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NbN基陶瓷硬质薄膜研究现状与进展
1
作者
陆昆
赵立军
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2023年第9期55-63,共9页
主要综述了NbN单层膜、NbN基复合薄膜及多层薄膜的研究现状,详细叙述了NbN单层薄膜、NbN基复合薄膜和多层薄膜的微结构、力学性能、抗氧化性能、耐腐蚀性能和摩擦磨损性能,并重点阐述了NbN多晶结构、元素掺杂对NbN基复合薄膜的性能影响...
主要综述了NbN单层膜、NbN基复合薄膜及多层薄膜的研究现状,详细叙述了NbN单层薄膜、NbN基复合薄膜和多层薄膜的微结构、力学性能、抗氧化性能、耐腐蚀性能和摩擦磨损性能,并重点阐述了NbN多晶结构、元素掺杂对NbN基复合薄膜的性能影响和多层膜的超硬效应机理。指出复合、多层陶瓷薄膜具有单一NbN薄膜无法实现的优点,复合、多层陶瓷膜将依然是未来NbN基陶瓷硬质薄膜的研究方向,最后对NbN基陶瓷硬质薄膜的发展和应用前景进行了展望。
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关键词
NbN薄膜
微结构
力学性能
摩擦磨损性能
超硬效应
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职称材料
题名
NbN基陶瓷硬质薄膜研究现状与进展
1
作者
陆昆
赵立军
机构
滁州城市职业学院医学院
江苏科技大学材料科学与工程
学院
出处
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2023年第9期55-63,共9页
基金
安徽省自然科学重点项目(KJ2020A1004)
安徽省2022年高校优秀青年骨干教师国内访学研修项目(gxgnfx2022159)。
文摘
主要综述了NbN单层膜、NbN基复合薄膜及多层薄膜的研究现状,详细叙述了NbN单层薄膜、NbN基复合薄膜和多层薄膜的微结构、力学性能、抗氧化性能、耐腐蚀性能和摩擦磨损性能,并重点阐述了NbN多晶结构、元素掺杂对NbN基复合薄膜的性能影响和多层膜的超硬效应机理。指出复合、多层陶瓷薄膜具有单一NbN薄膜无法实现的优点,复合、多层陶瓷膜将依然是未来NbN基陶瓷硬质薄膜的研究方向,最后对NbN基陶瓷硬质薄膜的发展和应用前景进行了展望。
关键词
NbN薄膜
微结构
力学性能
摩擦磨损性能
超硬效应
Keywords
NbN thin film
microstructure
mechanical properties
friction and wear performance
superhard effect
分类号
TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
NbN基陶瓷硬质薄膜研究现状与进展
陆昆
赵立军
《电镀与精饰》
CAS
北大核心
2023
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