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室内电子控制设备的腐蚀与防护 被引量:4
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作者 田世爱 迟宏伟 《洁净与空调技术》 2006年第1期12-15,共4页
本文介绍了环境因素对电子控制设备的腐蚀影响,概述了室内电子控制设备的腐蚀机理,提出了防止电子设备受腐蚀的保护方法。
关键词 空气净化 电子控制设备 腐蚀 防护
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洁净室气态分子污染物的监测技术 被引量:3
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作者 田世爱 于自强 +1 位作者 赵树奎 迟宏伟 《洁净与空调技术》 2006年第2期12-17,共6页
随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小,气态分子污染物(AMC)对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题。文章介绍了洁净室中AMC的定义,重点阐述了AMC的监测技术。
关键词 洁净室 气态分子污染物 监测 控制
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