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考虑对流效应和磁场的CMP模型及其数值模拟 被引量:1
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作者 郑秋云 李明军 舒适 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第6期1060-1067,共8页
推导了具有对流效应的化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)润滑模型,研究各参数对压力场分布的影响.在此模型基础上,研究了磁流体抛光液在外界磁场作用下的润滑模型,以及外磁场对抛光过程中压力场分布的影响.数值结果表明... 推导了具有对流效应的化学机械抛光(chemical mechanical polishing,CMP)润滑模型,研究各参数对压力场分布的影响.在此模型基础上,研究了磁流体抛光液在外界磁场作用下的润滑模型,以及外磁场对抛光过程中压力场分布的影响.数值结果表明,具有对流效应的润滑模型的压力分布与已有经验结果更一致,能更为有效地解释CMP过程中的负压现象;进一步通过外界磁场的作用,可以有效地改变磁流体CMP的压力分布,这为实现对晶片的全局抛光提供了一种可供参考的新途径. 展开更多
关键词 化学机械抛光 润滑模型 磁流体 (抛光液)对流效应 晶片
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基于IWD算法的多目标混合品种装配线平衡问题 被引量:5
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作者 李明富 张玉彦 周后明 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2016年第4期965-973,共9页
为简化混合装配平衡问题的求解,进而提高装配线的生产效率,在兼顾产品切换引起负荷波动的基础上,综合工作站数、工作负荷平衡和任务关联度三个优化目标,提出一种求解多目标混合品种装配线平衡问题的改进型IWD(intelligent water drop)... 为简化混合装配平衡问题的求解,进而提高装配线的生产效率,在兼顾产品切换引起负荷波动的基础上,综合工作站数、工作负荷平衡和任务关联度三个优化目标,提出一种求解多目标混合品种装配线平衡问题的改进型IWD(intelligent water drop)算法。对IWD算法的节点转移规则进行改进,加入最大概率引导规则和随机搜索规则;采用Pareto占优的方式对解进行分层以获得前沿解集,并根据分层结果给每个粒子提供一个启发值,依据启发值实施全局更新,增加算法的全局搜索能力;通过测试各种标准问题,验证了改进型IWD算法比遗传算法的求解速度更快、效率更高。 展开更多
关键词 混合品种装配线 IWD算法 PARETO占优 任务关联度
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一类2-指标变延迟微分代数方程BDF方法的收敛性
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作者 刘红良 肖爱国 《工程数学学报》 CSCD 北大核心 2011年第3期335-342,共8页
延迟微分代数方程经常出现在自动控制、电力和电路分析、多体动力学等许多实际应用问题中.目前对延迟微分代数方程数值分析研究主要集中于线性问题和1-指标问题;对高指标非线性延迟微分代数方程数值分析的研究较困难,国内外仅有少量工... 延迟微分代数方程经常出现在自动控制、电力和电路分析、多体动力学等许多实际应用问题中.目前对延迟微分代数方程数值分析研究主要集中于线性问题和1-指标问题;对高指标非线性延迟微分代数方程数值分析的研究较困难,国内外仅有少量工作且大多为常延迟.本文将向后微分公式(BDF)应用于求解2-指标非线性变延迟微分代数方程,获得了相应的收敛性结果,并通过数值试验进行了验证. 展开更多
关键词 2-指标微分代数方程 向后微分公式 收敛性 变延迟
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