mm),设计了一套专用的静压组合夹具用以抑制加工过程中因磨削力引起的工件变形。结合在线面形测量和基于误差补偿的补正加工方法,可以获得面形精度为P-V值0.8μm、表面粗糙度... 运用在线电解磨削技术(ELID)加工大型碳化硅球面镜(口径360mm),设计了一套专用的静压组合夹具用以抑制加工过程中因磨削力引起的工件变形。结合在线面形测量和基于误差补偿的补正加工方法,可以获得面形精度为P-V值0.8μm、表面粗糙度为Ra7.8nm的高质量碳化硅球面镜。 展开更多
关键词 烧结碳化硅 宇宙望远镜 ELID磨削 超精密加工
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新型反应烧结碳化硅陶瓷的超精密磨削 被引量:9
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作者 戴玉堂 姜德生 大森整 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期595-597,共3页
介绍了一种可用作光学反射镜材料的新型反应烧结碳化硅。采用超精密磨床结合在线电解修整的磨削方法对新型反应烧结碳化硅进行磨削,研究了不同磨粒尺寸、不同结合剂以及不同形状砂轮对磨削面性状的影响,分析了磨削面微段差的形成机理。... 介绍了一种可用作光学反射镜材料的新型反应烧结碳化硅。采用超精密磨床结合在线电解修整的磨削方法对新型反应烧结碳化硅进行磨削,研究了不同磨粒尺寸、不同结合剂以及不同形状砂轮对磨削面性状的影响,分析了磨削面微段差的形成机理。获得了表面粗糙度Ra=0.57nm的超平滑镜面。 展开更多
关键词 反应烧结碳化硅 超精密磨削 在线电解修整 表面特性
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