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半导体工业硅材料加工用金刚石工具的发展
被引量：
7
1
作者
姜荣超
雷雨
+2 位作者
李超群
刘谷成
周晓丹
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2008年第1期73-81,共9页
随着我国半导体工业集成电路(IC)业的快速发展,硅材料加工用金刚石工具具有巨大的潜在市场。作者简介了半导体加工中使用的各种金刚石工具:其中包括:单晶硅晶锭的裁切与整圆、晶圆线切割、倒圆磨边、磨削、CMP修整器、背面减薄与划片及...
随着我国半导体工业集成电路(IC)业的快速发展,硅材料加工用金刚石工具具有巨大的潜在市场。作者简介了半导体加工中使用的各种金刚石工具:其中包括:单晶硅晶锭的裁切与整圆、晶圆线切割、倒圆磨边、磨削、CMP修整器、背面减薄与划片及其最新发展。详细介绍了各种不同类型CMP修整器及其完善与发展。建议应积极研发我国半导体工业硅材料加工用金刚石工具。
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关键词
半导体
集成电路
精密金刚石工具
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职称材料
热等静压(H IP)技术在超硬工具制造中的应用
被引量：
14
2
作者
刘谷成
姜荣超
雷雨
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2007年第4期38-40,共3页
本文简介了热等静压(HIP——Hot Isostatic Pressing)的基本原理与HIP压机的基本构造,阐述了将热等静压技术用于硬质合金钎头与金刚石串珠生产的优越性,介绍了国外金刚石串珠生产中采用HIP技术的效果。HIP技术有利于提高硬质合金的密度...
本文简介了热等静压(HIP——Hot Isostatic Pressing)的基本原理与HIP压机的基本构造,阐述了将热等静压技术用于硬质合金钎头与金刚石串珠生产的优越性,介绍了国外金刚石串珠生产中采用HIP技术的效果。HIP技术有利于提高硬质合金的密度、抗弯强度、耐磨性与钎头使用寿命。用于金刚石串珠生产有助于串珠胎体致密化,提高胎体对金刚石的把持力、串珠环对钢体的夹持力及串珠使用寿命。
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关键词
热等静压
硬质合金钎头
金刚石串珠
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职称材料
题名
半导体工业硅材料加工用金刚石工具的发展
被引量：
7
1
作者
姜荣超
雷雨
李超群
刘谷成
周晓丹
机构
湖南
新
途
金刚石
工具
有限公司
湖南
省
金刚石
勘查研究院
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2008年第1期73-81,共9页
文摘
随着我国半导体工业集成电路(IC)业的快速发展,硅材料加工用金刚石工具具有巨大的潜在市场。作者简介了半导体加工中使用的各种金刚石工具:其中包括:单晶硅晶锭的裁切与整圆、晶圆线切割、倒圆磨边、磨削、CMP修整器、背面减薄与划片及其最新发展。详细介绍了各种不同类型CMP修整器及其完善与发展。建议应积极研发我国半导体工业硅材料加工用金刚石工具。
关键词
半导体
集成电路
精密金刚石工具
Keywords
semiconductor,integrated circuit（IC）,precision diamond tools
分类号
TQ164 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
热等静压(H IP)技术在超硬工具制造中的应用
被引量：
14
2
作者
刘谷成
姜荣超
雷雨
机构
长沙矿山研究院
湖南新途金刚石有限公司
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2007年第4期38-40,共3页
文摘
本文简介了热等静压(HIP——Hot Isostatic Pressing)的基本原理与HIP压机的基本构造,阐述了将热等静压技术用于硬质合金钎头与金刚石串珠生产的优越性,介绍了国外金刚石串珠生产中采用HIP技术的效果。HIP技术有利于提高硬质合金的密度、抗弯强度、耐磨性与钎头使用寿命。用于金刚石串珠生产有助于串珠胎体致密化,提高胎体对金刚石的把持力、串珠环对钢体的夹持力及串珠使用寿命。
关键词
热等静压
硬质合金钎头
金刚石串珠
Keywords
hot isostatie pressing
tungsten carbide drill bits
diamond beads
分类号
TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
半导体工业硅材料加工用金刚石工具的发展
姜荣超
雷雨
李超群
刘谷成
周晓丹
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2008
7
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职称材料
2
热等静压(H IP)技术在超硬工具制造中的应用
刘谷成
姜荣超
雷雨
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2007
14
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职称材料
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参考文献
引证文献
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